| cyqdesign |
2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 zBK"k]rz 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 U)M&AYb <5"&]!
. [attachment=60103] BNF*1JO /i dI- 定价:85.00 %gQUog 优惠价格:63.75 -\USDi( ?lfyC/
$)nPj_h <CB%e!~.9 目录 Ir-QD!!< 前言 =1k%T {> 第1章绪论 q7rb3d 1.1概述 5}Id[%.x 1.2光学元件质量评价 g\?v 5 1.2.1表面质量评价 }30Sb&" 1.2.2亚表面质量评价 T*gG <8 1.3干涉测量基础知识 x[$KZGK+GL 1.3.1干涉原理 m+(g.mvK> 1.3.2典型干涉测量结构 :?j=MV 第2章子子L径拼接轮廓测量 _VRxI4q 2.1概述 NMfHrYHbh 2.2圆形子孔径拼接 J<0d"' 2.2.1拼接原理 A'rd1"K 2.2.2拼接算法 kI9I{ &J& 2.3环形子孔径拼接 zc=G4F01 2.3.1孔径划分 !H@HgJ
- 2.3.2拼接原理 V9SL96'[I 2.3.3拼接算法 )/vom6y* 2.4广义子孔径拼接 W!R0:- 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 7y3WV95Z\ 2.4.2计算机模拟 \+nV~Pi"A 2.5子孔径拼接优化算法 $./aKJ1B 2.5.1调整误差分量及其波像差 l$pz:m]Id 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 Zj-U^6^L 2.5.3仿真研究 :*&c' 2.6测量系统 l*OR{!3H$ 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 *l4[`7| 2.6.2实验研究 =Gu&0f 2.7超大口径拼接检测 [*5]NNB 2.7.1方案设计 +p63J 2.7.2拼接算法 zCQP9oK! 2.8小结 NN2mOJ:- 参考文献 4_iA<}>| 第3章接触式轮廓测量 =R'O5J 3.1概述 K:jn^JN$ 3.2测量理论基础 ^\Z+Xq1~/ 3.2.1测量原理 AEaN7[PQx| 3.2.2坐标系和坐标变换 SepwMB4@ 3.2.3检测路径 n[gE[kw 3.2.4二次曲面系数研究 EpNN!s=Q 3.2.5离轴镜测量模型 14 ,t 3.3测量系统 "^6Fh"] 3.3.1测头系统 w&p(/y 3.3.2系统设计 ~v;+-*t 3.4误差分析 -e}(\ 3.4.1误差源分类 $A9Pi"/*z 3.4.2固有误差 Q&vdBO/ 3.4.3随机调整误差 J<+f7L 3.4.4接触力诱导误差 ^~-YS-.J#, 3.4.5高阶像差误差分析 {&>rKCi 3.5小结 l*z%Jw 参考文献 [.fh2XrVM 第4章结构光轮廓测量 p*,T~(A6 4.1概述 zs Q|LwQ 4.2基于结构光原理的测量方法 #@OPi6.#!< 4.2.1傅里叶变换轮廓术 -JF^`hBD- 4.2.2相位测量轮廓术 {R-o8N 4.2.3莫尔测量轮廓术 QEf@wv;T 4.2.4卷积解调法 / @"{u0 4.2.5调制度测量轮廓术 po*8WSl9c[ 4.3测量系统及其标定 r!dWI 4.3.1结构光三维测量系统 z,ERq,g+L 4.3.2系统参数标定 <fG\J 4.3.3快速标定方法 X.;VZwT+ 4.4位相展开算法 m!Z<\2OP 4.4.1位相展开的基本原理 (1[59<cg] 4.4.2空间位相展开方法 z8ZQL.z%h 4.4.3时间位相展开方法 j;y~vX b 4.4.4光栅图像采集与预处理 U< G 2tn( 4.5测量误差分析 .gDq+~r8O 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 v.Q#<@B^: 4.5.2非线性误差矫正方法 RYEZ'< 4.6小结 9/{ zS3h3 参考文献 )h]#:,pm 第5章亚表面损伤检测 [z2UfHpt~ 5.1概述 )
yMrET
m 5.2亚表面损伤产生机理与表征 4\&Y;upy+ 5.2.1产生机理 nS%jnp# 5.2.2表征方法 `"&Nw,C 5.3亚表面损伤检测技术 H,L{N'[Xph 5.3.1破坏性检测 `e
=IXkt 5.3.2非破坏性检测 `L`+`B 5.4工艺试验 )xyjQ|b 5.4.1亚表面损伤的测量 (^
EuF] 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 {IV%_y? 5.4.3损伤抑制策略 D;V[9E=g/ 5.5小结 D1xGUz2r 参考文献 Z)W8Of_ 第6章其他测量技术 X%5eZ"1{x 6.1移相干涉测量技术 G$i)ELs 6.2动态干涉测量技术 E^F<"mL* 6.3剪切干涉 ALTOi? 6.4点衍射干涉 p
4>ThpX 6.5白光干涉测量技术 0W*{ 1W 6.6外差干涉测量技术 f<@!{y2Xe 6.7补偿法检测非球面 Y\-xX:n.\ 6.8计算全息法检测非球面 OY`B{jV- 参考文献 %DKFF4k 文摘 1}DA| !~ 11yXI[
|
|