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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 @@M 2s(  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 g1UP/hNJ\8  
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AwN7/M~'  
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目录 GgwO>[T  
前言 {}RE;5n\['  
第1章绪论 :sDE 'o  
1.1概述 E{'{fo!#)  
1.2光学元件质量评价 LhO%^`vu  
1.2.1表面质量评价 D+.< kY.  
1.2.2亚表面质量评价 7L)edR [  
1.3干涉测量基础知识 _$g6Mj]1z  
1.3.1干涉原理 uyZ  
1.3.2典型干涉测量结构 T%zCAfx m  
第2章子子L径拼接轮廓测量 )lh48Ag0t;  
2.1概述 bS7rG$n [  
2.2圆形子孔径拼接 0N9`WK  
2.2.1拼接原理 P&I%!'<   
2.2.2拼接算法 PxE0b0eo  
2.3环形子孔径拼接 DO6Tz -%o  
2.3.1孔径划分 JWQd/  
2.3.2拼接原理 !'scOWWn  
2.3.3拼接算法 PW7{,1te,  
2.4广义子孔径拼接 r?Q`b2Q  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 ,6T F]6:  
2.4.2计算机模拟 $$'a  
2.5子孔径拼接优化算法 gJ;jh7e@  
2.5.1调整误差分量及其波像差 tf<}%4G  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 dAg<BK/  
2.5.3仿真研究 }Rl^7h<!  
2.6测量系统 GY% ^!r  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 [ =/Yo1:v  
2.6.2实验研究 bT93R8yp  
2.7超大口径拼接检测 Z8mSm[w  
2.7.1方案设计 P}kBqMM  
2.7.2拼接算法 DpA"5RV  
2.8小结 9rD6."G  
参考文献 8d4:8}  
第3章接触式轮廓测量 zt,Tda4Y  
3.1概述 <=O/_Iu(  
3.2测量理论基础 itotn!Wb`  
3.2.1测量原理 <;eXbO>Q  
3.2.2坐标系和坐标变换 4 H 4W  
3.2.3检测路径 n{Ce%gy  
3.2.4二次曲面系数研究 s0D,n1x  
3.2.5离轴镜测量模型 ppYIVI  
3.3测量系统 Ebk9[=  
3.3.1测头系统 y&A0}>a:d  
3.3.2系统设计 A8|DB@ Bi  
3.4误差分析 MawWgd*  
3.4.1误差源分类 [-Xz:  
3.4.2固有误差 Wb)>APL  
3.4.3随机调整误差 [l`_2{:  
3.4.4接触力诱导误差 $RAS pM  
3.4.5高阶像差误差分析 rHSA5.[1P  
3.5小结 _U Q|I|V#  
参考文献 WRdBL5  
第4章结构光轮廓测量 N"',  
4.1概述 5Yxs_t4  
4.2基于结构光原理的测量方法 owR`Z`^h)  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 D6Q6yNE  
4.2.2相位测量轮廓术 lhk=yVG3  
4.2.3莫尔测量轮廓术 @Yzdq\FI  
4.2.4卷积解调法 dx.,  
4.2.5调制度测量轮廓术 ?v5OUmFM  
4.3测量系统及其标定 n PAl8  
4.3.1结构光三维测量系统 6cQ)*,Q  
4.3.2系统参数标定 $4Vpl  
4.3.3快速标定方法 A vh"(j  
4.4位相展开算法 [\_#n5  
4.4.1位相展开的基本原理 JXhHitUD  
4.4.2空间位相展开方法 [c`u   
4.4.3时间位相展开方法 'c[|\M!u  
4.4.4光栅图像采集与预处理 GS*Mv{JJ  
4.5测量误差分析 %)t9b@c!}  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 jsp)e=  
4.5.2非线性误差矫正方法 O,D/& 0  
4.6小结 g %ZKn  
参考文献 G=VbEL^H  
第5章亚表面损伤检测 AcoU.tpP  
5.1概述 W]TO%x{  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 )8,)&F  
5.2.1产生机理 TXH9BlDn  
5.2.2表征方法 n1E^8[~'  
5.3亚表面损伤检测技术 ~#]$YoQ&O  
5.3.1破坏性检测 VX'cFqrK3  
5.3.2非破坏性检测 q8=hUD%5C  
5.4工艺试验 I\y=uC  
5.4.1亚表面损伤的测量  ?|$IZ9  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 gK%^}xU+  
5.4.3损伤抑制策略 5H{dLZ],  
5.5小结 ^Gt9.  
参考文献 +G.F'  
第6章其他测量技术 kv8 /UW  
6.1移相干涉测量技术 =rL^^MZp  
6.2动态干涉测量技术 _v\L'`bif  
6.3剪切干涉 '#*5jn]CqB  
6.4点衍射干涉 BKJwM'~  
6.5白光干涉测量技术 gX'nFGqud  
6.6外差干涉测量技术 .29y3}[PO  
6.7补偿法检测非球面 ", Ge:\TR=  
6.8计算全息法检测非球面 4k6,pt"  
参考文献 lYq/ n&@_1  
文摘 Vmb `%k20'  
S!JwF&EW  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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