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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 ]xLb )Z 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 pnA]@FW cKYvRe [attachment=60103] 4%v+ark8 '=b&)HbeK 定价:85.00 a=B0ytNm 优惠价格:63.75 :kx#];2i P[P72WR
u4+uGYr*@ Okg8Ve2 目录 &CmkNm_B 前言 >T*g'954xF 第1章绪论 .@3u3i64' 1.1概述 F Hcqu_;J 1.2光学元件质量评价 g~H?l3v 1.2.1表面质量评价 <$ZT]p T 1.2.2亚表面质量评价 *4^]?Y\* 1.3干涉测量基础知识 LLHOWD C(2 1.3.1干涉原理 |M/
\'pOe 1.3.2典型干涉测量结构 dVt@D& 第2章子子L径拼接轮廓测量 WAa1H60VkS 2.1概述 ;_\ 2.2圆形子孔径拼接 h-rj 2.2.1拼接原理 !>@V#I 2.2.2拼接算法 Qn3+bF4 2.3环形子孔径拼接 ~ kJpB t7M 2.3.1孔径划分 I64:-P[\ 2.3.2拼接原理 kZ[yv 2.3.3拼接算法 Q0; gF? 2.4广义子孔径拼接 9la~3L_g 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 +,^M{^% 2.4.2计算机模拟 M)pi)$&c 2.5子孔径拼接优化算法 6Vzc:8o> 2.5.1调整误差分量及其波像差 vhEs +j 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 molowPI 2.5.3仿真研究 RR[TW; 2.6测量系统 %R"/`N9R, 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 #R PB;#{ 2.6.2实验研究 zwrZ^ 2.7超大口径拼接检测 ;k%sKVP 2.7.1方案设计 a[cH@7W.# 2.7.2拼接算法 ~JPzjE 2.8小结 &&S4x 参考文献 n4&j<zAV{ 第3章接触式轮廓测量 ;f^jB;\< 3.1概述 S|4/C 3.2测量理论基础 B@v H1T 3.2.1测量原理 *AQbXw]w 3.2.2坐标系和坐标变换 4H?Ma|, 3.2.3检测路径 )-"L4TC) 3.2.4二次曲面系数研究 fDHISJv 3.2.5离轴镜测量模型 )tch>.EQ_ 3.3测量系统 RX\O'Zwl j 3.3.1测头系统 p%
%Y^=z 3.3.2系统设计 BmF>IQ`M? 3.4误差分析 |3@Pt>Ikl 3.4.1误差源分类 3A}8? 3.4.2固有误差 jtr=8OiL 3.4.3随机调整误差 2U+p@}cQUA 3.4.4接触力诱导误差 r3vj o( 3.4.5高阶像差误差分析 $rYu4^ 3.5小结 J5IJy3d 参考文献 -XG$ 0 第4章结构光轮廓测量 M%^laf 4.1概述 L/LNX{| 4.2基于结构光原理的测量方法 J*C*]( 4.2.1傅里叶变换轮廓术 (UT*T 4.2.2相位测量轮廓术 (
+hI 4.2.3莫尔测量轮廓术 M':.b+xN 4.2.4卷积解调法 deY<+! 4.2.5调制度测量轮廓术 $*-L8An? 4.3测量系统及其标定 ClZyQ=UAD 4.3.1结构光三维测量系统 [E7@W[xr 4.3.2系统参数标定 FRk_xxe"K 4.3.3快速标定方法 I>Yp=R 4.4位相展开算法 97dI4t< 4.4.1位相展开的基本原理 'Jr*oru 4.4.2空间位相展开方法 i}"JCqo2 4.4.3时间位相展开方法 --FtFo 4.4.4光栅图像采集与预处理 qW >J-,61/ 4.5测量误差分析 g(H3arb& 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 OR8o%AxL7 4.5.2非线性误差矫正方法 C8q-gP[ 4.6小结 rNC3h"i\ 参考文献 4O^1gw 第5章亚表面损伤检测 LXV6Ew5E 5.1概述 7~f6j:{|z 5.2亚表面损伤产生机理与表征 ,jcp"-5#j 5.2.1产生机理 $?{zV$r1 5.2.2表征方法 W%cPX0 5.3亚表面损伤检测技术 hDMp^^$ 5.3.1破坏性检测 j=S"KVp9NF 5.3.2非破坏性检测 0pOha(,~ 5.4工艺试验 n#/m7 5.4.1亚表面损伤的测量 u;g}N'" 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 1<|I[EI 5.4.3损伤抑制策略 P'~3WL4MKs 5.5小结 7HFO-r118 参考文献 X5[sw;rk 第6章其他测量技术 z\
pT+9& 6.1移相干涉测量技术 0u\@-np 6.2动态干涉测量技术 Bx>@HU 6.3剪切干涉 a$8?0`( 6.4点衍射干涉 ,u2<()`8D 6.5白光干涉测量技术 gXMkI$ab 6.6外差干涉测量技术 yQ50f~9 6.7补偿法检测非球面 {!h[@f4 6.8计算全息法检测非球面 heA\6W:u& 参考文献 cn:VEF:l 文摘 E}2[Pb)e 0fU>L^P_?
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