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kevin980828	2005-09-08 21:44
请教如何控制直流磁控溅镀膜厚的均匀度刚接触溅镀机,发现真空腔内外围比内围镀的产品膜厚要薄很多,色差太大,请各位大侠帮忙一下,如何改善.谢谢!!!

flyinlove79	2005-09-09 12:26
首先检查靶材表面磁场是否均匀，如果相差太大，溅射率相差会很大，就需要调整磁场分布。另外可在靶材前面放置一个修正板限制某些溅射率较大的位置。

leilinna	2008-11-20 21:25
请问楼上前辈：这块修正板应该是什么材料？如何放置呢？

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