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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 u>S&?X'a 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 RFK
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m'qMcCE yl'~H;su 目录 8:&@MZQ&! 前言 Z@ws,f^e 第1章绪论 ~4`wfOvO 1.1概述 NOS5bm&- 1.2光学元件质量评价 6:EO 1.2.1表面质量评价 I$mOy{/# 1.2.2亚表面质量评价 p[o2F5 T2 1.3干涉测量基础知识 [
objdQU` 1.3.1干涉原理 IWT##']G 1.3.2典型干涉测量结构 A:NY:#uC 第2章子子L径拼接轮廓测量 [U jbox 2.1概述 <aHK{*'3 2.2圆形子孔径拼接 s{q2C}=$?D 2.2.1拼接原理 C3_*o>8 2.2.2拼接算法 5;^8wh( 2.3环形子孔径拼接 I'@ }Yjm| 2.3.1孔径划分 )@Zel.XD 2.3.2拼接原理 QHM39Eu] 2.3.3拼接算法 0Hz3nd?v 2.4广义子孔径拼接 #SqOJX~Q 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 Qp=uiXs 2.4.2计算机模拟 7CIje=u.q 2.5子孔径拼接优化算法 U50X`J 2.5.1调整误差分量及其波像差 rzTyHK[ 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 }%1E9u 2.5.3仿真研究 Sc0ZT/Lm 2.6测量系统 fzKKK+ 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 LTY.i3
2.6.2实验研究 uVO9r-O8p
2.7超大口径拼接检测 N4Lk3] 2.7.1方案设计 T5Fah#-4 2.7.2拼接算法 ,f1wN{P 2.8小结 \ D[BRE+ 参考文献 S77Gc:[;8 第3章接触式轮廓测量 ;I7Z*'5! 3.1概述 4Ek<
5s[ 3.2测量理论基础 _xC~44 3.2.1测量原理 foFn`?LF 3.2.2坐标系和坐标变换 S;c=6@" 3.2.3检测路径 67g/(4 & 3.2.4二次曲面系数研究 f*5"Jh@ 3.2.5离轴镜测量模型 Qpc{7#bp 3.3测量系统 )} #r"! 3.3.1测头系统 }F.1j!71L 3.3.2系统设计 +\ySx^vi 3.4误差分析 vLke,MKW 3.4.1误差源分类 a@a1/3 3.4.2固有误差 us cR/d
3.4.3随机调整误差 TXa XJIp 3.4.4接触力诱导误差 hnZHu\EJ 3.4.5高阶像差误差分析 y,x~S\>+ 3.5小结 w#1dO~ 参考文献 9C.cz\E 第4章结构光轮廓测量 _SaK]7}m! 4.1概述 S&Sf}uK 4.2基于结构光原理的测量方法 M,@SUu v" 4.2.1傅里叶变换轮廓术 /7#&qx8 4.2.2相位测量轮廓术 JU@$( 4.2.3莫尔测量轮廓术 xH0/R LK3J 4.2.4卷积解调法 mOB\ `&h5 4.2.5调制度测量轮廓术 2ya`2 m 4.3测量系统及其标定 >H1d9y+Z 4.3.1结构光三维测量系统 ~V&ReW/ 4.3.2系统参数标定 <H)@vW]_ 4.3.3快速标定方法 ?MYD}`Cv 4.4位相展开算法 ~<%cc+;` 4.4.1位相展开的基本原理 =FbfV*K9 4.4.2空间位相展开方法 W% [5~N 4.4.3时间位相展开方法 f+6l0@K2 4.4.4光栅图像采集与预处理 ;x#>J +QlG 4.5测量误差分析 m&q;.|W 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 >+#[O" 4.5.2非线性误差矫正方法 Cg
Sdyg@ 4.6小结 ,fw[ J 参考文献 xD=D *W 第5章亚表面损伤检测 agYKaM1N 5.1概述 {dwV-qz 5.2亚表面损伤产生机理与表征 <@A^C$g 5.2.1产生机理 Lk9>7xY 5.2.2表征方法 .%rR 5.3亚表面损伤检测技术 .{-yveE 5.3.1破坏性检测 CA4-&O" 5.3.2非破坏性检测 .;2!c'mT9 5.4工艺试验 iV5I 5.4.1亚表面损伤的测量 _&/Zab5 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 }'W^Ki$ 5.4.3损伤抑制策略 Pb,^UFa= 5.5小结 "{_"NjH 参考文献 ECScx02 第6章其他测量技术 q,DX{: 6.1移相干涉测量技术 wM)w[ 6.2动态干涉测量技术 qt(:bEr^6b 6.3剪切干涉 \bOjb\ w$ 6.4点衍射干涉 r!^\Q7 6.5白光干涉测量技术 b-?o?}* 6.6外差干涉测量技术 uKy *N*} 6.7补偿法检测非球面 %SGO"*_ 6.8计算全息法检测非球面 VK;x6*Y 参考文献 lF(!(>YZ 文摘 0EOX@;} F9\Ot^~
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