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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 tbXl5x0 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 {)n@Rq\=v 6z5wFzJv?q [attachment=60103] 7n)ob![\d o1Krp '* 定价:85.00 8#nAs\^ 优惠价格:63.75 Oz4vV_a&' /|p\l"
Alk+MwjR W#@6e')d 目录 YB1Jv[ 前言 Vq599M:)V 第1章绪论 2YQ;Kh"S
1.1概述 `>- 56 % 1.2光学元件质量评价 PjP6^" 1.2.1表面质量评价 `x`zv1U 1.2.2亚表面质量评价 -asjBSo*D 1.3干涉测量基础知识 2f0mr?l)N 1.3.1干涉原理 )Ut K9;@" 1.3.2典型干涉测量结构 if?X^j0 第2章子子L径拼接轮廓测量 ZPG~@lU 2.1概述 TkR#Kzv380 2.2圆形子孔径拼接 QM'|k6 2.2.1拼接原理 Px3I+VP 2.2.2拼接算法 2fgYcQ8` 2.3环形子孔径拼接 ;\(LovUy6 2.3.1孔径划分 eH V#Mey[ 2.3.2拼接原理 Qv<p$Up6 2.3.3拼接算法 rJ{k1H > 2.4广义子孔径拼接 8!{
}WLwb 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 _^g4/G#13c 2.4.2计算机模拟 )KY4BBc 2.5子孔径拼接优化算法 {oS/Xa 2.5.1调整误差分量及其波像差 DX^8w?t 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 -,+~W#n 2.5.3仿真研究 ;jJ4H+8 2.6测量系统 P]iJ"d]+X 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 h1)ny1; 2.6.2实验研究 /
*/"gz% 2.7超大口径拼接检测 -Q/wW4dE= 2.7.1方案设计 ma xpR>7`j 2.7.2拼接算法 5IA3\G}+ 2.8小结 DL#y_;#3_ 参考文献 kRr/x-" 第3章接触式轮廓测量 =te4p@ 3.1概述 OnH3Ss$ 3.2测量理论基础 &7,::$cu 3.2.1测量原理 ,rjl|F*
T 3.2.2坐标系和坐标变换 3mHP=) 3.2.3检测路径 Vry*=X&Q 3.2.4二次曲面系数研究 6HPuCP 3.2.5离轴镜测量模型 GO.7IL{{ 3.3测量系统 Z^BZH/I? 3.3.1测头系统 :*/g~y(fE 3.3.2系统设计 .mNw^>:cq 3.4误差分析 3kT?Y7<fv 3.4.1误差源分类 ]a`"O 3.4.2固有误差 ">M&/}4 3.4.3随机调整误差 iUFG!,+d 3.4.4接触力诱导误差 Ljiw9*ZI 3.4.5高阶像差误差分析 \mTi@T!& 3.5小结 N{}8Zh4op 参考文献 'BUfdb8d 第4章结构光轮廓测量 W56VA>ia 4.1概述 !xBJJ/K+| 4.2基于结构光原理的测量方法 *Z\AO'h=Z 4.2.1傅里叶变换轮廓术 .2U3_1dX 4.2.2相位测量轮廓术 ESk:$`P 4.2.3莫尔测量轮廓术 @FZ_[CYg 4.2.4卷积解调法 t&p I 4.2.5调制度测量轮廓术 l8J2Xd @ 4.3测量系统及其标定 c[V.j+Iy#^ 4.3.1结构光三维测量系统 h:|BQC 4.3.2系统参数标定 h4=mGJpm 4.3.3快速标定方法 sIbPMu`&U 4.4位相展开算法 9KB}?~Nx4 4.4.1位相展开的基本原理 Z4:^#98c. 4.4.2空间位相展开方法 +6}CNC9Mp 4.4.3时间位相展开方法 M6 8foeeN 4.4.4光栅图像采集与预处理 BR-wL3x
b 4.5测量误差分析 Tm9sQ7Oj( 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 7KGb2V< t 4.5.2非线性误差矫正方法 ho)JY
$#6 4.6小结 i`Qa7 参考文献 k7{|\w% 第5章亚表面损伤检测 a@Zolz_Z 5.1概述 R^=v&c{@ 5.2亚表面损伤产生机理与表征 }#;.b'` 5.2.1产生机理 )#1!%aQ 5.2.2表征方法 {;th~[ 5.3亚表面损伤检测技术 _>aP5g?Ep 5.3.1破坏性检测 2s>BNWTU 5.3.2非破坏性检测 ,j9? 9Z7R 5.4工艺试验 ,jtaTG.> 5.4.1亚表面损伤的测量 ,L.V>Ae 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 `KE]RTq 5.4.3损伤抑制策略 @ULWVS#t2 5.5小结 *z#du*f[ 参考文献 ^ fyue~9u 第6章其他测量技术 RnU7|p{ 6.1移相干涉测量技术 -"{g kjuv 6.2动态干涉测量技术 )FmIL(vu 6.3剪切干涉 FzP1b_i 6.4点衍射干涉 -j2y#aP 6.5白光干涉测量技术 k4!_(X%8 6.6外差干涉测量技术 *W^a<Zm8> 6.7补偿法检测非球面 w (z=xO 6.8计算全息法检测非球面 )v11j.D 参考文献 ()w;~$J 文摘 6`G8 UDK>F h{H*k#>
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