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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 AAqfp/DC  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 ]+b?J0|P<  
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目录 Anqt:(  
前言 'T(Q  
第1章绪论 e&E7_  
1.1概述 LK!sk5/  
1.2光学元件质量评价 |`pBI0Sjo  
1.2.1表面质量评价 K:% MhH-  
1.2.2亚表面质量评价 @=2u;$.  
1.3干涉测量基础知识 '+ mI  
1.3.1干涉原理 bSn={O"M  
1.3.2典型干涉测量结构 b4EUr SL  
第2章子子L径拼接轮廓测量 WncHgz  
2.1概述 Y^C(<N$  
2.2圆形子孔径拼接 xFJT&=Af W  
2.2.1拼接原理 6)W8HX~+  
2.2.2拼接算法 >rSCf=  
2.3环形子孔径拼接 :fnJp9c  
2.3.1孔径划分 bKsEXS  
2.3.2拼接原理 /reGT!u  
2.3.3拼接算法 Q@8(e&{#W  
2.4广义子孔径拼接 q(WGvl^r  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 :4x6dYNU  
2.4.2计算机模拟 F_i"v5#  
2.5子孔径拼接优化算法 \ So)g)K  
2.5.1调整误差分量及其波像差 3sIdwY)ZS_  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 E{QjmlXQ<  
2.5.3仿真研究  Hyenn  
2.6测量系统 *_m ER`  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 &;W K=#  
2.6.2实验研究 MiKq|  
2.7超大口径拼接检测 ^UhqV"[7k  
2.7.1方案设计 ^CM@VmPp  
2.7.2拼接算法 B*E"yB\NV  
2.8小结 uhnnjI  
参考文献 c6=XJvz  
第3章接触式轮廓测量 2yD ?f8P4  
3.1概述 [6 "5  
3.2测量理论基础 N})vrB;1  
3.2.1测量原理 @HnahD  
3.2.2坐标系和坐标变换 ~p:hqi1+<+  
3.2.3检测路径 Jt0/*^'  
3.2.4二次曲面系数研究 M?;YpaSe+  
3.2.5离轴镜测量模型 6i~<,;Cn  
3.3测量系统 }sJ}c}b  
3.3.1测头系统 @MoCEtt  
3.3.2系统设计 &j/,8 Z*  
3.4误差分析 ew~uOG+  
3.4.1误差源分类 PR AP~P&^  
3.4.2固有误差 7q 5 \]J[  
3.4.3随机调整误差 uZ@qlq8  
3.4.4接触力诱导误差 'vZy-qHrV  
3.4.5高阶像差误差分析 EP<{3f y  
3.5小结 m*h O@M  
参考文献 ^vv 1cft  
第4章结构光轮廓测量 PI9aKNt  
4.1概述 ,`'A"]"  
4.2基于结构光原理的测量方法 0,):;O I  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 +z#+}'mT%  
4.2.2相位测量轮廓术 V\Y, 4&bI  
4.2.3莫尔测量轮廓术 u-bgk(u  
4.2.4卷积解调法 :/Z1$xS  
4.2.5调制度测量轮廓术 k8SY=HP  
4.3测量系统及其标定 #,FXc~V  
4.3.1结构光三维测量系统 &oJ[ *pQ  
4.3.2系统参数标定 |oX9SUl  
4.3.3快速标定方法 qI tbY%  
4.4位相展开算法 q$s)(D  
4.4.1位相展开的基本原理 m]'+Eye ]r  
4.4.2空间位相展开方法 Lm.N {NV'  
4.4.3时间位相展开方法 `#r/L@QI  
4.4.4光栅图像采集与预处理 n:?a=xY  
4.5测量误差分析 9"L!A,&'  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 c=a;<,Rzb  
4.5.2非线性误差矫正方法 _{}^]ZB  
4.6小结 %m/5! "  
参考文献 U[q39FR  
第5章亚表面损伤检测 Xi+l1xe  
5.1概述 P!)F1U]!  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 "]=XB0)  
5.2.1产生机理 kFT*So`'  
5.2.2表征方法 BvHI}=  
5.3亚表面损伤检测技术 P.=Dd"La  
5.3.1破坏性检测 p]toDy-}  
5.3.2非破坏性检测 ' ~z`kah  
5.4工艺试验 ;2MdvHhz1  
5.4.1亚表面损伤的测量 C nD3%%  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 >m=XqtP  
5.4.3损伤抑制策略 .%\||1F<  
5.5小结 N[DKA1Ei  
参考文献 N>g6KgX{K  
第6章其他测量技术 _0\wyjjU  
6.1移相干涉测量技术 &`-e; Xt  
6.2动态干涉测量技术 X)c0 y3hk  
6.3剪切干涉 b"w2 2%  
6.4点衍射干涉 :g-vy9vb  
6.5白光干涉测量技术 AvuGAlP  
6.6外差干涉测量技术 Iu;VFa  
6.7补偿法检测非球面 g(S4i%\  
6.8计算全息法检测非球面 $z5C+K@  
参考文献 mVK^gJ3  
文摘 r-[YJzf@P  
/"R{1  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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