193nm长工作距离深紫外物镜

香港弗锐达科技有限公司推出针对193nm 40x长工作距离深紫外物镜，工作距离可达1.5mm，NA：0.6.

性能参数

ITEM#	COATING	M	WD	EFL	NA	TFS	EA	L	SPOTSIZE
XWJ-40X-UV	UV	40×	1.5mm	4.4mm	0.6	1μm	5.3mm	43.5mm	1μm

注：有限远共轭 4-P'e%S
&,?bX])
2.外形尺寸

3.成像质量测试报告 ~udi=J|

4.检测结果

4.1焦距测量 5GD6%{\O

焦距测量的测试波长为绿光（540nm），该波长下的显微物镜焦距为5.6mm，实测焦距为5.3mm

4.3 透过率测量 A%H"a+

陪镀片的剩余反射率曲线

利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
整体透过率为94%（193nm处）。

4.2像质检测 ve|:z
5a moK7
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 #R&Dgt
               |G.|ocj;
~9.0:Fm<
  b)能量集中度曲线 %{$iN|%J%$
'bN\8t\S
8,0p14I5;
c) 点扩散函数

5. 实物照片 hr9[$4'H

同时可以接受根据客户需求订制特种物镜。

过客2014	2015-07-24 08:53
你好，请问你对准分子激光器了解吗？有一些这方面的问题想咨询一下，希望你能帮帮忙，不胜感激。我qq号：1015638865

1983pengya	2015-09-23 00:34
可以，我们本身就代理GAM的准分子激光器，请联系 QQ：75398714 @LQe[` QDO.&G2 内容来自[短消息]

京京椰树	2019-03-13 14:16
这个很厉害了

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