| erdan521 |
2015-04-11 15:02 |
博开低温泵（冷泵、冷凝泵）的应用
一）、博开超高低温泵 Q^p@ 1I
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二）、博开DZB400低温泵应用 v;RQVH;,
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一、设备情况： C 3b'Q
1、设备腔体尺寸直径1.1米； 7K;dVB
2、前级泵：机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw； }DM2#E`_
3、主泵配置：博开DZB400低温真空泵两台（原配2台KT500mm口径的扩散泵8Kw）； CMg83
二、使用情况： .gPsJ?b
1、机械泵+罗茨泵预抽真空室至3Pa，需要20min。 6Ss{+MF|v
2、开高阀，抽高真空至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 v Xnpx}B
三、对比 :O!G{./(_
1、抽速：原两台KT500mm扩散泵抽至8.4x10（-4）Pa，需要时间45-50min。DZB400低温泵抽至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 7YN)T?
2、耗能：a、原KT500mm扩散泵加热时功率为8KW，两台扩散泵为16Kw，机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw同时开启，共需23.5Kw/h。 ILO +=xU
b、DZB400低温泵4.5KW（功率恒定），两台低温泵为9Kw,由于低温泵的使用特性，抽取高真空时，前级机械泵+罗茨泵无需开启，只需抽低真空至3Pa以下即可， FSQ&J|O
设；使用30分子钟抽至低真空3Pa，机械泵耗费约2.25Kw，罗茨泵耗费约1.5Kw，使用低温泵后共需12.75Kw/h。 <e h(~
3、环境：低温泵为无油泵，对镀膜高端产品时，无需考虑返油问题，提高产品质量。 @NH Ruk+
三）、博开DZB720低温泵应用 U.)G #B
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一、设备情况 ATzNV=2s
1、设备腔体尺寸直径1.3米 .3U[@ *b(
2、前级泵：两台机械泵+ 罗茨泵 op|mRJBq;
3、主泵配置：博开DZB720低温泵一台 g_ >ZE
二、抽真空情况 < ?zTnue
附；真空度时间记录表； #pe{:f ?
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