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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 E3IB> f  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 BEn,py7  
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目录 |8xu*dVAp4  
前言 ][Ne;F6  
第1章绪论 OMaG*fb=  
1.1概述 AF-4b*oB  
1.2光学元件质量评价 {*EA5;  
1.2.1表面质量评价 ZbS* zKEW  
1.2.2亚表面质量评价 ko-:) z  
1.3干涉测量基础知识 E_t ^osY&  
1.3.1干涉原理 :Taequk  
1.3.2典型干涉测量结构 |7 .WP;1  
第2章子子L径拼接轮廓测量 ~0S_S+e  
2.1概述 KW&5&~)2  
2.2圆形子孔径拼接 XJ\ j0  
2.2.1拼接原理 gQXB=ywF  
2.2.2拼接算法 51:NL[[6  
2.3环形子孔径拼接 \\\%pBT7]\  
2.3.1孔径划分 ~_XJ v  
2.3.2拼接原理 Knd2s~S  
2.3.3拼接算法 K,pQ11J  
2.4广义子孔径拼接  Fu@2gd  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 R?,Oh*  
2.4.2计算机模拟 DB1F _!9  
2.5子孔径拼接优化算法 Hzd tR  
2.5.1调整误差分量及其波像差 "RZV v~BD  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 'IR2H{Q  
2.5.3仿真研究 N~<H`  
2.6测量系统 x>Hg.%/c[  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 V/ a!&_ ""  
2.6.2实验研究 LV$@J  
2.7超大口径拼接检测 6xLLIby,  
2.7.1方案设计 !nPwRK>  
2.7.2拼接算法 Oy> V/  
2.8小结 XeGtge/}T  
参考文献 gO{XD.s  
第3章接触式轮廓测量 5e> <i  
3.1概述 }3{ x G+,  
3.2测量理论基础 v/\in'H~  
3.2.1测量原理 ^U[c:Rz  
3.2.2坐标系和坐标变换 eiiI Wr_7  
3.2.3检测路径 !KYX\HRW  
3.2.4二次曲面系数研究 Fo$kD(  
3.2.5离轴镜测量模型 VeLuL:4I  
3.3测量系统 xy/B<.M1  
3.3.1测头系统 wOhiC$E46  
3.3.2系统设计 :E$<!q  
3.4误差分析 "JHd F&  
3.4.1误差源分类 w_O3];  
3.4.2固有误差 'a}<|Et.  
3.4.3随机调整误差 r`t|}m  
3.4.4接触力诱导误差 vMDX  
3.4.5高阶像差误差分析 _trF/U<  
3.5小结 ,5tW|=0@  
参考文献  L=Pz0  
第4章结构光轮廓测量 y@\R$`0J  
4.1概述 p2(U'x c  
4.2基于结构光原理的测量方法 .BaU}-5  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 ,};UD  W  
4.2.2相位测量轮廓术 #osP"~{  
4.2.3莫尔测量轮廓术 yA74Rxl*6  
4.2.4卷积解调法 &mG1V  
4.2.5调制度测量轮廓术 1WArgR  
4.3测量系统及其标定 ?9F_E+!  
4.3.1结构光三维测量系统 `^mPq?f  
4.3.2系统参数标定 =\t%U5  
4.3.3快速标定方法 |H.i$8_A  
4.4位相展开算法 zvzS$Gpe  
4.4.1位相展开的基本原理 -AJ$-y  
4.4.2空间位相展开方法 @|N'V"*MT  
4.4.3时间位相展开方法 R:Pw@  
4.4.4光栅图像采集与预处理 LF2@qvwD  
4.5测量误差分析  k|Xxr  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 r)9&'m.:  
4.5.2非线性误差矫正方法 +{qX,  
4.6小结 ,3m]jp'  
参考文献 %syFHUBw  
第5章亚表面损伤检测 PT`];C(he  
5.1概述 >u6*P{;\  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 p "J^  
5.2.1产生机理 Sqc r -  
5.2.2表征方法 x]1G u  
5.3亚表面损伤检测技术 ,-4SVj8$P  
5.3.1破坏性检测 o@p(8=x  
5.3.2非破坏性检测 lphELPh  
5.4工艺试验 pl-2O $  
5.4.1亚表面损伤的测量 mnZS](>  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 \[nvdvJv  
5.4.3损伤抑制策略 y<53xZi  
5.5小结 HQpw2bdy  
参考文献  AU3Ou5  
第6章其他测量技术 #/UlW  
6.1移相干涉测量技术 R(i2TAaaU  
6.2动态干涉测量技术 Ql%0%naq1  
6.3剪切干涉 xh7[{n[;  
6.4点衍射干涉 u-31$z<<5}  
6.5白光干涉测量技术 |GDf<\  
6.6外差干涉测量技术 -T s8y  
6.7补偿法检测非球面 (c'=jJX  
6.8计算全息法检测非球面 `u./2]n  
参考文献 rO_|_nV[  
文摘 I jK  
1X5*V!u  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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