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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 .\Ul!&y  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 s fyBw  
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目录 M8\G>0Hc6  
前言 HmhUc,EC  
第1章绪论 c/b%T  
1.1概述 5.O-(eSa0&  
1.2光学元件质量评价 mPckf  
1.2.1表面质量评价 &}>|5>cJu  
1.2.2亚表面质量评价 tB GkRd!  
1.3干涉测量基础知识 Yr5iZ~V$  
1.3.1干涉原理 SrdE>fNbs  
1.3.2典型干涉测量结构 hN& yc  
第2章子子L径拼接轮廓测量 y>@v>S  
2.1概述 r4 9UJE  
2.2圆形子孔径拼接 4Y`! bT`  
2.2.1拼接原理 2IKxh  
2.2.2拼接算法 *Hx j_  
2.3环形子孔径拼接 2_Pz^L  
2.3.1孔径划分 fB_4f{E  
2.3.2拼接原理 BO8%:/37[4  
2.3.3拼接算法 M_qP!+Y  
2.4广义子孔径拼接 =]!8:I?C<  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 uG2Xkj  
2.4.2计算机模拟 -" 2<h:#  
2.5子孔径拼接优化算法 kSLSxfR  
2.5.1调整误差分量及其波像差 ]&&I|K_  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 8dr0 DF$c  
2.5.3仿真研究 X QI.0L"  
2.6测量系统 ,@}W@GGP)  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 p^p'/$<6_  
2.6.2实验研究 Coga-: 2vu  
2.7超大口径拼接检测 2.^7?ok  
2.7.1方案设计 3js)niT9u  
2.7.2拼接算法 OI'uH$y  
2.8小结 bq c;.4$  
参考文献 Bx\#`Y  
第3章接触式轮廓测量 :X3rd|;kc  
3.1概述 4aj[5fhb-  
3.2测量理论基础 2v"wWap-+  
3.2.1测量原理 r$b:1C~  
3.2.2坐标系和坐标变换 O4lxeiRgC  
3.2.3检测路径 1i5 vW-'4  
3.2.4二次曲面系数研究 d [\>'>  
3.2.5离轴镜测量模型 B$K7L'e+-  
3.3测量系统 mJwv&E  
3.3.1测头系统 2A dX)iF@  
3.3.2系统设计 @#bBs9@gv  
3.4误差分析 w:m'uB%W  
3.4.1误差源分类 {Uik|  
3.4.2固有误差 >g5T;NgH9  
3.4.3随机调整误差 0-8ELX[#  
3.4.4接触力诱导误差 $=\oJ-(!@S  
3.4.5高阶像差误差分析 2&^,IIp  
3.5小结 (Q}PeKM?jq  
参考文献 ]3gYuz|  
第4章结构光轮廓测量 )OARO  
4.1概述 / e~  
4.2基于结构光原理的测量方法 `77;MGg*  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 S#dyRTmI  
4.2.2相位测量轮廓术 !1ie:z>s  
4.2.3莫尔测量轮廓术 tEi@p;Z>  
4.2.4卷积解调法 !mw{T D  
4.2.5调制度测量轮廓术 1G e)p4  
4.3测量系统及其标定 =2ATqb"$w  
4.3.1结构光三维测量系统 NTpz)R  
4.3.2系统参数标定 r?Ev.m  
4.3.3快速标定方法 !nP8ysB  
4.4位相展开算法 #Z2>TN  
4.4.1位相展开的基本原理 ]pM5?^<~  
4.4.2空间位相展开方法 kw*Cr/'*  
4.4.3时间位相展开方法 #Pe\Z/  
4.4.4光栅图像采集与预处理 4aIlzaA  
4.5测量误差分析 ?X8K$g  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 M]8eW  
4.5.2非线性误差矫正方法 Q%gY.n{=  
4.6小结 hEdo,gF*  
参考文献 4YU1Kr4  
第5章亚表面损伤检测 F1Zk9%L%9$  
5.1概述 h=p-0 Mx .  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 U 8qKD  
5.2.1产生机理 MkluK=$  
5.2.2表征方法 ;-<<1Jz/2  
5.3亚表面损伤检测技术 Sgjr4axu  
5.3.1破坏性检测 D_,_.C~O  
5.3.2非破坏性检测  N#2nH1C  
5.4工艺试验 e+]YCp[(  
5.4.1亚表面损伤的测量 (rY1O:*S  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 ;GSfN  
5.4.3损伤抑制策略 +v`^_  
5.5小结 [nhLhl4S  
参考文献 E| 8s2t  
第6章其他测量技术 Bv |jo&0n  
6.1移相干涉测量技术 kBDe*K.V  
6.2动态干涉测量技术 |Ls&~'ik  
6.3剪切干涉 egIS rmL+X  
6.4点衍射干涉 5 \.TZMB  
6.5白光干涉测量技术 j*3sjOoC  
6.6外差干涉测量技术 lHj7O &+  
6.7补偿法检测非球面 Wb}0-U{S'  
6.8计算全息法检测非球面 OFPd6,(E  
参考文献 b`;b}ug  
文摘 h} b^o*  
6|(7G64{  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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