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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 Ccx1#^` 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 L}x,>hbT ]H_|E [attachment=60103] 3sy|pa y+g01z 定价:85.00 ? j8S.d~ 优惠价格:63.75 G378,H {} gr\ '|JBA.s| F:B8J4/ 目录 {ICW"Rlcs 前言 - IF3'VG 第1章绪论 h.ln%6:d 1.1概述 Sh+$w=vC 1.2光学元件质量评价 isiehKkD 1.2.1表面质量评价 O<EFm}Ae 1.2.2亚表面质量评价 K,'v{wSr 1.3干涉测量基础知识 (Sd8S`xO 1.3.1干涉原理 |>U:Pb( 1.3.2典型干涉测量结构 zXRq) ;s 第2章子子L径拼接轮廓测量 CW)JS3}W" 2.1概述 ~?#B(t 2.2圆形子孔径拼接 #lld*I"d 2.2.1拼接原理 <*'%Xgm 2.2.2拼接算法 X@j.$0eK 2.3环形子孔径拼接 +thkx$o 2.3.1孔径划分 {BS}9jZx 2.3.2拼接原理 1O{(9nNj 2.3.3拼接算法 Zl4X,9Wt 2.4广义子孔径拼接 Or9"T ]z 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 O7of9F~" 2.4.2计算机模拟 k(bDj[0q^ 2.5子孔径拼接优化算法 _hz}I>G@B 2.5.1调整误差分量及其波像差 v+b#8 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 B2/d%B 2.5.3仿真研究 #FNSE*Y 2.6测量系统 N9}27T+4 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 E@(nKe&6T_ 2.6.2实验研究 ?Xq"Q^o4#e 2.7超大口径拼接检测 xxS>O% 2.7.1方案设计 :Ou[LF.O 2.7.2拼接算法 2^;zj0]Rt 2.8小结 7XU$O$C 参考文献 Am @o}EC 第3章接触式轮廓测量 XGCjB{IV 3.1概述 tP0\;W 3.2测量理论基础 cKM#0dq 3.2.1测量原理 F).7%YfY 3.2.2坐标系和坐标变换 +$;*" o 3.2.3检测路径 618k- 3.2.4二次曲面系数研究 0`y*7.Ip 3.2.5离轴镜测量模型 |mp~d<& 3.3测量系统 z9qF<m 3.3.1测头系统 ^1mnw@04 3.3.2系统设计 s'4%ZE2Dr 3.4误差分析 -2/&i 3.4.1误差源分类 V<&^zIJUR 3.4.2固有误差 RoLN# 3.4.3随机调整误差 h; "pAE 3.4.4接触力诱导误差 dMlJ2\]u 3.4.5高阶像差误差分析 =v:}{~M^$ 3.5小结 w =2; QJ< 参考文献 s$D" 第4章结构光轮廓测量 vi;yT. 4.1概述 -%)S~R 4.2基于结构光原理的测量方法 =!N,{V_ 4.2.1傅里叶变换轮廓术 rf=oH
} 4.2.2相位测量轮廓术 #6F|}E 4.2.3莫尔测量轮廓术 9~5LKg7Ac 4.2.4卷积解调法 {\u6Cj x 4.2.5调制度测量轮廓术 O/b1^
Y
4.3测量系统及其标定 LFX[v 4.3.1结构光三维测量系统 GvTA/zA 4.3.2系统参数标定 '(fzznRH 4.3.3快速标定方法 qp{3I("_ 4.4位相展开算法 ZuNUha&a 4.4.1位相展开的基本原理 *bl|[(pP 4.4.2空间位相展开方法 ]MmFtdvE 4.4.3时间位相展开方法 Hg04pZupN 4.4.4光栅图像采集与预处理 8JojKH 4.5测量误差分析 044Q>Qz, 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 Ie7S'.Lmq 4.5.2非线性误差矫正方法 ;;}}uW= 4.6小结 Y;1s=B9 参考文献 >uP1k.z'I 第5章亚表面损伤检测 1deK}5' 5.1概述 J;S Z"I' 5.2亚表面损伤产生机理与表征 XYze*8xUb 5.2.1产生机理 R
q .2 5.2.2表征方法 9|l6.$Me/ 5.3亚表面损伤检测技术 kIJ=]wU|v 5.3.1破坏性检测 <~hx ~"c 5.3.2非破坏性检测 Z\S'HNU 5.4工艺试验 x }.&?m 5.4.1亚表面损伤的测量 *]>~lO1 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 MZ:Ty,pw:O 5.4.3损伤抑制策略 },%,v2} 5.5小结 9/PX~j9O? 参考文献 *(o^w'5 第6章其他测量技术 J?/NJ-F 6.1移相干涉测量技术 xMA2S*%ca 6.2动态干涉测量技术 "P!zu(h4 6.3剪切干涉 0~Iq9}{*P 6.4点衍射干涉 IXU~&5&J 6.5白光干涉测量技术 gJg%3K~, 6.6外差干涉测量技术 c|F2 6$rv 6.7补偿法检测非球面 c8oE,-~ 6.8计算全息法检测非球面 )VeeAu)p 参考文献 !|-:"hE1h 文摘 q@d6P~[-gj SD .c9
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