193nm长工作距离深紫外物镜

3.成像质量测试报告 xqs{d&W  

4.1焦距测量 y>_lxLhmO#  

4.3 透过率测量 5 >S#ew  

• 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
• 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%
• 整体透过率为94%（193nm处）。

4.2像质检测 <u]M):b3  
!K-lO{Z^  
a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 y3{'s>O6  
               v;AsV`g  
hOw  
  b)能量集中度曲线 `U?" {;j {  
1O]'iS"  
_y*@Hj  
c) 点扩散函数

5. 实物照片 X|zQZ<CO