| erdan521 |
2015-04-11 15:02 |
博开低温泵（冷泵、冷凝泵）的应用
一）、博开超高低温泵 LOPw 0@
[attachment=62508] c_R AtM<n
1P
'_EJ]M
[attachment=62510] K7jz*|2
xUw)mUn@N
[attachment=62509] q'zV9
ndB [f
s DF 5
V]fsjpvlmr
二）、博开DZB400低温泵应用 u@ psVt
Q 9C; _Up
o$[alh;c+W
[attachment=62511] wFHz<i!jr&
\'}? j- 8
一、设备情况： N:]Ud(VRM
1、设备腔体尺寸直径1.1米； THXG~3J<
2、前级泵：机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw； 017(I:V?(:
3、主泵配置：博开DZB400低温真空泵两台（原配2台KT500mm口径的扩散泵8Kw）； Dg_ AoC
二、使用情况：
}@'Zt6+tS
1、机械泵+罗茨泵预抽真空室至3Pa，需要20min。 /"LcW"2;N
2、开高阀，抽高真空至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 D) my@W0,
三、对比 $RJpn]d
j
1、抽速：原两台KT500mm扩散泵抽至8.4x10（-4）Pa，需要时间45-50min。DZB400低温泵抽至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 {:!CA/ 0Jx
2、耗能：a、原KT500mm扩散泵加热时功率为8KW，两台扩散泵为16Kw，机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw同时开启，共需23.5Kw/h。 8E:d!?<^&I
b、DZB400低温泵4.5KW（功率恒定），两台低温泵为9Kw,由于低温泵的使用特性，抽取高真空时，前级机械泵+罗茨泵无需开启，只需抽低真空至3Pa以下即可， Bf-KCqC".
设；使用30分子钟抽至低真空3Pa，机械泵耗费约2.25Kw，罗茨泵耗费约1.5Kw，使用低温泵后共需12.75Kw/h。 j1 Q "s(
3、环境：低温泵为无油泵，对镀膜高端产品时，无需考虑返油问题，提高产品质量。 &!=[.1H<
三）、博开DZB720低温泵应用 <JyF 5
[attachment=62513] #;WKuRv
X u+^41
[attachment=62514] oT jsiXS
S~+er{,ht4
)rce%j7
+YA,HhX9
一、设备情况 SJXA
1、设备腔体尺寸直径1.3米 "dN4EA&QJ
2、前级泵：两台机械泵+ 罗茨泵 {"x>ewAf
3、主泵配置：博开DZB720低温泵一台 /l)|B
二、抽真空情况 ff3HR+%M
附；真空度时间记录表； 9jC> OZ0s
E R ^#J**
jZ5 mp YUO
以上发表紧代表个人，仅供参考， BnL [C:|
有兴趣了解或意向购买可以加我Q；811651228， 2
u{"R
或邮箱：lishuai@bwokai.com |~y>R#u8pm
也可电话：15067976093 李 \~O }V ~wE
欢迎一起学习讨论； -x)zyq 6
|
|