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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 R7_VXvm>z  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 k1}hIAk3u  
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目录 lU.Kc  
前言 %1}6q`:w  
第1章绪论 2qU&l|>  
1.1概述 zx%X~U   
1.2光学元件质量评价 M$S]}   
1.2.1表面质量评价 D"l+iVbBP  
1.2.2亚表面质量评价 7@;">`zvm  
1.3干涉测量基础知识 <~"lie1  
1.3.1干涉原理 Zi ESlf$  
1.3.2典型干涉测量结构 =/9^, 6Q(  
第2章子子L径拼接轮廓测量 9 [Y-M  
2.1概述 P LR0#).n  
2.2圆形子孔径拼接 {1Eu7l-4  
2.2.1拼接原理 p]&j;H.  
2.2.2拼接算法 jna;0)  
2.3环形子孔径拼接 !m y8AWO'  
2.3.1孔径划分 *@S@x{{s  
2.3.2拼接原理 E4oz|2!m  
2.3.3拼接算法 4na8  
2.4广义子孔径拼接 L^0v\  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 8l+H"M&|  
2.4.2计算机模拟 p,!$/Q+l  
2.5子孔径拼接优化算法 1~yZ T  
2.5.1调整误差分量及其波像差 B6M+mx"G  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 q{' ~+Nq  
2.5.3仿真研究 "v]%3i.* -  
2.6测量系统 yfj(Q s  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 dt,3"J  
2.6.2实验研究 6NLW(?]  
2.7超大口径拼接检测 H Sz" tN  
2.7.1方案设计 2U$"=:Cf  
2.7.2拼接算法 LR&_2e^[  
2.8小结 Z S|WnMH  
参考文献 ZFn(x*L  
第3章接触式轮廓测量 /b[2lTC-e  
3.1概述 \vbk#G hH  
3.2测量理论基础 "&o,yd%  
3.2.1测量原理 E3l*8F%<3  
3.2.2坐标系和坐标变换 E`;;&V q-  
3.2.3检测路径 [~mGsXV  
3.2.4二次曲面系数研究 *I*i>==Z  
3.2.5离轴镜测量模型 MQTdk*L_]  
3.3测量系统 q9*MNHg }  
3.3.1测头系统 NC"yDWnO'  
3.3.2系统设计 "VUYh$=[  
3.4误差分析 LBlN2)\@  
3.4.1误差源分类 :1wrVU-?h  
3.4.2固有误差  HEF?mD3h  
3.4.3随机调整误差 j;nb?;  
3.4.4接触力诱导误差 Ib`-pRU;  
3.4.5高阶像差误差分析 Tx>K:`oB  
3.5小结 ^Z,q$Gp~P  
参考文献 #5ax^p2*~  
第4章结构光轮廓测量 }SfbCa)UO  
4.1概述 VG@};dwbz*  
4.2基于结构光原理的测量方法 ERMa# L  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 4 gBp8*2  
4.2.2相位测量轮廓术 P,xwSvO#M  
4.2.3莫尔测量轮廓术 CXaWgxlK:a  
4.2.4卷积解调法 JMa3btLy(  
4.2.5调制度测量轮廓术 E1V^}dn  
4.3测量系统及其标定 Mt>oI SN&d  
4.3.1结构光三维测量系统 UE0$ o?  
4.3.2系统参数标定 uGH?N  
4.3.3快速标定方法 QfpuZEUK  
4.4位相展开算法 @cvP0A  
4.4.1位相展开的基本原理 t%VDRZo7  
4.4.2空间位相展开方法 1T|$BK@)  
4.4.3时间位相展开方法 S;\R!%t_  
4.4.4光栅图像采集与预处理 {3\R|tZh,`  
4.5测量误差分析 hlbvt-C?}"  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 )0 Z!n  
4.5.2非线性误差矫正方法 +OaUP*\Dd  
4.6小结 '?5j[:QY@  
参考文献 ODw`E9  
第5章亚表面损伤检测 DocbxB={I  
5.1概述 p3951-D  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 eny/ fm  
5.2.1产生机理 qa'gM@]  
5.2.2表征方法 n{5NNV6  
5.3亚表面损伤检测技术 W[''Cc.  
5.3.1破坏性检测 IVvtX}  
5.3.2非破坏性检测 epD?K  
5.4工艺试验 wTq{sW&  
5.4.1亚表面损伤的测量 8F5|EpB9M  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 Rd&9E  
5.4.3损伤抑制策略 pHE}ytcT  
5.5小结 n%%7KTqu  
参考文献  ht97s  
第6章其他测量技术 \.{AAj^qD  
6.1移相干涉测量技术 IzLF'F  
6.2动态干涉测量技术 - xm{&0e)  
6.3剪切干涉 q3e8#R)l  
6.4点衍射干涉 XVVD 0^ Q  
6.5白光干涉测量技术 P87# CAN  
6.6外差干涉测量技术 wD \ZOn_J  
6.7补偿法检测非球面 j f~wBm d7  
6.8计算全息法检测非球面 sp9W?IJ 6c  
参考文献 PH3 >9/H  
文摘 e)^j+ l  
7N8H)X  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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