cyqdesign |
2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 ~6\& y 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 pCz@(:0 =U=e?AOG2 [attachment=60103] (s5< /A%om|+Gq 定价:85.00 N[#iT&@T}/ 优惠价格:63.75 |= tJ| '2wXV;`
)!'Fa_$ e dMey/A/VYt 目录 .WBI%ci 前言 N>Vacc_[ 第1章绪论 e$ThSh\+( 1.1概述 ){+.8KI 1.2光学元件质量评价 W`w5jk'0^= 1.2.1表面质量评价 i_[^s:*T 1.2.2亚表面质量评价 HyZVr2 1.3干涉测量基础知识 }pbBo2 1.3.1干涉原理 T@%;0Ro~ 1.3.2典型干涉测量结构 q"{Up 第2章子子L径拼接轮廓测量 Pd)K^;em 2.1概述 sKe9at^E]> 2.2圆形子孔径拼接
_8,vk-,' 2.2.1拼接原理 fO[Rf_ 2.2.2拼接算法 6 {b%Jfo 2.3环形子孔径拼接 -}=@
*See# 2.3.1孔径划分 #citwMW 2.3.2拼接原理 *i=?0M4S 2.3.3拼接算法 "z^BKb5 2.4广义子孔径拼接 _F}IF9{?G 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 ):/<H 2.4.2计算机模拟 3~cS}N T 2.5子孔径拼接优化算法 :5TXA 2.5.1调整误差分量及其波像差 z*Myokhf 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 >k$[hk*~ 2.5.3仿真研究 ?l)}E 2.6测量系统 C1ZFA![ 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 hEyX~f 2.6.2实验研究 R=][>\7]} 2.7超大口径拼接检测 )![f\!'PI 2.7.1方案设计 N+Q(V*:3v 2.7.2拼接算法 {B'Gm]4 2.8小结 ^q4l4)8jX 参考文献 ZTQ$Ol+{q 第3章接触式轮廓测量 "i!2=A8k 3.1概述 Gk{
"O%AE 3.2测量理论基础 ^
I{R[O'8 3.2.1测量原理 M!xm1-,[ 3.2.2坐标系和坐标变换 OhSt6&+ 3.2.3检测路径 4f@havFIJ 3.2.4二次曲面系数研究 u\Nw:Uu i 3.2.5离轴镜测量模型 9pVf2|5hj 3.3测量系统 fl
pXVtsQ 3.3.1测头系统 x?k 3.3.2系统设计 q3,P|&T 3.4误差分析 5~`|)~FA 3.4.1误差源分类 +XU$GSw3( 3.4.2固有误差 RT.wTJS; 3.4.3随机调整误差 '_TJ"lOZ 3.4.4接触力诱导误差 {f@xA 3.4.5高阶像差误差分析 d&[M8( 3.5小结 ;[WSf{k 参考文献 OH-~ 第4章结构光轮廓测量 S7Iu?R_I 4.1概述 g( @$uJ 4.2基于结构光原理的测量方法 [[*0MA2Y 4.2.1傅里叶变换轮廓术 Ux%\Y.PPI 4.2.2相位测量轮廓术 bMK#^ZoH 4.2.3莫尔测量轮廓术 Lyf? V(S 4.2.4卷积解调法 ;qMnO_E 4.2.5调制度测量轮廓术 VurP1@e& 4.3测量系统及其标定 >,]
eL 4.3.1结构光三维测量系统 yZj}EBa 4.3.2系统参数标定 +eV4g2w) 4.3.3快速标定方法 g|GvJ)VX 4.4位相展开算法 w]o:c(x@ 4.4.1位相展开的基本原理 H}jK3;8E 4.4.2空间位相展开方法 %U=S6<lbj; 4.4.3时间位相展开方法 r2E>sHw 4.4.4光栅图像采集与预处理 dCoi>PO 4.5测量误差分析 RAD4q"}k 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 a.Rp#}f 4.5.2非线性误差矫正方法 ZZ]OR;8 4.6小结 yVmtsQ-}a 参考文献 OIXAjU*N 第5章亚表面损伤检测 m>Z\
rqOK 5.1概述 !7Yt`l$$z 5.2亚表面损伤产生机理与表征 0bnVIG2q 5.2.1产生机理 LAK-!!0X 5.2.2表征方法 <u x*r#a!d 5.3亚表面损伤检测技术 UuOLv;v 5.3.1破坏性检测 ard3yNQt 5.3.2非破坏性检测 VtzyB 5.4工艺试验 9GtVI^] 5.4.1亚表面损伤的测量 (8@hF#N1 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 {g!exbVf 5.4.3损伤抑制策略 ! 6p)t[s 5.5小结 :~0^ib<v; 参考文献 >F\rBc& 第6章其他测量技术 A&}nRP9 6.1移相干涉测量技术 njwR~ aL`| 6.2动态干涉测量技术 vS J< 6.3剪切干涉 ^qId]s 6.4点衍射干涉 D|Ih e%w- 6.5白光干涉测量技术 rmg";(I 6.6外差干涉测量技术 PG v}fEH" 6.7补偿法检测非球面 Z@.ol Y 6.8计算全息法检测非球面 %)6:eIS 参考文献 }eDX8b8emA 文摘 wzQdKlV xV n]m9i
|
|