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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 C4Z}WBS(  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 ycz6-kEp  
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目录 ?%-VSL>$w=  
前言 % P .(L  
第1章绪论 w\ 4;5.$  
1.1概述 Wn6~x2LaV  
1.2光学元件质量评价 +m8CN(c  
1.2.1表面质量评价 A/ZZ[B-  
1.2.2亚表面质量评价 a~ sU  
1.3干涉测量基础知识 $a.fQ<,\X  
1.3.1干涉原理 lQ(I/[qVd  
1.3.2典型干涉测量结构 T;!: A  
第2章子子L径拼接轮廓测量 }-jS0{i  
2.1概述 s&&8~ )H  
2.2圆形子孔径拼接 ldk (zAB.  
2.2.1拼接原理 %Z_/MNI  
2.2.2拼接算法 OCHjQc  
2.3环形子孔径拼接 H2[VZ&Pg  
2.3.1孔径划分 p)2 !_0  
2.3.2拼接原理 pn"TFapJA  
2.3.3拼接算法 IC"lsNq52  
2.4广义子孔径拼接 }.*"ezaZw  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 5^lFksZ  
2.4.2计算机模拟 kd55y  
2.5子孔径拼接优化算法 nY y%=B|>  
2.5.1调整误差分量及其波像差 [.:SV|AF#  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 -7-r~zmr  
2.5.3仿真研究 Ad7N '1O  
2.6测量系统 X% JQ_Z  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 d?[gd(O  
2.6.2实验研究 tV.qdy/]}  
2.7超大口径拼接检测 3mef;!q  
2.7.1方案设计 5>CmWMQ  
2.7.2拼接算法 [l# 8}dy  
2.8小结 b^s978qn#  
参考文献 |z.x M>  
第3章接触式轮廓测量 V Ioqn$  
3.1概述 w1 ;:B%!H  
3.2测量理论基础 -%f$$7  
3.2.1测量原理 S:5vC {  
3.2.2坐标系和坐标变换 [7Fx#o=da  
3.2.3检测路径 +9gI^Gt  
3.2.4二次曲面系数研究 XS#Jy n  
3.2.5离轴镜测量模型 KYw~(+gHv2  
3.3测量系统 ke\gzP/  
3.3.1测头系统 Sjb[v  
3.3.2系统设计 !V.2~V[^M  
3.4误差分析 j(xVbUa  
3.4.1误差源分类 )\aCeY8o  
3.4.2固有误差 qe/dWJBa  
3.4.3随机调整误差 E^s<5BC;  
3.4.4接触力诱导误差 &[yW}uV<7  
3.4.5高阶像差误差分析 xxy (#j$  
3.5小结 P55QE+B  
参考文献 *C~$<VYI  
第4章结构光轮廓测量 SH ow~wxw  
4.1概述 %m/W4Nk  
4.2基于结构光原理的测量方法 wn1` 9  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 U3 t$h  
4.2.2相位测量轮廓术 s2Rg-:7  
4.2.3莫尔测量轮廓术 4 * n4P  
4.2.4卷积解调法 7=hISQMsVP  
4.2.5调制度测量轮廓术 y@Gl'@-O  
4.3测量系统及其标定 r'F)8%  
4.3.1结构光三维测量系统 r+RFDg/  
4.3.2系统参数标定 ~7 w"$H8  
4.3.3快速标定方法 9B)<7JJX!J  
4.4位相展开算法 w|,BTM:e  
4.4.1位相展开的基本原理 B0+r  
4.4.2空间位相展开方法 l/i7<q  
4.4.3时间位相展开方法 5mqwNAv  
4.4.4光栅图像采集与预处理 <sncW>?!~  
4.5测量误差分析 0FAe5 BE7  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 [,a2A  
4.5.2非线性误差矫正方法 O3JBS^;V2  
4.6小结 H13kNhV9  
参考文献 hU|TP3*  
第5章亚表面损伤检测 af-  
5.1概述 (5/>arDn  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 dbsD\\,2%N  
5.2.1产生机理 5>x?2rp  
5.2.2表征方法 wZnv*t_  
5.3亚表面损伤检测技术 k.n-JS  
5.3.1破坏性检测 z)_h"y?H{%  
5.3.2非破坏性检测 }7HR<%< 7  
5.4工艺试验 0ZAT;eaB  
5.4.1亚表面损伤的测量 b#[EkI 0@  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 5H^"  
5.4.3损伤抑制策略 rtn.^HF  
5.5小结 WKvG|YRDq  
参考文献 !;, Dlq-}  
第6章其他测量技术 PdD,~N#  
6.1移相干涉测量技术 =}K"@5J  
6.2动态干涉测量技术 7x''V5*j  
6.3剪切干涉 MhL>6rn  
6.4点衍射干涉 7#[8td  
6.5白光干涉测量技术 /H'F4->  
6.6外差干涉测量技术 +:ih`q][b  
6.7补偿法检测非球面 aovw'O\Q  
6.8计算全息法检测非球面 %] #XIr  
参考文献 2tqj]i  
文摘 8`B]UcL)  
YIn H8Ex  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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