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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 %T,cR>lw  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 VpyqVbx1  
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J|@kF!6  
目录 +z O.|`+  
前言 Q60'5Wt  
第1章绪论 'tJ@+(tqw  
1.1概述 ]EfM;'j[  
1.2光学元件质量评价 %mNd9 ]<  
1.2.1表面质量评价 H]PEE!C;xC  
1.2.2亚表面质量评价 k.?@qCs[  
1.3干涉测量基础知识 NxrfRhaU3  
1.3.1干涉原理 @XN*H- |  
1.3.2典型干涉测量结构 [?S-on.  
第2章子子L径拼接轮廓测量 "W@>lf?"  
2.1概述 V!zU4!@qP  
2.2圆形子孔径拼接 3)3$ L  
2.2.1拼接原理 {O5(O oDa  
2.2.2拼接算法 c3!YA"5  
2.3环形子孔径拼接 qrkJ:  
2.3.1孔径划分 @2/ xu  
2.3.2拼接原理 #sb@)Q  
2.3.3拼接算法 d_)VeuE2  
2.4广义子孔径拼接 >slGicZ0  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 m98w0D@Ee  
2.4.2计算机模拟 !BEl6h  
2.5子孔径拼接优化算法 C7_nA:Rc  
2.5.1调整误差分量及其波像差 @!,W]?{  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 T3In0LQ  
2.5.3仿真研究 Y~P* !g  
2.6测量系统 XG8UdR|  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 XpT+xv1`;  
2.6.2实验研究 *ulkqpO  
2.7超大口径拼接检测 qU+q Y2S:  
2.7.1方案设计 a=AP*adx8  
2.7.2拼接算法 JqP~2,T  
2.8小结 e6 a]XO^  
参考文献 IZ&FNOSZ+4  
第3章接触式轮廓测量 gmdA1$c  
3.1概述 ,`U'q|b  
3.2测量理论基础 r(p@{L185  
3.2.1测量原理 yBnUz"  
3.2.2坐标系和坐标变换 UsnIx54D3  
3.2.3检测路径 N&]_U%#Q  
3.2.4二次曲面系数研究 *5q_fO  
3.2.5离轴镜测量模型 r%vO^8FQ  
3.3测量系统 x?n13C  
3.3.1测头系统 8w9?n3z=}  
3.3.2系统设计 L /V;;  
3.4误差分析 #s0Wx47~  
3.4.1误差源分类 Ry"N_Fb  
3.4.2固有误差 xM D]b  
3.4.3随机调整误差 F~zrg+VDjL  
3.4.4接触力诱导误差 _7N^<'B  
3.4.5高阶像差误差分析 W ,|JocDq  
3.5小结 ;\rKkH"K8n  
参考文献 D |9ItxYu  
第4章结构光轮廓测量 lj"72   
4.1概述 cp L'  
4.2基于结构光原理的测量方法 ?~WDl j3  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 LseS8F/q  
4.2.2相位测量轮廓术 v|GDPq  
4.2.3莫尔测量轮廓术 'FwNQzzt  
4.2.4卷积解调法 5sguv^;C5  
4.2.5调制度测量轮廓术 ^8{:RiN6e~  
4.3测量系统及其标定 ;Ff5ooL{  
4.3.1结构光三维测量系统 qTrb)95  
4.3.2系统参数标定 -"/l)1ox,  
4.3.3快速标定方法 qExmf%q:q  
4.4位相展开算法 "cx#6Bo|  
4.4.1位相展开的基本原理 4<q'QU#l<  
4.4.2空间位相展开方法 MznMt2-u  
4.4.3时间位相展开方法 UCI !>G  
4.4.4光栅图像采集与预处理 3#~w#Q0%  
4.5测量误差分析 0)E`6s#M  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 t[HA86X  
4.5.2非线性误差矫正方法 +=g9T`YbE  
4.6小结 T56%3i  
参考文献 Y!fgc<]'&  
第5章亚表面损伤检测 o 76QQ+hP  
5.1概述 } .'\IR  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 z-`-0@/A$  
5.2.1产生机理 K&UTs$_cI  
5.2.2表征方法 Uq:CM6q\  
5.3亚表面损伤检测技术 @Xl/<S&  
5.3.1破坏性检测 B'~CFj0W%=  
5.3.2非破坏性检测 BM_Rlcx~  
5.4工艺试验 o 12w p  
5.4.1亚表面损伤的测量 RinaGeim  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 ,,CheRO  
5.4.3损伤抑制策略 2t 1u{  
5.5小结 #*x8)6Ct  
参考文献 3p#BEH<re  
第6章其他测量技术 <v[UYvZvY  
6.1移相干涉测量技术 YLFM3IaP  
6.2动态干涉测量技术 'X/(M<c  
6.3剪切干涉 >Z!H9]f(  
6.4点衍射干涉 Nk@ag)  
6.5白光干涉测量技术 {p)=#Jd`.P  
6.6外差干涉测量技术 8bW,.to(?x  
6.7补偿法检测非球面 y5$AAas  
6.8计算全息法检测非球面 sq1v._^s  
参考文献 t7qzAr  
文摘 w5R?9"d@  
t+%tN^87:  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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