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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 xkAK!uVy 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 !|>"o7 U/BR*Zn]* [attachment=60103] #e5\j\#. 4KrL{Z+} 定价:85.00 5kXYeP3: 优惠价格:63.75 rrv%~giU WX0tgXl
ct}9i"H#1 Rx}Gz$ 目录 40
0#v|b 前言 sx<%2 第1章绪论 4X|zmr:A 1.1概述 t
|oR7qa{w 1.2光学元件质量评价 ;*&-C9b 1.2.1表面质量评价 WjqO@]P6 1.2.2亚表面质量评价 Q NVa?'0"Y 1.3干涉测量基础知识 Sa5G.^XI 1.3.1干涉原理 "
2Dngw 1.3.2典型干涉测量结构 ^Zp>G{QL{ 第2章子子L径拼接轮廓测量 N}YkMJy 2.1概述 Xn\jO>[Ef 2.2圆形子孔径拼接 G*v,GR 2.2.1拼接原理 Ti&z1_u 2.2.2拼接算法 &
ZB 2.3环形子孔径拼接 Om {'1 2.3.1孔径划分 C"enpc_C/ 2.3.2拼接原理 01o4Th m 2.3.3拼接算法 {FTqu. 2.4广义子孔径拼接 ^zgo#J5O 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 xn|(9#1o 2.4.2计算机模拟 u>/ TE 2.5子孔径拼接优化算法 4ss4kp_> 2.5.1调整误差分量及其波像差 {kAc(
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 xAP+FWyV 2.5.3仿真研究 2dgd~
2.6测量系统 gltBC${7wZ 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 y18Y:)DkL 2.6.2实验研究 dnuu&Rv 2.7超大口径拼接检测 NW)1#]gg% 2.7.1方案设计 j1HW._G 2.7.2拼接算法 7vj2
`+r. 2.8小结 9Lfv^V0 参考文献 4I5Y,g{6+ 第3章接触式轮廓测量 FNId; 3.1概述 *k>n<p3dd 3.2测量理论基础 G<;*SYAb 3.2.1测量原理 9JKEw 3.2.2坐标系和坐标变换 EAby?51+ 3.2.3检测路径 EDs\,f} 3.2.4二次曲面系数研究 _n\GNUA 3.2.5离轴镜测量模型 ?@
$r 3.3测量系统 hwNf~3eJk 3.3.1测头系统 Q.c\/& 3.3.2系统设计 N$:8,9.z 3.4误差分析 B^jc3 VsR 3.4.1误差源分类 k+l b@! 3.4.2固有误差 b*Q&CL 3.4.3随机调整误差 mU9kVx1+ 3.4.4接触力诱导误差 %GIr&V4| 3.4.5高阶像差误差分析 mUx+Y ]Ep 3.5小结 _2 osV[e 参考文献 Xm2z}X(% 第4章结构光轮廓测量 '(jG[ry&T 4.1概述 c-FcEW 4.2基于结构光原理的测量方法 {P#|zp 4C{ 4.2.1傅里叶变换轮廓术 ',5ky{ 4.2.2相位测量轮廓术 1]/.` ]1 4.2.3莫尔测量轮廓术 n>U5R_T 4.2.4卷积解调法 U_c *6CK 4.2.5调制度测量轮廓术 2SR: FUV/ 4.3测量系统及其标定 42ivT_H 4.3.1结构光三维测量系统 6Sn .I1Wy 4.3.2系统参数标定 3|Xyl`i4o 4.3.3快速标定方法 DrK{}uM 4.4位相展开算法 liz~7RY4 4.4.1位相展开的基本原理 0NX,QD 4.4.2空间位相展开方法 x# 5A(g 4.4.3时间位相展开方法 gt w Q- 4.4.4光栅图像采集与预处理 ,UdVNA 4.5测量误差分析 WQO) =n 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 .y:U&Rw4 4.5.2非线性误差矫正方法 x`)&J
B 4.6小结 T:W4$P 参考文献 Jma1N;d 第5章亚表面损伤检测 3>VL}Ui} 5.1概述 WVvvI9 5.2亚表面损伤产生机理与表征 <dhM\^[ 5.2.1产生机理 =+d?x56 5.2.2表征方法 Jo23P.#< 5.3亚表面损伤检测技术 ."y1_dDql 5.3.1破坏性检测 Qv/=&_6 5.3.2非破坏性检测 3I-MdApT 5.4工艺试验 Alw3\_X 5.4.1亚表面损伤的测量 ]- QA'Lq 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 T 0rGM 5.4.3损伤抑制策略 QGmn#]w\\ 5.5小结 mF^v ~ 参考文献 {%6`!WW[ 第6章其他测量技术 K:30_l< 6.1移相干涉测量技术 wz ~d(a# 6.2动态干涉测量技术 001FmiV 6.3剪切干涉 l"]}Ts# 6.4点衍射干涉 vn"{I&L+w0 6.5白光干涉测量技术
zi`o#+ 6.6外差干涉测量技术 d)f :)Ew 6.7补偿法检测非球面 -5QZJF2~ 6.8计算全息法检测非球面 {fn!' 参考文献 7g}w+p> 文摘 _[ZO p ~ BbS4m
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