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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 5fM/y3QPsZ  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 M'Q{2%:>a  
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目录 >J|I  
前言 rN8 ZQiJC  
第1章绪论 !G Z2|~f9  
1.1概述 kfM}j  
1.2光学元件质量评价 :/K 'P`JaL  
1.2.1表面质量评价 fw'$HV76  
1.2.2亚表面质量评价 &}wKC:LSP  
1.3干涉测量基础知识 `%"zq"1`0  
1.3.1干涉原理 /%=p-By<V  
1.3.2典型干涉测量结构 %t`a-m  
第2章子子L径拼接轮廓测量 ;9/6X#;$  
2.1概述  >pT92VN  
2.2圆形子孔径拼接 Xo;J1H  
2.2.1拼接原理 O"nY4  
2.2.2拼接算法 J9mLW}I?NW  
2.3环形子孔径拼接 WOz dYeeG  
2.3.1孔径划分 WQ|d;[E  
2.3.2拼接原理 I^ppEgYSY  
2.3.3拼接算法 yI h>j.P  
2.4广义子孔径拼接 )j]S ;Mr  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 u'<Y#bsR#/  
2.4.2计算机模拟 #$e~ o}(r  
2.5子孔径拼接优化算法 Z#3wMK~  
2.5.1调整误差分量及其波像差 #sq-V,8  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 k;#$Oxa>t=  
2.5.3仿真研究 RHz'Dz>0  
2.6测量系统 rb qH9 S  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 (3&@c!E  
2.6.2实验研究 '[{M"S  
2.7超大口径拼接检测 6oL-Atf  
2.7.1方案设计 o>\jc  
2.7.2拼接算法 vWXj6}  
2.8小结 ^Qs-@]E-  
参考文献 67~m9pk  
第3章接触式轮廓测量 oy;N3  
3.1概述 4Q,HhqV'  
3.2测量理论基础 v'2EYTVNJD  
3.2.1测量原理 bv)E>%Yy  
3.2.2坐标系和坐标变换 Z"mpE+U*  
3.2.3检测路径 7E%ehM6Y  
3.2.4二次曲面系数研究 \#lh b  
3.2.5离轴镜测量模型 mdoy1a  
3.3测量系统 6Bo~7gnc  
3.3.1测头系统 jgs kK  
3.3.2系统设计 GmcxN<  
3.4误差分析 9c}LG5  
3.4.1误差源分类 ?A8Uf=  
3.4.2固有误差 pz:$n_XC}  
3.4.3随机调整误差 J3}^\k=p"  
3.4.4接触力诱导误差 49@ pA-  
3.4.5高阶像差误差分析 L`V6\Ix(I  
3.5小结 sYYg5vL9  
参考文献 G$x uHHZ'  
第4章结构光轮廓测量 ? Ls]k  
4.1概述 X.o[=E  
4.2基于结构光原理的测量方法 |U8;25Y  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 X6N^<Z$  
4.2.2相位测量轮廓术 /thCu%%9A  
4.2.3莫尔测量轮廓术 `i9WnPRt  
4.2.4卷积解调法 ^8 AV#a  
4.2.5调制度测量轮廓术 <(>v|5K0]  
4.3测量系统及其标定 st:[|`  
4.3.1结构光三维测量系统 ePrb G4xv  
4.3.2系统参数标定 ahhVl=9/ao  
4.3.3快速标定方法 Y~,[9:SR  
4.4位相展开算法 a^)7&|$ E  
4.4.1位相展开的基本原理 Yc"G="XP;  
4.4.2空间位相展开方法 ;TEZD70r  
4.4.3时间位相展开方法 "Y7RvL!U  
4.4.4光栅图像采集与预处理 +G7A.d`V}  
4.5测量误差分析 Yn'XSV|g  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 jSaEwN  
4.5.2非线性误差矫正方法 }u5 Mexs  
4.6小结 H_o<!YxK  
参考文献 ' f}^/`J  
第5章亚表面损伤检测 )d>"K`3  
5.1概述 l9qq;hhGP,  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 )m\%L`+  
5.2.1产生机理 $_S^Aw?  
5.2.2表征方法 TAi |]U!  
5.3亚表面损伤检测技术 -+'{C =  
5.3.1破坏性检测 f]J?-ks  
5.3.2非破坏性检测 UDt.w82  
5.4工艺试验 xPq3Sfg`A  
5.4.1亚表面损伤的测量 Nr|.]=K)5n  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 shYcfLJ  
5.4.3损伤抑制策略 G"O %u|7  
5.5小结 &.K8c phj  
参考文献 {SqY77  
第6章其他测量技术 Jn' q'+  
6.1移相干涉测量技术 :* /<eT_  
6.2动态干涉测量技术 YZr^;jfP  
6.3剪切干涉 e@L+z  
6.4点衍射干涉 |uj1T=ZY  
6.5白光干涉测量技术 q.K >v'  
6.6外差干涉测量技术 n"@3d.21  
6.7补偿法检测非球面 E@0w t^  
6.8计算全息法检测非球面 +ulX(u(,  
参考文献 /(W{`  
文摘 OAOG&6xu8  
0aQNdi)b  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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