关于极值法控制膜厚

初学者,请教各位大侠一个问题:
在镀制非λ/4双层增透膜时,如采用极值法控制膜厚,在镀第一层和第二层时,是否要改变控制波长?若是,这样上批量时,是否会因为反复调整光栅单色仪控制波长而降低光栅单色仪精度呢?可否在镀制非λ/4双层增透膜时(用光控),不用改变控制波长来控制膜厚呢?若可行的话,请问该怎样做呢?

dinghaiyi	2006-09-11 16:45
要改变控制波长

矮子lr	2006-09-12 23:15
谢谢dinghaiy给我的回答i,那会影响单色仪的精度吗?

lingwei104	2013-07-31 10:34
来学习

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