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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 u>S&?X'a  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 RFK N,oB  
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目录 8:&@MZQ&!  
前言 Z@ws,f^e  
第1章绪论 ~4`wfOvO  
1.1概述 NOS5bm&-  
1.2光学元件质量评价 6:EO  
1.2.1表面质量评价 I$ mOy{/#  
1.2.2亚表面质量评价 p[o2F5 T2  
1.3干涉测量基础知识 [ objdQU`  
1.3.1干涉原理 IWT##']G  
1.3.2典型干涉测量结构 A:NY:#uC  
第2章子子L径拼接轮廓测量 [U jbox  
2.1概述 <aHK{ *'3  
2.2圆形子孔径拼接 s{q2C}=$?D  
2.2.1拼接原理 C3_*o>8  
2.2.2拼接算法 5;^8wh(  
2.3环形子孔径拼接 I'@ }Yjm|  
2.3.1孔径划分 )@Zel.XD  
2.3.2拼接原理 QHM39Eu]  
2.3.3拼接算法 0Hz3nd?v  
2.4广义子孔径拼接 #SqOJX~Q  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 Qp=uiXs  
2.4.2计算机模拟 7CIje=u.q  
2.5子孔径拼接优化算法 U50X`J  
2.5.1调整误差分量及其波像差 rzTyHK[  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 }%1E9u  
2.5.3仿真研究 Sc0ZT/Lm  
2.6测量系统 fzKKK+   
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 LTY.i3  
2.6.2实验研究 uVO9r-O8p  
2.7超大口径拼接检测 N4Lk3]  
2.7.1方案设计 T5Fah#-4  
2.7.2拼接算法 ,f1wN{P  
2.8小结 \D[BRE+  
参考文献 S77Gc:[;8  
第3章接触式轮廓测量 ;I7Z*'5!  
3.1概述 4Ek< 5s[  
3.2测量理论基础 _ xC~44  
3.2.1测量原理 foFn`?LF  
3.2.2坐标系和坐标变换 S; c=6@"  
3.2.3检测路径 67g/(4&  
3.2.4二次曲面系数研究 f*5"Jh@  
3.2.5离轴镜测量模型 Qpc{7#bp  
3.3测量系统 )} #r"!  
3.3.1测头系统 } F.1j!71L  
3.3.2系统设计 +\ySx^vi  
3.4误差分析 vLke,MKW  
3.4.1误差源分类 a@a1/ 3  
3.4.2固有误差 us cR/d  
3.4.3随机调整误差 TXaXJIp  
3.4.4接触力诱导误差 hnZHu\EJ  
3.4.5高阶像差误差分析 y,x~S\>+  
3.5小结 w#1dO~  
参考文献 9C.cz\E  
第4章结构光轮廓测量 _SaK]7}m!  
4.1概述 S&Sf}uK  
4.2基于结构光原理的测量方法 M,@SUu v"  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 /7#&qx8  
4.2.2相位测量轮廓术 JU@$(  
4.2.3莫尔测量轮廓术 xH0/R LK3J  
4.2.4卷积解调法 mOB\ `&h5  
4.2.5调制度测量轮廓术 2ya`2 m  
4.3测量系统及其标定 >H1d9y +Z  
4.3.1结构光三维测量系统 ~V&ReW/  
4.3.2系统参数标定 <H)@vW]_  
4.3.3快速标定方法 ?MYD}`Cv  
4.4位相展开算法 ~<%cc+;`  
4.4.1位相展开的基本原理 =FbfV*K 9  
4.4.2空间位相展开方法 W% [5~N  
4.4.3时间位相展开方法 f+6l0@K2  
4.4.4光栅图像采集与预处理 ;x#>J +QlG  
4.5测量误差分析 m&q;.|W  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 >+#[O"  
4.5.2非线性误差矫正方法 Cg Sdyg@  
4.6小结 ,fw[J  
参考文献 xD=D *W  
第5章亚表面损伤检测 agYK aM1N  
5.1概述 {dwV-qz  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 <@A^C$g  
5.2.1产生机理 Lk9>7xY  
5.2.2表征方法 .%rR  
5.3亚表面损伤检测技术 .{ -yveE  
5.3.1破坏性检测 CA4-&O"  
5.3.2非破坏性检测 .;2!c'mT9  
5.4工艺试验 iV&#5I  
5.4.1亚表面损伤的测量 _&/Zab5  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 }'W^Ki$  
5.4.3损伤抑制策略 Pb,^UFa=  
5.5小结 "{_"Nj H  
参考文献 ECScx02  
第6章其他测量技术 q,DX{:  
6.1移相干涉测量技术 wM)w[  
6.2动态干涉测量技术 qt(:bEr^6b  
6.3剪切干涉 \bOjb\ w$  
6.4点衍射干涉 r!^\Q7  
6.5白光干涉测量技术 b-?o?}*  
6.6外差干涉测量技术 uKy*N*}  
6.7补偿法检测非球面 %SGO"*_  
6.8计算全息法检测非球面 VK;x6*Y  
参考文献 lF( !(>YZ  
文摘 0EOX@;}  
F9\Ot^~  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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