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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 !7bw5H 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 +pm[f["C. h}`!(K^;3 [attachment=60103] }x0- V8 MPgS!V1 定价:85.00 4Y> Yi*n 优惠价格:63.75 }[+!$# I` K$E/ns
@Ky> 9m{ b2,mCfLsv 目录 U9y|>P\)T 前言 /cr}N%HZB 第1章绪论 D]a:@x`+Bz 1.1概述 ?~"bR% 1.2光学元件质量评价 g>rp@M 1.2.1表面质量评价 \c v?^AI 1.2.2亚表面质量评价 kum#^^4G| 1.3干涉测量基础知识 'ly?P8h 1.3.1干涉原理 %@a8P 1.3.2典型干涉测量结构 L4u;|-znw 第2章子子L径拼接轮廓测量 .nu @ o40 2.1概述 w]b,7QuNz 2.2圆形子孔径拼接 u%/fx~t$ 2.2.1拼接原理 /MMd`VrC2 2.2.2拼接算法 \0l>q , 2.3环形子孔径拼接 <ljI;xE 2.3.1孔径划分 n<sd!xmqFx 2.3.2拼接原理 Zv11uH-C 2.3.3拼接算法 2kAx>R 2.4广义子孔径拼接 YJg,B\z} 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 GZS1zTwBL 2.4.2计算机模拟 E!BPE> 2.5子孔径拼接优化算法 @E( 7V(m/ 2.5.1调整误差分量及其波像差 }G o$
\Bk 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 fkSO( C) 2.5.3仿真研究 XC 7?VE 2.6测量系统 b`yZ|j'ikd 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 ]<(]u#g_d 2.6.2实验研究 ?Xdak|?i 2.7超大口径拼接检测 BqDKT 2.7.1方案设计 >Rvx[`|O!m 2.7.2拼接算法 <IW#ME 2.8小结 fO'Wj`&a 参考文献 D|Iur W1f 第3章接触式轮廓测量 ] Z8Vj7~ 3.1概述 I? THa< 3.2测量理论基础 `l2O?U -@ 3.2.1测量原理 QB.J,o*XD4 3.2.2坐标系和坐标变换 I;5R2" 3 3.2.3检测路径 ?D,=37 3.2.4二次曲面系数研究 O#wpbrJ 3.2.5离轴镜测量模型 O }9KJU 3.3测量系统 (b?{xf'G 3.3.1测头系统 L
%ip> 3.3.2系统设计 +*\X]06 3.4误差分析 |KB0P@=a 3.4.1误差源分类 '(?
uPr 3.4.2固有误差 ]E =Iu 3.4.3随机调整误差 UnVm1ZWZ 3.4.4接触力诱导误差 G}
eUL|S 3.4.5高阶像差误差分析 x^Yl*iq 3.5小结 Y(cN}44 参考文献 ^c~)/F/cF 第4章结构光轮廓测量 o6f_l^+H 4.1概述 k = ?h~n0M 4.2基于结构光原理的测量方法 E?(xb B 4.2.1傅里叶变换轮廓术 e8YMX&0% 4.2.2相位测量轮廓术 ZmOfEg|h\ 4.2.3莫尔测量轮廓术 + <,gB $j 4.2.4卷积解调法 | mu+9 4.2.5调制度测量轮廓术 e h,~^x5 4.3测量系统及其标定 ARcv;H 5 4.3.1结构光三维测量系统 G:x*BH+ 4.3.2系统参数标定 qV5DW0. 4.3.3快速标定方法 s1|/S\ 4.4位相展开算法 pJN$ { 4.4.1位相展开的基本原理 Y#!h9F 4.4.2空间位相展开方法 XqM3<~$ 4.4.3时间位相展开方法 =^H4 Yck/5 4.4.4光栅图像采集与预处理 fgihy 4.5测量误差分析 r`c_e)STO 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 5[j`6l 4.5.2非线性误差矫正方法 "c}@V*cO<d 4.6小结 0]HYP;E"U 参考文献 4v[~r1!V 第5章亚表面损伤检测 [ sd;`xk 5.1概述 &3J@BMYp 5.2亚表面损伤产生机理与表征 =]3tUD 5.2.1产生机理 FKe, qTqa 5.2.2表征方法 29XL$v], 5.3亚表面损伤检测技术 s1?[7yC 5.3.1破坏性检测 jqr1V_3( 5.3.2非破坏性检测 ie-vqLc 5.4工艺试验 lO2[JP 5.4.1亚表面损伤的测量 DcSnia62f 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 v&Kqq!DE 5.4.3损伤抑制策略 ;gC| 5.5小结 r!
Ay:r 参考文献 )Ud-}* g 第6章其他测量技术 $%VuSrZ& 6.1移相干涉测量技术 a<]B B$~ 6.2动态干涉测量技术 :!zl^J; 6.3剪切干涉 ko5V9Drc 6.4点衍射干涉 2w)-\/j} 6.5白光干涉测量技术 m Z1)wH , 6.6外差干涉测量技术 vM_:&j_?`` 6.7补偿法检测非球面 lsN~*q?~] 6.8计算全息法检测非球面 Fs[aa#v4B 参考文献 {mB0rKVm 文摘 d;n."+=[x >vo=]cw
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