193nm长工作距离深紫外物镜

3.成像质量测试报告 ~RMOEH.o  

4.1焦距测量 `$#64UZ>U1  

4.3 透过率测量 Dl"y|  

• 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
• 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
• 整体透过率为94%（193nm处）。

4.2像质检测 T[;{AXLeI  
8?)Da&+f  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 -u9{R\S  
               Fvv6<
E  
Tw`l
4S&  
  b)能量集中度曲线 Aw|3W ]  
W&yw5rt**  
tr'95'5W.  
c) 点扩散函数

5. 实物照片 uV\=EDno