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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 A$xF$l 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 9pxc~= A6iq[b] [attachment=60103] w(TJ*::T qXjxNrK 定价:85.00 _OC<[A 优惠价格:63.75 9lDhIqx0~ ?#YE`]
5j-YM e,XYVWY% 目录 R#8L\1l 前言 M_w<m 第1章绪论 *%t^;&x? 1.1概述 3K/MvNI> 1.2光学元件质量评价 B i<Q=x'Z; 1.2.1表面质量评价 B[?CbU 1.2.2亚表面质量评价 y[_Q- 1.3干涉测量基础知识 '1)$' 1.3.1干涉原理 Y0K[Sm> 1.3.2典型干涉测量结构 'W,jMju 第2章子子L径拼接轮廓测量 FzXJ]H 2.1概述 A4<Uu~ 2.2圆形子孔径拼接 :7?FF'u 2.2.1拼接原理 'xg
Lt( 2.2.2拼接算法 ZH)="qx[ 2.3环形子孔径拼接 M*HnM( 2.3.1孔径划分 /mu*-,aeX 2.3.2拼接原理 6ez<g
Uf 2.3.3拼接算法 <)-Sj, 2.4广义子孔径拼接 5vZ^0yFQ 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 :s6o"VkW 2.4.2计算机模拟 U,- 39mr 2.5子孔径拼接优化算法 WoRZW% 2.5.1调整误差分量及其波像差 z4]api(xZ 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 Gvqxi| 2.5.3仿真研究 `&sH-d4v 2.6测量系统 BV upDGh3 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 )fSOi||C 2.6.2实验研究 _ T):G6C8 2.7超大口径拼接检测 <r`2)[7N 2.7.1方案设计 mh[75( 2.7.2拼接算法 ;^I*J:] 2.8小结 Ab"@714@ 参考文献 5m(^W[u ` 第3章接触式轮廓测量 /j|G(vt5 3.1概述 o,8TDg 3.2测量理论基础 A_5P/ARmI 3.2.1测量原理 !XCm>]R 3.2.2坐标系和坐标变换 zZ323pq 3.2.3检测路径 vucxt }Ti 3.2.4二次曲面系数研究 :'l^kSP_*C 3.2.5离轴镜测量模型 *8_wYYH 3.3测量系统 Uu(SR/R} 3.3.1测头系统 $LFYoovX 3.3.2系统设计 g($DdKc|g 3.4误差分析 \(Y\|zC'0$ 3.4.1误差源分类 Q;JM$a?5iV 3.4.2固有误差 Rt!FPoN,y 3.4.3随机调整误差 d]6#m'U 3.4.4接触力诱导误差 h*$y[}hDuv 3.4.5高阶像差误差分析 gPsi 3.5小结 Vq?p|wy 参考文献 ?fjuh}Q5h 第4章结构光轮廓测量 5}]"OXQ 4.1概述 jQ 4.2基于结构光原理的测量方法 ft KTnK. 4.2.1傅里叶变换轮廓术 ,\n&I( 4.2.2相位测量轮廓术 gSUcx9f] 4.2.3莫尔测量轮廓术 (ECnMti+ 4.2.4卷积解调法 ;n=.>s*XL' 4.2.5调制度测量轮廓术 {~sDYRX 4.3测量系统及其标定 % <*g!y ` 4.3.1结构光三维测量系统 @u]rWVy;\[ 4.3.2系统参数标定 P5nO78 4.3.3快速标定方法 cm[&? 4.4位相展开算法 ZR]25Yy 4.4.1位相展开的基本原理 DN~nk 4.4.2空间位相展开方法 a8iQ4
4.4.3时间位相展开方法 <_tT<5'[$u 4.4.4光栅图像采集与预处理 Yc
`)R 4.5测量误差分析 khrb-IY@ 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 cy3B({PLy 4.5.2非线性误差矫正方法 L3 --r 4.6小结 U4-g^S[ 参考文献 !&/{E
[ 第5章亚表面损伤检测 )oPLl|=h 5.1概述 ps%q9}J 5.2亚表面损伤产生机理与表征 3#&7-o 5.2.1产生机理 }\#Rot>Y 5.2.2表征方法 X{'q24\F 5.3亚表面损伤检测技术 (Cd\G=PK 5.3.1破坏性检测
4/1d&Sg 5.3.2非破坏性检测 VG5+CU 5.4工艺试验 a]/>ra5{ 5.4.1亚表面损伤的测量 qA$*YIlK 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 0F|AA"mMT 5.4.3损伤抑制策略 Rh{zH~oZ 5.5小结 @zz1hU 参考文献 6qaQ[XTxf 第6章其他测量技术 x`mN U 6.1移相干涉测量技术 M|qteo 6.2动态干涉测量技术 6&l+0dq 6.3剪切干涉 &twf,8 6.4点衍射干涉 xp72>*_9& 6.5白光干涉测量技术 ^!z[t\$ 6.6外差干涉测量技术 H77" 6.7补偿法检测非球面 jvFTR'R)= 6.8计算全息法检测非球面 NchXt6$i9 参考文献 Boz@bl mCB 文摘 A"D,Kg
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