193nm长工作距离深紫外物镜

3.成像质量测试报告 .{c7 I!8  

4.1焦距测量 =f y|Dm74  

4.3 透过率测量
d,^ZH  

• 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
• 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
• 整体透过率为94%（193nm处）。

4.2像质检测 wpYk`Lr  
2[Lv_<i|  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 -$
o0P'Vx  
                19]19_-  
-W1p=od
 
  b)能量集中度曲线 ?R#$ c]  
5]LWWjT  
6QY;t:/<  
c) 点扩散函数

5. 实物照片 m!Z<\2OP