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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 6FJ*eWPC  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 O9-`e  
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目录 ^fe,A=k~1  
前言 16]Ay&Kn!  
第1章绪论 ~4Gc~"  
1.1概述 TmftEw>u  
1.2光学元件质量评价 PYWFz   
1.2.1表面质量评价 Y>/_A%vQU  
1.2.2亚表面质量评价 v0!|TI3s  
1.3干涉测量基础知识 %.u*nM7sos  
1.3.1干涉原理 ` L 1+j  
1.3.2典型干涉测量结构 E:M,nSc)53  
第2章子子L径拼接轮廓测量 6it [i@*"  
2.1概述 [<{r~YFjWW  
2.2圆形子孔径拼接 @[?ZwzY:9  
2.2.1拼接原理 vf@j d}?  
2.2.2拼接算法 M*qE)dZjS  
2.3环形子孔径拼接 kaQNcMcq  
2.3.1孔径划分 64#Ri!RR}  
2.3.2拼接原理 n{<}<SVY  
2.3.3拼接算法 WEX7=^k9  
2.4广义子孔径拼接 <9 ^7r J  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 4)OOj14-V  
2.4.2计算机模拟 kppi>!6  
2.5子孔径拼接优化算法 ~XP|dn}  
2.5.1调整误差分量及其波像差  !QvmzuK  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 .tGz,z}  
2.5.3仿真研究 S>h\D4.  
2.6测量系统 %AtT(G(n  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 ?D2a"a$^  
2.6.2实验研究 ,j`48S@  
2.7超大口径拼接检测 Yq51+\d  
2.7.1方案设计 +D4m@O  
2.7.2拼接算法 P (7Q8i'  
2.8小结 a%U#PF6   
参考文献 zSD_t  
第3章接触式轮廓测量 !~%DR~^`  
3.1概述 ?B;7J7T  
3.2测量理论基础 ,g}$u'A+d  
3.2.1测量原理 o+x! (  
3.2.2坐标系和坐标变换 M^8zqAA  
3.2.3检测路径 l3ogMRq@  
3.2.4二次曲面系数研究 41d+z>a]  
3.2.5离轴镜测量模型 G1e_pszD{o  
3.3测量系统 8@LWg d  
3.3.1测头系统 9O-~Ws ;  
3.3.2系统设计 J^7M0A4K  
3.4误差分析 =^rp= Az  
3.4.1误差源分类 #k)z5vZ$h  
3.4.2固有误差 ,G46i)E\  
3.4.3随机调整误差 5yK#;!:h  
3.4.4接触力诱导误差 l4+ `x[^  
3.4.5高阶像差误差分析 '"\n,3h  
3.5小结 Yb<:1?76L  
参考文献 <F&XT@  
第4章结构光轮廓测量 `Rfe*oAf  
4.1概述 7- LjBlH  
4.2基于结构光原理的测量方法 s+fxv(,"c  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 Or?c21un  
4.2.2相位测量轮廓术 _+aR| AEC  
4.2.3莫尔测量轮廓术 Kf[.@_TD<1  
4.2.4卷积解调法 v'?o#_La+  
4.2.5调制度测量轮廓术 @w.DN)GPo  
4.3测量系统及其标定 7bO>[RQB  
4.3.1结构光三维测量系统 v@GhwL  
4.3.2系统参数标定 z&9MkbH1  
4.3.3快速标定方法 MK/8<i<.  
4.4位相展开算法 $'5rS$]a/  
4.4.1位相展开的基本原理 Rzs u 7w  
4.4.2空间位相展开方法 4XVwi<)  
4.4.3时间位相展开方法 8'zl\:@N  
4.4.4光栅图像采集与预处理 /ivVqOo  
4.5测量误差分析 fUY05OMZ  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 .-T P 1C  
4.5.2非线性误差矫正方法 Zazs".  
4.6小结 Z:AB (c  
参考文献 286reeN/e  
第5章亚表面损伤检测 `W+-0F@Y?@  
5.1概述 ~/JS_>e#6P  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 Wp:vz']V  
5.2.1产生机理 x`C"Z7t  
5.2.2表征方法 s#a`e]#?  
5.3亚表面损伤检测技术 #&r}J  
5.3.1破坏性检测 yl@Nyu  
5.3.2非破坏性检测 u8>aO>(bVg  
5.4工艺试验 M6Xzyt|  
5.4.1亚表面损伤的测量 zY*~2|q,s  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 zGz}.-F  
5.4.3损伤抑制策略 LVdR,'lS  
5.5小结 2p;I<C:Eo  
参考文献 A_E2v{*n  
第6章其他测量技术 m='}t \=  
6.1移相干涉测量技术 L;M@]  
6.2动态干涉测量技术 Z}vDP^rf  
6.3剪切干涉 cU ?F D  
6.4点衍射干涉 | Z7 j s"  
6.5白光干涉测量技术 j[\:#/J  
6.6外差干涉测量技术 U<sGj~"#  
6.7补偿法检测非球面 JCBX?rM/  
6.8计算全息法检测非球面 v%2Dz  
参考文献 #*y.C[^5{  
文摘 uZ3do|um  
@VIY=qh  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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