193nm长工作距离深紫外物镜

3.成像质量测试报告 'E4AV58.  

4.1焦距测量 -?s&pK
i  

4.3 透过率测量 6{q;1-8j+j  

• 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
• 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
• 整体透过率为94%（193nm处）。

4.2像质检测 {~SaRB2<'  
{( #zcK  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 -$(Jk<  
               ? B@&#E!/f  
eG5Y+iL-V  
  b)能量集中度曲线 +#2)kg 9_  
j[I`\"  
 v,=v  
c) 点扩散函数

5. 实物照片 T.REq4<