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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 xkA K!uVy  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 !|>"o7  
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目录 40 0#v|b  
前言 sx<%2  
第1章绪论 4X|zmr:A  
1.1概述 t |oR7qa{w  
1.2光学元件质量评价 ;*&-C9b  
1.2.1表面质量评价 WjqO@]P6  
1.2.2亚表面质量评价 Q NVa?'0"Y  
1.3干涉测量基础知识 Sa5G.^ XI  
1.3.1干涉原理 " 2Dngw  
1.3.2典型干涉测量结构 ^Zp>G{QL{  
第2章子子L径拼接轮廓测量 N}YkMJy  
2.1概述 Xn\jO>[Ef  
2.2圆形子孔径拼接 G*v,GR  
2.2.1拼接原理 Ti&z1_u  
2.2.2拼接算法 & ZB  
2.3环形子孔径拼接 Om {'1  
2.3.1孔径划分 C"enpc_C/  
2.3.2拼接原理 01o4Th m  
2.3.3拼接算法 {FTqu.  
2.4广义子孔径拼接 ^zgo#J 5O  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 xn|(9#1o  
2.4.2计算机模拟 u> / TE  
2.5子孔径拼接优化算法 4ss4kp_>  
2.5.1调整误差分量及其波像差 {kAc(  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 xAP+FWyV  
2.5.3仿真研究 2dgd~   
2.6测量系统 gltBC${7wZ  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 y18Y:)DkL  
2.6.2实验研究 dnuu&Rv  
2.7超大口径拼接检测 NW)1#]gg%  
2.7.1方案设计 j 1HW._G  
2.7.2拼接算法 7vj2 `+r.  
2.8小结 9Lfv^V0  
参考文献 4I5Y,g{6+  
第3章接触式轮廓测量 FNId ;  
3.1概述 *k>n<p3dd  
3.2测量理论基础 G<;*SYAb  
3.2.1测量原理 9 JK Ew  
3.2.2坐标系和坐标变换 EAby?51+  
3.2.3检测路径 EDs\,f}  
3.2.4二次曲面系数研究 _n\GNUA  
3.2.5离轴镜测量模型 ?@ $r  
3.3测量系统 hwNf~3eJk  
3.3.1测头系统 Q.c\/&  
3.3.2系统设计 N$:8 ,9.z  
3.4误差分析 B^jc3 VsR  
3.4.1误差源分类 k+l b@!  
3.4.2固有误差 b*Q&CL  
3.4.3随机调整误差 mU9kVx1+  
3.4.4接触力诱导误差 %GIr&V4|  
3.4.5高阶像差误差分析 mUx+Y]Ep  
3.5小结 _2 osV[e  
参考文献 Xm2z}X(%  
第4章结构光轮廓测量 '(jG[ry&T  
4.1概述 c-FcEW  
4.2基于结构光原理的测量方法 {P#|zp4C{  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 ',5 ky{  
4.2.2相位测量轮廓术 1]/.` ]1  
4.2.3莫尔测量轮廓术 n>U5R_T  
4.2.4卷积解调法 U_c*6CK  
4.2.5调制度测量轮廓术 2SR:FUV/  
4.3测量系统及其标定 42ivT_H  
4.3.1结构光三维测量系统 6Sn.I1Wy  
4.3.2系统参数标定 3|Xyl`i4o  
4.3.3快速标定方法 DrK{}uM  
4.4位相展开算法 liz~7RY4  
4.4.1位相展开的基本原理 0NX,QD  
4.4.2空间位相展开方法 x# 5A(g  
4.4.3时间位相展开方法 gt w Q-  
4.4.4光栅图像采集与预处理 ,U dVNA  
4.5测量误差分析 WQO) =n  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 .y:U&Rw4  
4.5.2非线性误差矫正方法 x `)&J B  
4.6小结 T:W4$P  
参考文献 Jma1N;d  
第5章亚表面损伤检测 3>VL}Ui}  
5.1概述 WVvvI9  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 <dhM\^ [  
5.2.1产生机理 =+d?x 56  
5.2.2表征方法 Jo23P.#<  
5.3亚表面损伤检测技术 ."y1_dDql  
5.3.1破坏性检测 Qv/=&_6  
5.3.2非破坏性检测 3I-MdApT  
5.4工艺试验 Alw3\_X  
5.4.1亚表面损伤的测量 ]-QA'Lq  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 T0rG M  
5.4.3损伤抑制策略 QGmn#]w\\  
5.5小结 mF^v~  
参考文献 {%6`!WW[  
第6章其他测量技术 K:30_l<  
6.1移相干涉测量技术 wz ~d(a#  
6.2动态干涉测量技术 001FmiV  
6.3剪切干涉  l"]}Ts#  
6.4点衍射干涉 vn"{I&L+w0  
6.5白光干涉测量技术  zi`o#+  
6.6外差干涉测量技术 d)f :)Ew  
6.7补偿法检测非球面 -5QZJF2~  
6.8计算全息法检测非球面 {fn!'  
参考文献 7g}w+p>  
文摘 _[ZO p ~  
BbS4m  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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