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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 &DV'%h>i=  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 zq#o8))4X  
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目录 ?!ig/ufZ  
前言 d$ /o\G  
第1章绪论 'nul{RE*  
1.1概述 DRnXo-Aaj  
1.2光学元件质量评价 #'[ f^xgJ  
1.2.1表面质量评价 [O3R(`<e5  
1.2.2亚表面质量评价 We`axkC  
1.3干涉测量基础知识 a;(:iMCi  
1.3.1干涉原理 5"sF#Y&  
1.3.2典型干涉测量结构 pGC`HTo|  
第2章子子L径拼接轮廓测量 CfAqMH*ip  
2.1概述 cGD A0#r  
2.2圆形子孔径拼接 W*)>Tr)o  
2.2.1拼接原理 ;J:YNup  
2.2.2拼接算法 S'WmPv  
2.3环形子孔径拼接 ;pNfdII(  
2.3.1孔径划分 ]Vubz54  
2.3.2拼接原理 cIX59y#7  
2.3.3拼接算法 4-\a]"c  
2.4广义子孔径拼接 REw3>/=  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 &45.*l|mo  
2.4.2计算机模拟 NO&OuiN  
2.5子孔径拼接优化算法 t :_7 O7  
2.5.1调整误差分量及其波像差 Zqao4  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 k$hWR;U  
2.5.3仿真研究 1)%o:Xy o  
2.6测量系统 dZm{?\^_  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 3|A"CU/z@  
2.6.2实验研究 4]cOTXk9C  
2.7超大口径拼接检测 =($qiL'h  
2.7.1方案设计 @{a(f;  
2.7.2拼接算法 1F=x~FMvY  
2.8小结 H;^6%HV1  
参考文献 N\p3*#M  
第3章接触式轮廓测量 O&)Y3O1  
3.1概述 n4:WM+f4  
3.2测量理论基础 [~J4:yDd=  
3.2.1测量原理 WN0^hDc-  
3.2.2坐标系和坐标变换 ZK;HW  
3.2.3检测路径 r4-r z+x  
3.2.4二次曲面系数研究 X9P-fF?0  
3.2.5离轴镜测量模型 +"C0de|-  
3.3测量系统 Yrd K@I  
3.3.1测头系统 KT8Fn+  
3.3.2系统设计 Jlzhn#5c-  
3.4误差分析 { d/k0H  
3.4.1误差源分类 <%!@cE+y  
3.4.2固有误差 GUK/Xiu  
3.4.3随机调整误差 @M(vaJB8u  
3.4.4接触力诱导误差 3 -5^$-7_  
3.4.5高阶像差误差分析 \dP2xou=  
3.5小结 55#H A?cR  
参考文献 0uZHH  
第4章结构光轮廓测量 q H+~rj  
4.1概述 hWUZn``U$|  
4.2基于结构光原理的测量方法 A5z`3T;1  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 eX=W+&lj  
4.2.2相位测量轮廓术 rod{77  
4.2.3莫尔测量轮廓术 S]<Hx_[}  
4.2.4卷积解调法 I|p(8 R!  
4.2.5调制度测量轮廓术 /JvNJ f  
4.3测量系统及其标定 $idYG<],  
4.3.1结构光三维测量系统 Q4UaqiL  
4.3.2系统参数标定 X&K1>dgWP  
4.3.3快速标定方法 j/9'L^]  
4.4位相展开算法 l{;vD=D  
4.4.1位相展开的基本原理 xL mo?Y*  
4.4.2空间位相展开方法 N!,@}s  
4.4.3时间位相展开方法 FzNs >*  
4.4.4光栅图像采集与预处理 /N~.,vf  
4.5测量误差分析 wp} PQw:  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 H3&$:h  
4.5.2非线性误差矫正方法 7^ER?@:W  
4.6小结 $oh}!Smt  
参考文献 &u.t5m7(  
第5章亚表面损伤检测 w,^!kO0)~8  
5.1概述 65g\WB+/  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 z0c_&@uj*  
5.2.1产生机理 C EAwQH  
5.2.2表征方法 G6L 'RP  
5.3亚表面损伤检测技术 LA1UD+S  
5.3.1破坏性检测 nq r[HFWs  
5.3.2非破坏性检测 edA.Va|0  
5.4工艺试验 O{Wy;7i  
5.4.1亚表面损伤的测量  d':c  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 F(mm0:lT  
5.4.3损伤抑制策略 I>:M1Yc0  
5.5小结 q*52|?  
参考文献 bKiV<&Z5d  
第6章其他测量技术 $O=m/l $  
6.1移相干涉测量技术 %gmf  
6.2动态干涉测量技术 )p 2kx  
6.3剪切干涉 o AvX(  
6.4点衍射干涉 tK0?9M.)  
6.5白光干涉测量技术 *GD?d2.6j  
6.6外差干涉测量技术 RP!X 5  
6.7补偿法检测非球面 L-vy,[9)[*  
6.8计算全息法检测非球面 ?bW|~<X~  
参考文献 ~:v" TuuK  
文摘 !Yd7&#s  
"/g/Lc  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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