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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 KjYDFrR4  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 |nm2Uy/0  
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目录 i4VK{G~g"  
前言 [q$e6JwAt  
第1章绪论 (nz}J)T&  
1.1概述 >0V0i%inmF  
1.2光学元件质量评价 ohplj`X[21  
1.2.1表面质量评价 4\1;A`2%0  
1.2.2亚表面质量评价 4NUN Ov`[{  
1.3干涉测量基础知识 d h?dO`  
1.3.1干涉原理 bK7.St  
1.3.2典型干涉测量结构 TkT-$=i  
第2章子子L径拼接轮廓测量 +-P<CCvWz  
2.1概述 8t\}c6/3"  
2.2圆形子孔径拼接 ?cxr%`E  
2.2.1拼接原理 y.ql#eQ,  
2.2.2拼接算法 ;^ov~PPl  
2.3环形子孔径拼接 >Bx8IO1_\d  
2.3.1孔径划分 1RA }aX  
2.3.2拼接原理 kjX7- ZPY  
2.3.3拼接算法 l $w/Fz  
2.4广义子孔径拼接 .qinR 6=  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 Nm"<!a<F  
2.4.2计算机模拟 ^$}/|d(  
2.5子孔径拼接优化算法 ;q &0,B  
2.5.1调整误差分量及其波像差 en%B>]QI  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 EW9b*r7./  
2.5.3仿真研究 ,`"K  
2.6测量系统 ]|y}\7Aa  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 -%=RFgU4  
2.6.2实验研究 e?1KbJ?.  
2.7超大口径拼接检测 OA5f}+  
2.7.1方案设计 U1kh-8  :  
2.7.2拼接算法 lG 8dI\`  
2.8小结 WP!il(Gr  
参考文献 uAT/6@  
第3章接触式轮廓测量 ^Rk^XQCh  
3.1概述 yF;?Hg  
3.2测量理论基础 _eh3qs:  
3.2.1测量原理 HSC6;~U  
3.2.2坐标系和坐标变换 -U:2H7  
3.2.3检测路径 ?cJA^W  
3.2.4二次曲面系数研究 kw#X]`c3  
3.2.5离轴镜测量模型 qzHU)Ns(_  
3.3测量系统 ,@479ZvvR3  
3.3.1测头系统 u ]SZ{[ e  
3.3.2系统设计 {yU0D*#6  
3.4误差分析 W W35&mI)k  
3.4.1误差源分类 kAt RY4p  
3.4.2固有误差 aC}p^Nkr"k  
3.4.3随机调整误差 q55M8B 4w  
3.4.4接触力诱导误差 UtPwWB_YV  
3.4.5高阶像差误差分析 MU*It"@}2  
3.5小结 Cg7)S[zl  
参考文献 _^-D _y  
第4章结构光轮廓测量 eN4t1 $  
4.1概述 :U8k|,~f  
4.2基于结构光原理的测量方法 CMFC"eS e  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 S NN#$8\  
4.2.2相位测量轮廓术 G-ZhGbAI7  
4.2.3莫尔测量轮廓术 A`g.[7  
4.2.4卷积解调法 _V&x`ks  
4.2.5调制度测量轮廓术 d#4Wj0x  
4.3测量系统及其标定 !x6IV25  
4.3.1结构光三维测量系统 ^t7_3%%w  
4.3.2系统参数标定 ys/vI/e\  
4.3.3快速标定方法 $q^O%(  
4.4位相展开算法 vU7&'ca  
4.4.1位相展开的基本原理 y{?Kao7Ij  
4.4.2空间位相展开方法 sc9]sIb  
4.4.3时间位相展开方法 Agz=8=S%  
4.4.4光栅图像采集与预处理 vLr&ay!w  
4.5测量误差分析 DgVyy&7>  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 /K[]B]1NE  
4.5.2非线性误差矫正方法 ss*5.(y  
4.6小结 Y1|^>C#a  
参考文献 URk$}_39  
第5章亚表面损伤检测 VYHOk3  
5.1概述 fs7~NY  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 k,A M]H  
5.2.1产生机理 ^^7gDgT  
5.2.2表征方法 A_aO }oBX  
5.3亚表面损伤检测技术 @\+%GDv  
5.3.1破坏性检测 f^~2^p 1te  
5.3.2非破坏性检测 (&k') ff9K  
5.4工艺试验 + 2OZJVJ  
5.4.1亚表面损伤的测量 [@x  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 \6U 2-m'  
5.4.3损伤抑制策略 4bE42c=Ca7  
5.5小结 tD865gi  
参考文献 1]HHe*'Z  
第6章其他测量技术 ta@ ISRK  
6.1移相干涉测量技术 3F;EE:  
6.2动态干涉测量技术 rYD']%2  
6.3剪切干涉  I.UjST  
6.4点衍射干涉 Q:kwQg:~  
6.5白光干涉测量技术 0= 2H9v  
6.6外差干涉测量技术 1xq3RD  
6.7补偿法检测非球面 *13g <#$  
6.8计算全息法检测非球面 t`h_+p%>  
参考文献 ShsJ_/C2  
文摘 YcPKM@xo  
)8 oEs  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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