蓝宝石材料的激光微加工及其应用研究

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摘要：本论文是以研究157nm激光对蓝宝石基片和蓝宝石光纤的微加工为重点，并采用化学机械抛光(CMP)的方法对蓝宝石光纤端面打磨和抛光，最后采用157rim深紫外激光直写技术，在经过抛光处理的蓝宝石光纤上刻蚀微结构，搭建光路平台通过光谱分析，尝试进行蓝宝石光纤的法布里腔干涉和长周期光栅制作的实验。

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