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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 5Gc_LI&v7  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 8a_ UxB  
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目录 tvG g@Xs\  
前言 <|ka{=T  
第1章绪论 ]:[)KZ~  
1.1概述 X L{{7%j  
1.2光学元件质量评价 [P(rY  
1.2.1表面质量评价 L.R"~3  
1.2.2亚表面质量评价 vsOdp:Yp9!  
1.3干涉测量基础知识 \H},ou U  
1.3.1干涉原理 d<e+__ 2  
1.3.2典型干涉测量结构 z7D*z8,i  
第2章子子L径拼接轮廓测量 .~FKyP>[$  
2.1概述 Krt$=:m|1  
2.2圆形子孔径拼接 {ILp[ &sL  
2.2.1拼接原理 J r=REa0  
2.2.2拼接算法 6:e}v'q{  
2.3环形子孔径拼接 *##QXyyg  
2.3.1孔径划分 1jR=h7^=  
2.3.2拼接原理 ahK?]:&QO  
2.3.3拼接算法 #RCZA4>  
2.4广义子孔径拼接 hpd(d$j  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 8#NIs@DJ  
2.4.2计算机模拟 V'Sd[*  
2.5子孔径拼接优化算法 S,ouj;B  
2.5.1调整误差分量及其波像差 ~N)( ^ 4  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 OqAh4qa,$  
2.5.3仿真研究 My'9S2Y8nv  
2.6测量系统 }Rf}NWU)|  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 5i}CzA96  
2.6.2实验研究 _stI?fz*4k  
2.7超大口径拼接检测 SaX,^_GY  
2.7.1方案设计 ~*,Ddwr0a  
2.7.2拼接算法 Fjb4BdZ P  
2.8小结 -N /8Ho  
参考文献 /h.:br?M#P  
第3章接触式轮廓测量 duZ|mT8Q==  
3.1概述 D;1 6}D  
3.2测量理论基础 ^+.+I cH  
3.2.1测量原理 j\i;'t}8g  
3.2.2坐标系和坐标变换 ^VM"!O;h{  
3.2.3检测路径 llTQ\7zP  
3.2.4二次曲面系数研究 MbT ONt?~v  
3.2.5离轴镜测量模型 \FY/eQ*07  
3.3测量系统 B` t6H  
3.3.1测头系统 'PmHBQvt&  
3.3.2系统设计 9XJ9~I?  
3.4误差分析 PU]7c2.y  
3.4.1误差源分类 k8Su/U  
3.4.2固有误差 t wa(M?  
3.4.3随机调整误差  8o%<.]   
3.4.4接触力诱导误差 V{ a}#J  
3.4.5高阶像差误差分析 z<3}TD  
3.5小结 dd?x5|/#  
参考文献 ^^t]vojX  
第4章结构光轮廓测量 L XTipWKz  
4.1概述 )n[`Z#  
4.2基于结构光原理的测量方法 EDP I*@>  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 YKs^%GO+  
4.2.2相位测量轮廓术 5 ~ *'>y  
4.2.3莫尔测量轮廓术 >h/)r6  
4.2.4卷积解调法 it/C y\f  
4.2.5调制度测量轮廓术 M; S-ESQ  
4.3测量系统及其标定 :3E8`q~c1  
4.3.1结构光三维测量系统 0IT20.~  
4.3.2系统参数标定 dZ;~b(CA  
4.3.3快速标定方法 $z`cMQ r  
4.4位相展开算法 z</XnN  
4.4.1位相展开的基本原理 ATXx? b8h  
4.4.2空间位相展开方法 ~PH1|h6  
4.4.3时间位相展开方法 L&3Ar'  
4.4.4光栅图像采集与预处理 =oKPMmpCZ  
4.5测量误差分析 7DHT)9lD/  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 zn?a|kt  
4.5.2非线性误差矫正方法 {8>_,z^P)  
4.6小结 JJbM)B@-  
参考文献 fO^EMy\  
第5章亚表面损伤检测 t<EX#_i,  
5.1概述 7Da^Jv k  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 gl(6m`a>  
5.2.1产生机理 ,pGCgOG#}c  
5.2.2表征方法 )n3bi QL_  
5.3亚表面损伤检测技术 _6QLnr&@j  
5.3.1破坏性检测 RL]lt0O{  
5.3.2非破坏性检测 =Y=^]ayO/  
5.4工艺试验 A]~iuUHm  
5.4.1亚表面损伤的测量 e) /u>I  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 [&]YVn>kj  
5.4.3损伤抑制策略 +=29y@c  
5.5小结 ?XTg%U  
参考文献 |]]pHC_/W  
第6章其他测量技术 ke;*uS  
6.1移相干涉测量技术 |Z^c #R  
6.2动态干涉测量技术 pFv[z':&Q  
6.3剪切干涉 |0vHy7CE  
6.4点衍射干涉 6Kv}2M')+  
6.5白光干涉测量技术 &oK/ ]lub  
6.6外差干涉测量技术  qzU2H  
6.7补偿法检测非球面 TF}4X;3Dsy  
6.8计算全息法检测非球面 48"Y-TV  
参考文献 4[f7X4d$  
文摘 iYfLo">  
Lh9>8@ jf  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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