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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 5Gc_LI&v7 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 8a_ UxB Z^6A_:]j [attachment=60103] USH@:c#t !>?4[|?n< 定价:85.00 %-T}s`Z 优惠价格:63.75 ^f!Zr I=Gr^\x=
@#'yPV1 j0Id!o 目录 tvGg@Xs\ 前言
<|ka{=T 第1章绪论 ]:[)KZ~ 1.1概述 XL{{7%j 1.2光学元件质量评价 [P (rY 1.2.1表面质量评价 L.R"~3 1.2.2亚表面质量评价 vsOdp:Yp9! 1.3干涉测量基础知识 \H},ouU 1.3.1干涉原理 d<e+__2 1.3.2典型干涉测量结构 z7D*z8,i 第2章子子L径拼接轮廓测量 .~FKyP>[$ 2.1概述 Krt$=:m|1 2.2圆形子孔径拼接 {ILp[&sL 2.2.1拼接原理 J
r=REa0 2.2.2拼接算法 6:e}v'q{ 2.3环形子孔径拼接 *##QXyyg 2.3.1孔径划分 1jR=h7^= 2.3.2拼接原理 ahK?]:&QO 2.3.3拼接算法 #RCZA4> 2.4广义子孔径拼接 hpd(d$j 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 8#NIs@DJ 2.4.2计算机模拟 V'Sd[* 2.5子孔径拼接优化算法 S,ouj;B 2.5.1调整误差分量及其波像差 ~N)( ^ 4 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 OqAh4qa,$ 2.5.3仿真研究 My'9S2Y8nv 2.6测量系统 }Rf}NWU)| 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 5i}CzA96 2.6.2实验研究 _stI?fz*4k 2.7超大口径拼接检测 SaX,^_GY 2.7.1方案设计 ~*,Ddwr0a 2.7.2拼接算法 Fjb4BdZP 2.8小结 -N /8Ho 参考文献 /h.:br?M#P 第3章接触式轮廓测量 duZ|mT8Q== 3.1概述 D;16}D 3.2测量理论基础 ^+.+IcH 3.2.1测量原理 j\i;'t}8g 3.2.2坐标系和坐标变换 ^VM"!O;h{ 3.2.3检测路径 llTQ\7zP 3.2.4二次曲面系数研究 MbT
ONt?~v 3.2.5离轴镜测量模型 \FY/eQ*07 3.3测量系统 B` t6H 3.3.1测头系统 'PmHBQvt& 3.3.2系统设计 9XJ9~I? 3.4误差分析 PU]7c2.y 3.4.1误差源分类 k8Su/U 3.4.2固有误差 t
wa(M? 3.4.3随机调整误差 8o%<.] 3.4.4接触力诱导误差 V{a}#J 3.4.5高阶像差误差分析 z<3}TD 3.5小结 dd?x5|/# 参考文献 ^^t]vojX 第4章结构光轮廓测量 LXTipWKz 4.1概述 )n[`Z# 4.2基于结构光原理的测量方法 EDPI*@> 4.2.1傅里叶变换轮廓术 YKs^%GO+ 4.2.2相位测量轮廓术 5~ *'>y 4.2.3莫尔测量轮廓术 >h/)r6 4.2.4卷积解调法 it/C y\f 4.2.5调制度测量轮廓术 M;S-ESQ 4.3测量系统及其标定 :3E8`q~c1 4.3.1结构光三维测量系统 0IT20.~ 4.3.2系统参数标定 dZ;~b(CA 4.3.3快速标定方法 $z`cMQ r 4.4位相展开算法 z</XnN 4.4.1位相展开的基本原理 ATXx?
b8h 4.4.2空间位相展开方法 ~PH1|h6 4.4.3时间位相展开方法 L&3Ar' 4.4.4光栅图像采集与预处理 =oKPMmpCZ 4.5测量误差分析 7DHT)9lD/ 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 zn?a|kt 4.5.2非线性误差矫正方法 {8>_,z^P) 4.6小结 JJbM)B@- 参考文献 fO^EMy\ 第5章亚表面损伤检测 t<EX#_i, 5.1概述 7Da^Jv k 5.2亚表面损伤产生机理与表征 gl(6m`a> 5.2.1产生机理 ,pGCgOG#}c 5.2.2表征方法 )n3biQL_ 5.3亚表面损伤检测技术 _6QLnr&@j 5.3.1破坏性检测 RL]lt0O{ 5.3.2非破坏性检测 =Y=^]ayO/ 5.4工艺试验 A]~i uUHm 5.4.1亚表面损伤的测量 e)
/u>I 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 [&]YVn>kj 5.4.3损伤抑制策略 +=29y@c 5.5小结 ?XTg%U
参考文献 |]]pHC_/W 第6章其他测量技术 ke;*uS 6.1移相干涉测量技术 |Z^c#R 6.2动态干涉测量技术 pFv[z':&Q 6.3剪切干涉 |0vHy7CE 6.4点衍射干涉 6Kv}2M')+ 6.5白光干涉测量技术 &oK/]lub 6.6外差干涉测量技术 qzU2H 6.7补偿法检测非球面 TF}4X;3Dsy 6.8计算全息法检测非球面 48"Y-TV 参考文献 4[f7X4d$ 文摘 iYfLo"> Lh9>8@ jf
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