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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 @5:#J! 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 oH>G3n|U^ .;,` bH0 [attachment=60103] uJ9
hU`h ;cD&qheDV 定价:85.00 1h,m 优惠价格:63.75 (D~NW*,9 E~K5n2CI
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32DG* -?Kd[Ma 目录 W%_Cda5, 前言 Q35jJQ$<` 第1章绪论 G+V?c1Me 1.1概述 ]7:*A7/!. 1.2光学元件质量评价 cOrFe;8-. 1.2.1表面质量评价 DNmP> ~ 1.2.2亚表面质量评价 !'f.g|a 1.3干涉测量基础知识 }]!?t~5* 1.3.1干涉原理 RQQ\y`h` 1.3.2典型干涉测量结构 rOA{8)jIa* 第2章子子L径拼接轮廓测量 ,WgEl4 2.1概述 -kkpEw\ 2.2圆形子孔径拼接 </-aG[Fi 2.2.1拼接原理 B82SAV/O 2.2.2拼接算法 H*R4A E0 2.3环形子孔径拼接 Q)L6+gW^ 2.3.1孔径划分 GS&iSjw 2.3.2拼接原理 a=&{B'^G 2.3.3拼接算法 7j~}M(s" 2.4广义子孔径拼接 LnlDCbF;! 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 e{E8_2d 2.4.2计算机模拟 JS#AoPWA 2.5子孔径拼接优化算法 K bM1b 2.5.1调整误差分量及其波像差 CEEAyip-c 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 {}DoRpq= 2.5.3仿真研究 rPXy(d1<`S 2.6测量系统 3\E G 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 pZV=Co3!I 2.6.2实验研究 r";;Fk#5 2.7超大口径拼接检测 AoFxh o 2.7.1方案设计 D5$|vv1 2.7.2拼接算法 ]aI 2.8小结 w7`09oJm 参考文献 -4LckY=]1 第3章接触式轮廓测量 V8}jFib 3.1概述 (pT7m 3.2测量理论基础 2e|m3 3.2.1测量原理 AEE&{_[S 3.2.2坐标系和坐标变换 +XoY@|Djd 3.2.3检测路径 kmu r={IR 3.2.4二次曲面系数研究 k r ga!,I 3.2.5离轴镜测量模型 6O|
rI>D 3.3测量系统 .Hm1ispq 3.3.1测头系统 [/GCy0jk 3.3.2系统设计 Y@2v/O,\ 3.4误差分析 }[b3$WZ 3.4.1误差源分类 TaNcnAY>9 3.4.2固有误差 1^AG/w 3.4.3随机调整误差 g\A kf 3.4.4接触力诱导误差 7;3;8Q FX 3.4.5高阶像差误差分析 ,}a'h4C 3.5小结 Ck>{7Gw 参考文献 1dl(`=^X 第4章结构光轮廓测量 Sgq" 3(+%, 4.1概述 {N'<_%cu 4.2基于结构光原理的测量方法 2f0qfF 4.2.1傅里叶变换轮廓术 r O-=):2 4.2.2相位测量轮廓术 [iUy_ C=qp 4.2.3莫尔测量轮廓术 RI&V:1 4.2.4卷积解调法 Z Is=%6""& 4.2.5调制度测量轮廓术
?cKe~Q?3 4.3测量系统及其标定 "/0Vvy _| 4.3.1结构光三维测量系统 P&5kO;ia 4.3.2系统参数标定 xM2UwTpW 4.3.3快速标定方法 k<QZ_*x}G 4.4位相展开算法 5KC
Zg'h 4.4.1位相展开的基本原理 @~C
C$Y$ 4.4.2空间位相展开方法 MwTouEGGgA 4.4.3时间位相展开方法 s4vj 4.4.4光栅图像采集与预处理 X1FKcWv 4.5测量误差分析 {VT**o 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 6oy[0hj 4.5.2非线性误差矫正方法 ^7iP!-w/ 4.6小结 NEW0dF&) 参考文献 C8AR^FW 第5章亚表面损伤检测 "9O8#i<Nr 5.1概述 }dpE> 5.2亚表面损伤产生机理与表征 bEB9J-
Q 5.2.1产生机理 Xz\ X 8I 5.2.2表征方法 Rgb&EnVW 5.3亚表面损伤检测技术 9" cyZO 5.3.1破坏性检测 Ws;X;7tS 5.3.2非破坏性检测 }.N~jx0R 5.4工艺试验 V@pUU~6R 5.4.1亚表面损伤的测量 7g-{<d 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 J!d=aGY0- 5.4.3损伤抑制策略 P asVfC@ 5.5小结 Eu2(#z 6eW 参考文献 f[Xsri 第6章其他测量技术 0S&C[I
o6 6.1移相干涉测量技术 3,)[Q?nKD 6.2动态干涉测量技术 yM#
%UeZ\ 6.3剪切干涉 6[\1Nzy> 6.4点衍射干涉 `2hLs _ 6.5白光干涉测量技术 W<T
Ui51Y 6.6外差干涉测量技术
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@9a 6.7补偿法检测非球面 ,jdTe?[*^ 6.8计算全息法检测非球面 7}puj%JS
/ 参考文献 V>& 1;n 文摘 C@!bd+' }#phNn6
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