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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 @5:#J !  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 oH>G3n|U^  
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4E 32DG*  
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目录 W%_Cda5,  
前言 Q35jJQ$<`  
第1章绪论 G+V?c1Me  
1.1概述 ]7:*A7/!.  
1.2光学元件质量评价 cOrFe;8-.  
1.2.1表面质量评价 DNmP>~  
1.2.2亚表面质量评价 !'f.g|a  
1.3干涉测量基础知识 }]!?t~5*  
1.3.1干涉原理 RQQ\y`h`  
1.3.2典型干涉测量结构 rOA{8)jIa*  
第2章子子L径拼接轮廓测量 ,WgEl4  
2.1概述 -kkp Ew\  
2.2圆形子孔径拼接 </-aG[Fi  
2.2.1拼接原理 B82SAV/O  
2.2.2拼接算法 H*R4AE0  
2.3环形子孔径拼接 Q)L6+gW^  
2.3.1孔径划分 GS&iSjw  
2.3.2拼接原理 a=&{B'^G  
2.3.3拼接算法 7j~}M(s"  
2.4广义子孔径拼接 LnlDCbF;!  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 e{E8_2d  
2.4.2计算机模拟 JS#AoPWA  
2.5子孔径拼接优化算法 KbM1b  
2.5.1调整误差分量及其波像差 CEEAyip-c  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 {}DoRp q=  
2.5.3仿真研究 rPXy(d1<`S  
2.6测量系统 3\E G  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 pZV=Co3!I  
2.6.2实验研究 r";;Fk#5  
2.7超大口径拼接检测 AoFxho  
2.7.1方案设计 D5$| vv1  
2.7.2拼接算法 ]aI   
2.8小结 w7`09oJm  
参考文献 -4LckY=]1  
第3章接触式轮廓测量 V8}jFib  
3.1概述 (pT 7m  
3.2测量理论基础 2e| m3  
3.2.1测量原理 AEE&{ _[S  
3.2.2坐标系和坐标变换 +XoY@|Djd  
3.2.3检测路径 kmur={IR  
3.2.4二次曲面系数研究 k r ga!,I  
3.2.5离轴镜测量模型 6O| rI>D  
3.3测量系统 .Hm1ispq  
3.3.1测头系统 [/GCy0jk  
3.3.2系统设计 Y@2v/O,\  
3.4误差分析 }[b3$WZ  
3.4.1误差源分类 Ta NcnAY>9  
3.4.2固有误差 1^AG/w  
3.4.3随机调整误差 g\Akf  
3.4.4接触力诱导误差 7;3;8Q FX  
3.4.5高阶像差误差分析 ,}a'h4C  
3.5小结 Ck>{7 Gw  
参考文献 1dl(`=^X  
第4章结构光轮廓测量 Sgq" 3(+%,  
4.1概述 {N'<_%cu  
4.2基于结构光原理的测量方法 2f0qfF  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 r O-=):2  
4.2.2相位测量轮廓术 [iUy_ C=qp  
4.2.3莫尔测量轮廓术  RI&V:1  
4.2.4卷积解调法 ZIs=%6""&  
4.2.5调制度测量轮廓术 ?cKe~Q?3  
4.3测量系统及其标定 "/0Vvy_|  
4.3.1结构光三维测量系统 P&5kO;ia  
4.3.2系统参数标定 xM2UwTpW  
4.3.3快速标定方法 k<QZ_*x}G  
4.4位相展开算法 5KC Zg'h  
4.4.1位相展开的基本原理 @~C C$Y$  
4.4.2空间位相展开方法 MwTouEGGgA  
4.4.3时间位相展开方法  s4vj  
4.4.4光栅图像采集与预处理 X1 FKcWv  
4.5测量误差分析 {VT**o  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 6oy[0hj  
4.5.2非线性误差矫正方法 ^7iP!-w/  
4.6小结 NEW0dF&)  
参考文献 C8AR ^F W  
第5章亚表面损伤检测 "9O8#i<Nr  
5.1概述 }dpE>  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 bEB9J- Q  
5.2.1产生机理 Xz\X 8I  
5.2.2表征方法 Rgb&EnVW  
5.3亚表面损伤检测技术 9"cyZO  
5.3.1破坏性检测 Ws;X;7tS  
5.3.2非破坏性检测 }.N~jx0R  
5.4工艺试验 V@pUU~6R  
5.4.1亚表面损伤的测量 7g-{ <d  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 J!d=aGY0-  
5.4.3损伤抑制策略 PasVfC@  
5.5小结 Eu2(#z 6eW  
参考文献 f[Xsri  
第6章其他测量技术 0S&C[I o6  
6.1移相干涉测量技术 3,)[Q?nKD  
6.2动态干涉测量技术 yM# %UeZ\  
6.3剪切干涉 6[\1Nzy>  
6.4点衍射干涉 `2hLs _  
6.5白光干涉测量技术 W<T Ui51Y  
6.6外差干涉测量技术 [ @9a  
6.7补偿法检测非球面 ,jdTe?[*^  
6.8计算全息法检测非球面 7}puj%JS /  
参考文献 V>& 1;n  
文摘 C@!bd+'  
}#phNn6  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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