193nm长工作距离深紫外物镜

3.成像质量测试报告 tw>2<zmSi%  

4.1焦距测量 BUJ\[/  

4.3 透过率测量 `om+p?j  

• 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
• 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
• 整体透过率为94%（193nm处）。

4.2像质检测 `daqzn  
/}(d'@8p  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 =d<Rg
wscJ  
               -juG[zn  
$+!dP{  
  b)能量集中度曲线 @)?]u U"L  
{K]5[bMT  
NEIkG>\7q  
c) 点扩散函数

5. 实物照片 )rD!4"8/A