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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 %T,cR>lw 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 VpyqVbx1 /;;$9O9 [attachment=60103] Z" N}f
, PL*1-t?# 定价:85.00 P.W@5:sD 优惠价格:63.75 8Y
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%'&_Po\ J|@kF!6 目录 +z O.|`+ 前言 Q60'5Wt 第1章绪论 'tJ@+(tqw 1.1概述 ]EfM;'j[ 1.2光学元件质量评价 %mNd9 ]< 1.2.1表面质量评价 H]PEE!C;xC 1.2.2亚表面质量评价 k. ?@qCs[ 1.3干涉测量基础知识 NxrfRhaU3 1.3.1干涉原理 @XN*H- | 1.3.2典型干涉测量结构 [?S-on. 第2章子子L径拼接轮廓测量 "W@>lf?" 2.1概述 V!zU4!@qP 2.2圆形子孔径拼接 3)3$ L 2.2.1拼接原理 {O5(O oDa 2.2.2拼接算法 c3!YA"5 2.3环形子孔径拼接 qrkJ: 2.3.1孔径划分 @2/xu 2.3.2拼接原理 #sb@)Q 2.3.3拼接算法 d_)VeuE2 2.4广义子孔径拼接 >slGicZ0 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 m98w0D@Ee 2.4.2计算机模拟 !BEl6h 2.5子孔径拼接优化算法 C7_nA:Rc 2.5.1调整误差分量及其波像差 @!,W]?{ 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 T3In0LQ 2.5.3仿真研究 Y~P*
!g 2.6测量系统 XG8UdR| 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 XpT+xv1`; 2.6.2实验研究 *ulkqpO 2.7超大口径拼接检测 qU+qY2S: 2.7.1方案设计 a=AP*adx8 2.7.2拼接算法 JqP~2,T 2.8小结 e6
a]XO^ 参考文献 IZ&FNOSZ+4 第3章接触式轮廓测量 gmdA1$c 3.1概述 ,`U'q|b 3.2测量理论基础 r(p@{L185 3.2.1测量原理 yBnUz" 3.2.2坐标系和坐标变换 UsnIx54D3 3.2.3检测路径 N&]_U%#Q 3.2.4二次曲面系数研究 *5q_fO 3.2.5离轴镜测量模型 r%vO^8FQ 3.3测量系统 x?n13C 3.3.1测头系统 8w9?n3z=} 3.3.2系统设计 L
/V;; 3.4误差分析 #s0Wx47~ 3.4.1误差源分类 R y"N_Fb 3.4.2固有误差 xMD]b 3.4.3随机调整误差 F~zrg+VDjL 3.4.4接触力诱导误差 _7N^<'B 3.4.5高阶像差误差分析 W,|JocDq 3.5小结 ;\rKkH"K8n 参考文献 D |9ItxYu 第4章结构光轮廓测量 lj"72 4.1概述 cp L ' 4.2基于结构光原理的测量方法 ?~WDlj3 4.2.1傅里叶变换轮廓术 LseS8F/q 4.2.2相位测量轮廓术 v|GDPq 4.2.3莫尔测量轮廓术 'FwNQz zt 4.2.4卷积解调法 5sguv^;C5 4.2.5调制度测量轮廓术 ^8{:RiN6e~ 4.3测量系统及其标定 ;Ff5ooL{ 4.3.1结构光三维测量系统 qTrb)95 4.3.2系统参数标定 -"/l)1ox, 4.3.3快速标定方法 qExmf%q:q 4.4位相展开算法 "cx#6Bo| 4.4.1位相展开的基本原理 4<q'QU#l< 4.4.2空间位相展开方法 MznMt2-u 4.4.3时间位相展开方法 UCI !>G 4.4.4光栅图像采集与预处理 3#~w#Q0% 4.5测量误差分析 0)E`6s#M 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 t[HA86X 4.5.2非线性误差矫正方法 +=g9T`YbE 4.6小结 T56%3i 参考文献 Y!fgc<]'& 第5章亚表面损伤检测 o 76QQ+hP 5.1概述 } .'\IR 5.2亚表面损伤产生机理与表征 z-`-0@/A$ 5.2.1产生机理 K&UTs$_cI 5.2.2表征方法 Uq:CM6q\ 5.3亚表面损伤检测技术 @Xl/<S& 5.3.1破坏性检测 B'~CFj0W%= 5.3.2非破坏性检测 BM_Rlcx~ 5.4工艺试验 o 12wp 5.4.1亚表面损伤的测量 RinaGeim 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 ,,CheRO 5.4.3损伤抑制策略 2t1u{ 5.5小结 #*x8)6Ct 参考文献 3p#BEH<re 第6章其他测量技术 <v[UYvZvY 6.1移相干涉测量技术 YLFM3IaP 6.2动态干涉测量技术 'X/(M<c 6.3剪切干涉 >Z!H9]f( 6.4点衍射干涉 Nk@a g) 6.5白光干涉测量技术 {p)=#Jd`.P 6.6外差干涉测量技术 8bW,.to(?x 6.7补偿法检测非球面 y5$AAas 6.8计算全息法检测非球面 sq1v._^s 参考文献 t7qzAr 文摘 w5R?9"d@ t+%tN^87:
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