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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 NqazpB* 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 C\Wmq
[ '6iEMg&3 [attachment=60103] RNEp4x taHJ u b 定价:85.00 %op**@4/t\ 优惠价格:63.75 1y@i}<9F Xv5wJlc!d
mW(W\'~_~ ]3],r ?-tJ 目录 p?%y82E 前言 Olt?~} 第1章绪论 mA}TJz 1.1概述 ?4#Li~q 1.2光学元件质量评价 B:yGS*.tu 1.2.1表面质量评价 hB]Np1(' 1.2.2亚表面质量评价 @su^0 9n 1.3干涉测量基础知识 O'p9u@kc 1.3.1干涉原理 ios&n)W& 1.3.2典型干涉测量结构 $kdB |4C 第2章子子L径拼接轮廓测量 a8e6H30Sm 2.1概述 ed{ -/l~j 2.2圆形子孔径拼接 fM :]& 2.2.1拼接原理 >-RQ]?^ 2.2.2拼接算法 4<w.8rR:A 2.3环形子孔径拼接 +<Nn~1 2.3.1孔径划分
,h m\
2.3.2拼接原理 9IdA%RM~mH 2.3.3拼接算法 CAig]=2' 2.4广义子孔径拼接 Fc)@,/R"v 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 T@H^BGs 2.4.2计算机模拟 \_VA50 2.5子孔径拼接优化算法 ~k-y &<UR 2.5.1调整误差分量及其波像差 Fbr;{T
. 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 b4%??"&<Y 2.5.3仿真研究 S:#lH?<_ 2.6测量系统 e9Wa<i8 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 )Yh+c=6
? 2.6.2实验研究 &.)^
%Tp\z 2.7超大口径拼接检测 <Uk}o8E 2.7.1方案设计 ehGLk7@7& 2.7.2拼接算法 c)6m$5] 2.8小结 lne4-(DJ 参考文献 ,a{P4Bq 第3章接触式轮廓测量 RtkEGxw*^ 3.1概述 '2A)}uR 3.2测量理论基础 G/y5H;<9M 3.2.1测量原理 P[G)sA_" 3.2.2坐标系和坐标变换 0I-9nuw,^; 3.2.3检测路径 niMsQ 3.2.4二次曲面系数研究 '6nAF 3.2.5离轴镜测量模型 60^`JVGWH 3.3测量系统 6fE7W>la 3.3.1测头系统 sg^zH8,3 3.3.2系统设计 6IN
e@ 3.4误差分析 KC*e/J 3.4.1误差源分类 PV.Xz0@R 3.4.2固有误差 '|6]_ 3.4.3随机调整误差 >mbHy<< 3.4.4接触力诱导误差 v ,i%Q$ 3.4.5高阶像差误差分析 D%[mWc@1I 3.5小结 ih-#5M@ 参考文献 CCs%%U/= 第4章结构光轮廓测量 `f,/`''R 4.1概述 >4x(e\B 4.2基于结构光原理的测量方法 Y Vt% 0 4.2.1傅里叶变换轮廓术 rK8lBy:< 4.2.2相位测量轮廓术 3,_aAgeE 4.2.3莫尔测量轮廓术 `P@< 3] 4.2.4卷积解调法 <)C#_w)- 4.2.5调制度测量轮廓术 `z}?"BW| 4.3测量系统及其标定 +qN>.y!Y 4.3.1结构光三维测量系统 nUaJzPl 4.3.2系统参数标定 xWH.^o," 4.3.3快速标定方法 @Z_x.Y6 4.4位相展开算法 %"i(K@ 4.4.1位相展开的基本原理 M5LfRBO 4.4.2空间位相展开方法 c`)\Pb/O 4.4.3时间位相展开方法 h},IF 4.4.4光栅图像采集与预处理 O#4&8>;= 4.5测量误差分析 EgEa1l!NSQ 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 ;DQ ZT 4.5.2非线性误差矫正方法 `{@8Vsmy: 4.6小结 7uqzm 参考文献 V5@:#BIs 第5章亚表面损伤检测 ZuzEg *lb 5.1概述 RXMISt3+{y 5.2亚表面损伤产生机理与表征 tH@Erh|% 5.2.1产生机理 DaQ?\uq 5.2.2表征方法 l
K{hVqpt 5.3亚表面损伤检测技术 etDk35!h~, 5.3.1破坏性检测 BiLY(1, 5.3.2非破坏性检测 +yG~T 5.4工艺试验 >a<.mU|# 5.4.1亚表面损伤的测量 oi7@s0@ 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 |u% )gk 5.4.3损伤抑制策略 *}qWj_RT 5.5小结 b<[Or^X
] 参考文献 e-/&$Qq 第6章其他测量技术 )th<,Lo3# 6.1移相干涉测量技术 _gR;=~S 6.2动态干涉测量技术 $?iLLA~ 6.3剪切干涉 tPWLg), 6.4点衍射干涉 T3.&R#1M8- 6.5白光干涉测量技术 S&5&];Ag 6.6外差干涉测量技术 :1Xz4wkWS* 6.7补偿法检测非球面 ='r!g 6.8计算全息法检测非球面 JAnZdfRt 参考文献 :wyno#8`- 文摘 #6aW9GO 23eX;gL
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