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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 NK~j>>^;v  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 &^{HD }/{b  
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目录 =^|^" b  
前言 fOdkzD,  
第1章绪论 bT|a]b:  
1.1概述 8G6PcTqv"  
1.2光学元件质量评价 %kxq"=3  
1.2.1表面质量评价 0 gL]^_+7  
1.2.2亚表面质量评价 (I IPrW;>  
1.3干涉测量基础知识 mawomna  
1.3.1干涉原理 \rF6"24t6  
1.3.2典型干涉测量结构 <_dyUiT$J  
第2章子子L径拼接轮廓测量 4askQV &hj  
2.1概述 D}>pl8ke~g  
2.2圆形子孔径拼接 1j`-lD  
2.2.1拼接原理 SsIy;l  
2.2.2拼接算法 +%OINMo.A  
2.3环形子孔径拼接 IgI*mDS&b  
2.3.1孔径划分 |h\e(_G \  
2.3.2拼接原理 +?w 7Nm`  
2.3.3拼接算法 #5wOgOv  
2.4广义子孔径拼接 iKnH6} `?U  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 me_DONW  
2.4.2计算机模拟 9TIyY`2!  
2.5子孔径拼接优化算法 -icOg6%  
2.5.1调整误差分量及其波像差 .{1G"(z  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 :2pd2S  
2.5.3仿真研究 &=Gz[1 L  
2.6测量系统 WS/^WxRY  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 2?u>A3^R  
2.6.2实验研究 o]t6u .L  
2.7超大口径拼接检测 Kfa7}f_  
2.7.1方案设计 cv=nGFx6  
2.7.2拼接算法 ! @{rk p  
2.8小结 lM86 *g 'l  
参考文献 ng0IRJ:3  
第3章接触式轮廓测量 )@09Y_9r  
3.1概述 -wH#B<'  
3.2测量理论基础 L(\sO=t  
3.2.1测量原理 an_qE}P  
3.2.2坐标系和坐标变换 CoDu|M%  
3.2.3检测路径  Zf68 EB  
3.2.4二次曲面系数研究 [R+zzl&Zw  
3.2.5离轴镜测量模型 }S<2({GI  
3.3测量系统 'Y IFHn$!  
3.3.1测头系统 +0rMv  
3.3.2系统设计 rlT[tOVAY  
3.4误差分析 PVP,2Yq!  
3.4.1误差源分类 F1J Sf&8  
3.4.2固有误差 #~3x^ 4Y  
3.4.3随机调整误差 M>D 3NY[,  
3.4.4接触力诱导误差 T)&J}^j  
3.4.5高阶像差误差分析 ] e!CH <N  
3.5小结 !sQ$a#Ea  
参考文献 /=w9bUj5v  
第4章结构光轮廓测量 >y mMQEX`  
4.1概述 Vc.A <(  
4.2基于结构光原理的测量方法 E1IRb':  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 z`qBs  
4.2.2相位测量轮廓术 [t*m$0[:  
4.2.3莫尔测量轮廓术 ;>QED  
4.2.4卷积解调法 F, Y@  
4.2.5调制度测量轮廓术 AFcsbw  
4.3测量系统及其标定 iDt^4=`  
4.3.1结构光三维测量系统 %VOn;_Q*B  
4.3.2系统参数标定 Y:[WwX|  
4.3.3快速标定方法 `*cT79  
4.4位相展开算法 Bj09?#~[  
4.4.1位相展开的基本原理 eZ5UR014  
4.4.2空间位相展开方法 !<H[h4g  
4.4.3时间位相展开方法 A"x1MjuqLM  
4.4.4光栅图像采集与预处理 DE|r~TQ  
4.5测量误差分析 v+U( #"  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 oEbgyT gB  
4.5.2非线性误差矫正方法 .yE!,^j.gB  
4.6小结 j2# nCU54Z  
参考文献 yn<H^c  
第5章亚表面损伤检测 K-IXAdx  
5.1概述 ^8$CpAK]M  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 *( YtO  
5.2.1产生机理 I'2:>44>I6  
5.2.2表征方法 K&0op 4&  
5.3亚表面损伤检测技术 :_JZn`Cab  
5.3.1破坏性检测 vn|u&}h  
5.3.2非破坏性检测 5%"${ywI  
5.4工艺试验 s|Ls  
5.4.1亚表面损伤的测量 %[\: 8  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 kF.!U/C  
5.4.3损伤抑制策略 Tl5K'3  
5.5小结 z!;n\CV@  
参考文献 YW "}hU  
第6章其他测量技术 :bI4HXT3  
6.1移相干涉测量技术 SQ| pH"  
6.2动态干涉测量技术 t1?e$s  
6.3剪切干涉 0l3v>ty  
6.4点衍射干涉  G7 >  
6.5白光干涉测量技术 Ou</{l/  
6.6外差干涉测量技术 '$pT:4EuGq  
6.7补偿法检测非球面 `l@[8H%aw  
6.8计算全息法检测非球面 3{RuR+yi  
参考文献 0cZyO$.  
文摘 ;l> xXSB7$  
$fhrGe  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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