镀膜色斑问题

球面平凸透镜镀增透膜，透镜直径36mm, 曲率半径173mm, R<0.5 @1550+/- 40nm，膜料Ta2O5 + SiO2，烘烤温度250，成都南光机。

相同的镀膜参数，镀10批次有1-2批次出现大比例膜层色斑，有时刚镀完取出没有色斑放置2天后出现色斑，有时刚镀完有色斑放置几天后色斑减淡或消失。出现色斑批次的光谱曲线和膜层牢固度都正常。

已排除了基片本身污染，真空腔内污染，离子源和膜料问题。

请问导致膜层色斑的可能原因还有哪些？

pathoptics	2014-12-05 09:07
没有回应，自顶一下

sgh920	2014-12-29 08:57
是色斑还是色环，若是色环就应该是均匀性问题。希望帮到你

pathoptics	2015-01-14 08:58
谢谢sgh920，是色斑不是色环，已确认过均匀性OK。此问题不定期出现，有时间隔1-2个月，在1-2炉上出现，就像幽灵一般。

081023	2015-02-01 19:06
应该是膜料成膜的致密性造成，现象和你说的一样，完全没规律。而其根本原因是设备，不知你是用的哪家南光。 O03N$Jq A

hyping518	2015-03-04 03:53
很是深奥啊

jiangguang	2015-03-10 12:24
预熔充分看看还有没有还有充氧的位置氧气的纯度等等都是一些细节方面慢慢排查

西北风	2015-09-17 15:50
现在还出现吗？如果没有可联系我 QQ2860598589

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