| erdan521 |
2015-04-11 15:02 |
博开低温泵（冷泵、冷凝泵）的应用
一）、博开超高低温泵 C${ S^v
[attachment=62508] I oy
3 cS2gxF
[attachment=62510] Lj\/ Ji_
X2mREt9
[attachment=62509] C9DJO:f.2y
Sw`RBN[ yo
1T_QX9
I|-p3g8\
二）、博开DZB400低温泵应用 +(D$9{y
qa(>wR"mT
y|&}.~U[
[attachment=62511] X7U uwIIP
&bz:K8c
一、设备情况： 'evj,zFhW
1、设备腔体尺寸直径1.1米； 5m=I*.qE
2、前级泵：机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw； M aBYk?TR~
3、主泵配置：博开DZB400低温真空泵两台（原配2台KT500mm口径的扩散泵8Kw）； ;VO.!5W@eg
二、使用情况： !{n<K:x1
1、机械泵+罗茨泵预抽真空室至3Pa，需要20min。 thO ~=RB
2、开高阀，抽高真空至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 &L t[WT$
三、对比 V]c;^
1、抽速：原两台KT500mm扩散泵抽至8.4x10（-4）Pa，需要时间45-50min。DZB400低温泵抽至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 ?T_3n :
2、耗能：a、原KT500mm扩散泵加热时功率为8KW，两台扩散泵为16Kw，机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw同时开启，共需23.5Kw/h。 0c.s
-
b、DZB400低温泵4.5KW（功率恒定），两台低温泵为9Kw,由于低温泵的使用特性，抽取高真空时，前级机械泵+罗茨泵无需开启，只需抽低真空至3Pa以下即可， xCzebG["
设；使用30分子钟抽至低真空3Pa，机械泵耗费约2.25Kw，罗茨泵耗费约1.5Kw，使用低温泵后共需12.75Kw/h。 5F t5@UF~
3、环境：低温泵为无油泵，对镀膜高端产品时，无需考虑返油问题，提高产品质量。 t#nn@Yf
三）、博开DZB720低温泵应用 &bqT /H18
[attachment=62513] )5JU:jNy
MC 0TaP
[attachment=62514] f"7M^1)h2%
N$Y " c*
. *$OQA
2Nxm@B` {
一、设备情况 :0K8h
1、设备腔体尺寸直径1.3米 q1y/x@
2、前级泵：两台机械泵+ 罗茨泵 $qF0ltUQ
3、主泵配置：博开DZB720低温泵一台 6OiSK@<Hk
二、抽真空情况 G
a;.a
附；真空度时间记录表； gef6pfV
?6c-7QV
2 n b:)
以上发表紧代表个人，仅供参考， E$a ?LFa6
有兴趣了解或意向购买可以加我Q；811651228， e&MC|US=\
或邮箱：lishuai@bwokai.com obK*rdg ,
也可电话：15067976093 李 qj0 1]
欢迎一起学习讨论； k" k J_(
|
|