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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 F ]X<q uuL  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 #:=c)[G8  
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目录 QpzdlB44l  
前言 3W ]zLUn  
第1章绪论 5fs,UH  
1.1概述 noaR3)  
1.2光学元件质量评价 }x$@j  
1.2.1表面质量评价 VQf^yq  
1.2.2亚表面质量评价 p".wqg*W  
1.3干涉测量基础知识 2ia&c@P-  
1.3.1干涉原理 lNc0znY  
1.3.2典型干涉测量结构 f3,LX]zKA  
第2章子子L径拼接轮廓测量 dVq9'{[3  
2.1概述  e4_A`j'  
2.2圆形子孔径拼接 )y:M8((%  
2.2.1拼接原理 `B&E?x  
2.2.2拼接算法 > mCH!ey  
2.3环形子孔径拼接 })8D3kzX)  
2.3.1孔径划分 oFyB-vpYQV  
2.3.2拼接原理 ekfa"X_  
2.3.3拼接算法 BGVnL}0  
2.4广义子孔径拼接 #N`MzmwS  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 N:'GNMu  
2.4.2计算机模拟 j+fF$6po#t  
2.5子孔径拼接优化算法 ^^k9Acd~p  
2.5.1调整误差分量及其波像差 u1kCvi#N  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型  3bd`q $  
2.5.3仿真研究 \ eba9i^  
2.6测量系统 w"D1mI!L 7  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 Y]~-S  
2.6.2实验研究 #v$wjqK5  
2.7超大口径拼接检测 3XUVUd~  
2.7.1方案设计 _8SB+s*  
2.7.2拼接算法 Qa2p34Z/  
2.8小结 C_ ;nlG6  
参考文献 Y1AZ%{^0a  
第3章接触式轮廓测量 uZf 6W<a  
3.1概述 m' j1  
3.2测量理论基础 OP=oSfa  
3.2.1测量原理 V"gKk$j7  
3.2.2坐标系和坐标变换 mo tW7|p.e  
3.2.3检测路径 c#?~1@=  
3.2.4二次曲面系数研究 ]p4?nT@]  
3.2.5离轴镜测量模型 ,. ht ~AE  
3.3测量系统 X16O9qsh  
3.3.1测头系统 <tO@dI$~>  
3.3.2系统设计 2ER_?y  
3.4误差分析 rT-.'aQ2t  
3.4.1误差源分类 9 M?UPE  
3.4.2固有误差 ~[aV\r?  
3.4.3随机调整误差 ',|OoxhbK  
3.4.4接触力诱导误差 :%28*fl  
3.4.5高阶像差误差分析 3z#> 1HD$  
3.5小结 ze LIOw  
参考文献 VqD_FS;E  
第4章结构光轮廓测量 lHliMBSc  
4.1概述 7c%dSs6  
4.2基于结构光原理的测量方法 M/xm6  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 ]m &Ss  
4.2.2相位测量轮廓术 ;K4=fHl  
4.2.3莫尔测量轮廓术 ,'<NyA><  
4.2.4卷积解调法 ,T ^A?t  
4.2.5调制度测量轮廓术 aWvC-vZk  
4.3测量系统及其标定 [EVyCIcY,h  
4.3.1结构光三维测量系统 p_zVrlVb  
4.3.2系统参数标定 .R4,fCN  
4.3.3快速标定方法 B"88 .U}$  
4.4位相展开算法 ;$]a.9 -  
4.4.1位相展开的基本原理 /r&4< @  
4.4.2空间位相展开方法 pp#!sRUKPV  
4.4.3时间位相展开方法 -IDhK}C&T  
4.4.4光栅图像采集与预处理 AjO{c=d  
4.5测量误差分析 x a\~(B.  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 E+ XR[p  
4.5.2非线性误差矫正方法 uVX,[%*P  
4.6小结 U(~Nmo'  
参考文献 p2O[r  
第5章亚表面损伤检测 ^4[QX -_2  
5.1概述 E=bZ4 /  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 z>=;Xe8P8n  
5.2.1产生机理 QD-Bt=S7l  
5.2.2表征方法 iH dX  
5.3亚表面损伤检测技术 Ir- 1@_1Q  
5.3.1破坏性检测 %X\Rfn0J"  
5.3.2非破坏性检测 zQGj,EAM}  
5.4工艺试验 ;s4e8![o3  
5.4.1亚表面损伤的测量 t`Xx\  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 |\C.il7  
5.4.3损伤抑制策略 v9gaRqi8  
5.5小结 tPw7zFy6r  
参考文献 ,&@FToR  
第6章其他测量技术 y#O/Xw  
6.1移相干涉测量技术 a6d|Ps.\!  
6.2动态干涉测量技术 daf-B-  
6.3剪切干涉 `"xzC $  
6.4点衍射干涉 '&]6(+I>  
6.5白光干涉测量技术 zR=g<e1xe  
6.6外差干涉测量技术 IpKI6[2{`f  
6.7补偿法检测非球面 %yR 80mn8  
6.8计算全息法检测非球面 # ?u bvSdU  
参考文献 _JKz5hSl  
文摘 G+3uY25y  
E*v+@rv  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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