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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 5fM/y3QPsZ 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 M'Q{2%:>a -N~*h [attachment=60103] R CnN+b:c 6D@tCmmq 定价:85.00 j=M_> 优惠价格:63.75 3]M
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:>;-uve8' K-(,,wS 目录 >J|I 前言 rN8 ZQiJC 第1章绪论 !G Z2|~f9 1.1概述 kfM}j 1.2光学元件质量评价 :/K 'P`JaL 1.2.1表面质量评价 fw'$HV76 1.2.2亚表面质量评价 &}wKC:LSP 1.3干涉测量基础知识 `%"zq"1`0 1.3.1干涉原理 /%=p-By<V 1.3.2典型干涉测量结构 %t`a-m 第2章子子L径拼接轮廓测量 ;9/6X#;$ 2.1概述 >pT92VN 2.2圆形子孔径拼接 Xo;J1H 2.2.1拼接原理 O"nY4 2.2.2拼接算法 J9mLW}I?NW 2.3环形子孔径拼接 WOzdYeeG 2.3.1孔径划分 WQ|d;[E 2.3.2拼接原理 I^ppEgYSY 2.3.3拼接算法 yIh>j.P 2.4广义子孔径拼接 )j]S;Mr 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 u'<Y#bsR#/ 2.4.2计算机模拟 #$e~o}(r 2.5子孔径拼接优化算法 Z#3wMK~ 2.5.1调整误差分量及其波像差 #sq -V,8 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 k;#$Oxa>t= 2.5.3仿真研究 RHz'Dz>0 2.6测量系统 rbqH9 S 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 (3&@c!E 2.6.2实验研究 '[{M"S 2.7超大口径拼接检测 6oL-Atf 2.7.1方案设计 o>\j c 2.7.2拼接算法 vWXj6} 2.8小结 ^Qs-@]E- 参考文献 6 7~m9pk 第3章接触式轮廓测量 oy;N3 3.1概述 4Q,HhqV' 3.2测量理论基础 v'2EYTVNJD 3.2.1测量原理 bv)E>%Yy 3.2.2坐标系和坐标变换 Z"mpE+U* 3.2.3检测路径 7E%ehM6Y 3.2.4二次曲面系数研究 \# lh b 3.2.5离轴镜测量模型 mdoy1a 3.3测量系统 6Bo~7gnc 3.3.1测头系统 jgs kK 3.3.2系统设计 GmcxN< 3.4误差分析 9c}LG5 3.4.1误差源分类 ?A8Uf= 3.4.2固有误差 pz:$n_XC} 3.4.3随机调整误差 J3}^\k=p" 3.4.4接触力诱导误差 49@
pA- 3.4.5高阶像差误差分析 L` V6\Ix(I 3.5小结 sYYg5vL9 参考文献 G$xuHHZ' 第4章结构光轮廓测量 ? Ls]k 4.1概述 X.o[=E 4.2基于结构光原理的测量方法 |U8;25Y 4.2.1傅里叶变换轮廓术 X6N^<Z$ 4.2.2相位测量轮廓术 /thCu%%9A 4.2.3莫尔测量轮廓术 `i9WnPRt 4.2.4卷积解调法 ^8
AV #a 4.2.5调制度测量轮廓术 <(>v|5K0] 4.3测量系统及其标定 st:[|` 4.3.1结构光三维测量系统 ePrbG4xv 4.3.2系统参数标定 ahhVl=9/ao 4.3.3快速标定方法 Y~,[9:SR 4.4位相展开算法 a^)7&|$ E 4.4.1位相展开的基本原理 Yc"G="XP; 4.4.2空间位相展开方法
;TEZD70r 4.4.3时间位相展开方法 "Y7RvL!U 4.4.4光栅图像采集与预处理 +G7A.d`V} 4.5测量误差分析 Yn'XSV|g 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 jSa EwN 4.5.2非线性误差矫正方法 }u5 Mexs 4.6小结 H_o<!YxK 参考文献 ' f}^/`J 第5章亚表面损伤检测 )d>"K`3 5.1概述 l9qq;hhGP, 5.2亚表面损伤产生机理与表征 )m\%L`+ 5.2.1产生机理 $_S^Aw? 5.2.2表征方法 TAi
|]U! 5.3亚表面损伤检测技术 -+'{C= 5.3.1破坏性检测 f]J?-ks 5.3.2非破坏性检测 UDt.w82 5.4工艺试验 xPq3Sfg`A 5.4.1亚表面损伤的测量 Nr|.]=K)5n 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 shYcfLJ 5.4.3损伤抑制策略 G"O%u|7 5.5小结 &.K8cphj 参考文献 {SqY77 第6章其他测量技术 Jn'q'+ 6.1移相干涉测量技术 :*/<eT_ 6.2动态干涉测量技术 YZr^;jfP 6.3剪切干涉 e@L+z 6.4点衍射干涉 |uj1T=ZY 6.5白光干涉测量技术 q.K >v' 6.6外差干涉测量技术 n"@3d.21 6.7补偿法检测非球面 E@0wt^ 6.8计算全息法检测非球面 +ulX(u(, 参考文献 / (W{` 文摘 OAOG&6xu8 0aQNdi)b
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