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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 A$xF$l  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 9pxc~=  
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目录 R#8L\1l  
前言 M_w<m  
第1章绪论 *%t^;&x?  
1.1概述 3K/MvNI>  
1.2光学元件质量评价 B i<Q=x'Z;  
1.2.1表面质量评价 B[?CbU  
1.2.2亚表面质量评价 y[_Q-   
1.3干涉测量基础知识 '1)$'   
1.3.1干涉原理 Y0K[Sm>  
1.3.2典型干涉测量结构 'W,jMju  
第2章子子L径拼接轮廓测量 FzXJ]H  
2.1概述  A4<Uu~  
2.2圆形子孔径拼接 :7?FF'u  
2.2.1拼接原理 'xg Lt(  
2.2.2拼接算法 ZH)="qx [  
2.3环形子孔径拼接 M*H nM(  
2.3.1孔径划分 /mu*-,a eX  
2.3.2拼接原理 6ez<g Uf  
2.3.3拼接算法 <)-Sj,  
2.4广义子孔径拼接 5vZ^0yFQ  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 :s6o"VkW  
2.4.2计算机模拟 U,-39mr  
2.5子孔径拼接优化算法 WoRZW%  
2.5.1调整误差分量及其波像差 z4]api(xZ  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 Gvqxi|  
2.5.3仿真研究 `&sH-d4v  
2.6测量系统 BV upDGh3  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 )fSOi| |C  
2.6.2实验研究 _ T):G6C8  
2.7超大口径拼接检测 <r`2)[7N  
2.7.1方案设计 mh[75(  
2.7.2拼接算法 ;^I*J:]  
2.8小结 Ab"@714@  
参考文献 5m(^W[u `  
第3章接触式轮廓测量 /j|G(vt5  
3.1概述 o,8TDg  
3.2测量理论基础 A_5P/ARmI  
3.2.1测量原理 !XCm>]R  
3.2.2坐标系和坐标变换 zZ323pq  
3.2.3检测路径 vucxt }Ti  
3.2.4二次曲面系数研究 :'l^kSP_*C  
3.2.5离轴镜测量模型 * 8_wYYH  
3.3测量系统 Uu(SR/R}  
3.3.1测头系统 $LFYoovX  
3.3.2系统设计 g($DdKc|g  
3.4误差分析 \(Y\|zC'0$  
3.4.1误差源分类 Q;JM$a?5iV  
3.4.2固有误差 Rt!FPoN,y  
3.4.3随机调整误差 d]6#m'U  
3.4.4接触力诱导误差 h*$y[}hDuv  
3.4.5高阶像差误差分析 gPsi  
3.5小结 Vq?p|wy  
参考文献 ?fjuh}Q5h  
第4章结构光轮廓测量 5}]"OXQ  
4.1概述  jQ  
4.2基于结构光原理的测量方法 ft KTnK.  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 ,\n&I(  
4.2.2相位测量轮廓术 gSUcx9f]  
4.2.3莫尔测量轮廓术 (ECnM ti+  
4.2.4卷积解调法 ;n=.>s*XL'  
4.2.5调制度测量轮廓术 {~s DYRX  
4.3测量系统及其标定 %<*g!y `  
4.3.1结构光三维测量系统 @u]rWVy;\[  
4.3.2系统参数标定 P5nO78  
4.3.3快速标定方法 cm[&?  
4.4位相展开算法 ZR]25Yy  
4.4.1位相展开的基本原理 DN~nk  
4.4.2空间位相展开方法 a8iQ4   
4.4.3时间位相展开方法 <_tT<5'[$u  
4.4.4光栅图像采集与预处理 Yc `)R  
4.5测量误差分析 khrb-IY@  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 cy3B({PLy  
4.5.2非线性误差矫正方法 L3--r  
4.6小结 U4-g^S[  
参考文献 !&/{E [  
第5章亚表面损伤检测 )oPLl|=h  
5.1概述 ps%q9}J  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 3#&7-o  
5.2.1产生机理 }\#Rot>Y  
5.2.2表征方法 X{'q24\F  
5.3亚表面损伤检测技术 (Cd\G=PK  
5.3.1破坏性检测  4/1d&Sg  
5.3.2非破坏性检测 VG5+CU  
5.4工艺试验 a]/>ra5{  
5.4.1亚表面损伤的测量 qA$*YIlK  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 0F|AA"mMT  
5.4.3损伤抑制策略 Rh{zH~oZ  
5.5小结  @zz1hU  
参考文献 6qaQ[XTxf  
第6章其他测量技术 x`mN U  
6.1移相干涉测量技术 M|qteo  
6.2动态干涉测量技术 6&l+0dq  
6.3剪切干涉 &twf,8  
6.4点衍射干涉 xp72>*_9&  
6.5白光干涉测量技术 ^!z [t\$  
6.6外差干涉测量技术  H77"  
6.7补偿法检测非球面 jvFTR'R)=  
6.8计算全息法检测非球面 NchXt6$i9  
参考文献 Boz@bl mCB  
文摘 A"D,Kg S  
.!,z:l$Kh  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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