窄带滤光片无规律漂移现象

我们用光驰OTFC-1100机器做的窄带，用间控光控控制，晶控辅助。SiO2,Ta2O5,材料。要求中心波长在1071nm,半波带宽20nm。
本来是成熟膜系，已经做了有2年时间了，一直很稳定，
但是最近出现膜系无规律漂移现象，中心波长或漂移向长波，或短波，漂移距离从4--20nm。
本来出现漂移也是正常现象，但是现在是完全无规律啊，有可能连续3罩次是没有变化的，也有可能是每罩次都不一样。
最开始怀疑是单色仪出问题，也就是控制波长不准确。送厂检测，用厂家来替换的单色仪做了几次，还是一样。
厂家说可能是光控托盘有问题，换了一个，还是一样。
其后还做了很多工作，都没有解决问题，
在这里请教各位同行，谁做窄带，或者用光驰机器出现这种情况的是什么原因，怎么解决的？
先谢过啦。

dumoty	2015-04-13 13:28
要是蒸镀过程没有问题，看下供电稳定不，冷却水是否有问题。我遇到过冷却水脏了，导致的成膜不稳定

haisheng_0_0	2015-04-14 09:02
dumoty:要是蒸镀过程没有问题，看下供电稳定不，冷却水是否有问题。我遇到过冷却水脏了，导致的成膜不稳定 (2015-04-13 13:28) %nCUct@c 62_$O" 哦？这个倒是没考虑过，但我们冷却水是定期换的啊

meron	2015-05-06 19:40
那你的膜料的质量怎样？纯度、颗粒度等是不是和原来的那种膜料一样？

op1163	2015-10-11 00:01
这个原因太多了，你先要确定你镀膜滴标准要是一致滴，如果你确定你几没问题，你可以在没镀一伞前把你监控片，和监控器确认一下等，如果有需要可以我愿意和您一起探讨解决。

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