193nm长工作距离深紫外物镜

3.成像质量测试报告 aV8]?E5G  

4.1焦距测量 vvG#O[
| O  

4.3 透过率测量 h=~TgTv  

• 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
• 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
• 整体透过率为94%（193nm处）。

4.2像质检测 wGf SVA-q\  
vN%SN>=L<  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 %<8lLRl  
               r6`v-TY(/  
uN
1O(s  
  b)能量集中度曲线 V}kZowWD  
!8U\GR `  
xV4 #_1(  
c) 点扩散函数

5. 实物照片 LMrb 1lg$