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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 AAqfp/DC 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 ]+b?J0|P< ?2R!n"m-d [attachment=60103] lANi$
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Y]^*mc0fE XfflD9M 目录 Anqt:( 前言 'T(Q 第1章绪论 e&E7_ 1.1概述 LK!sk5/ 1.2光学元件质量评价 |`pBI0Sjo 1.2.1表面质量评价 K:% MhH- 1.2.2亚表面质量评价 @=2u;$. 1.3干涉测量基础知识 '+ mI
1.3.1干涉原理 bSn={O"M 1.3.2典型干涉测量结构 b4EUrSL 第2章子子L径拼接轮廓测量 WncHgz 2.1概述 Y^C(<N$ 2.2圆形子孔径拼接 xFJT&=Af W 2.2.1拼接原理 6)W8H X~+ 2.2.2拼接算法 >rSCf= 2.3环形子孔径拼接 :fnJp9c 2.3.1孔径划分 bKsEXS 2.3.2拼接原理 /reGT!u 2.3.3拼接算法 Q@8(e&{#W 2.4广义子孔径拼接 q(WGvl^r 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 :4x6dYNU 2.4.2计算机模拟 F_i"v5# 2.5子孔径拼接优化算法 \So)g)K 2.5.1调整误差分量及其波像差 3sIdwY)ZS_ 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 E{QjmlXQ< 2.5.3仿真研究 Hyenn 2.6测量系统 *_mER` 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 &;WK=# 2.6.2实验研究 MiKq| 2.7超大口径拼接检测 ^ UhqV"[7k 2.7.1方案设计 ^CM@VmPp 2.7.2拼接算法 B*E"yB\NV 2.8小结 uhnnjI 参考文献 c6=XJvz 第3章接触式轮廓测量 2yD ?f8P4 3.1概述 [6
"5 3.2测量理论基础 N})vrB;1 3.2.1测量原理 @HnahD 3.2.2坐标系和坐标变换 ~p:hqi1+<+ 3.2.3检测路径 Jt0/*^' 3.2.4二次曲面系数研究 M?;YpaSe+ 3.2.5离轴镜测量模型 6i~<,;Cn 3.3测量系统 }sJ}c}b 3.3.1测头系统 @MoCEtt 3.3.2系统设计 &j/,8 Z* 3.4误差分析 ew~uOG+ 3.4.1误差源分类 PR AP~P&^ 3.4.2固有误差 7q 5 \]J[ 3.4.3随机调整误差 uZ@qlq8 3.4.4接触力诱导误差 'vZy-qHrV 3.4.5高阶像差误差分析 EP<{3fy 3.5小结 m*h O@M 参考文献 ^vv1cft 第4章结构光轮廓测量 PI9aKNt 4.1概述 ,`'A"]" 4.2基于结构光原理的测量方法 0,):;OI 4.2.1傅里叶变换轮廓术 +z#+}'mT% 4.2.2相位测量轮廓术 V\Y,4&bI 4.2.3莫尔测量轮廓术 u-bgk(u 4.2.4卷积解调法 :/Z1$xS 4.2.5调制度测量轮廓术 k8SY=HP 4.3测量系统及其标定 #,FXc~ V 4.3.1结构光三维测量系统 &oJ[ *pQ 4.3.2系统参数标定 |oX9SU l 4.3.3快速标定方法 qI
tbY% 4.4位相展开算法 q$s)(D 4.4.1位相展开的基本原理 m]'+Eye ]r 4.4.2空间位相展开方法 Lm.N
{NV' 4.4.3时间位相展开方法 `#r/L@QI 4.4.4光栅图像采集与预处理 n:?a=xY 4.5测量误差分析 9"L!A,&' 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 c=a;<,Rzb 4.5.2非线性误差矫正方法 _{}^]ZB 4.6小结 %m/5!
" 参考文献 U[q3 9FR 第5章亚表面损伤检测 Xi+l 1xe 5.1概述 P!)F1U]!
5.2亚表面损伤产生机理与表征 "]=XB0) 5.2.1产生机理 kFT*So`' 5.2.2表征方法 BvH I}= 5.3亚表面损伤检测技术 P.=Dd"La 5.3.1破坏性检测 p]toDy-} 5.3.2非破坏性检测 '~z`kah 5.4工艺试验 ;2MdvHhz1 5.4.1亚表面损伤的测量 C nD3%% 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 >m=XqtP 5.4.3损伤抑制策略 .%\||1F< 5.5小结 N[DKA1Ei 参考文献 N>g6KgX{K 第6章其他测量技术 _0\wyjjU 6.1移相干涉测量技术 &`-e; Xt 6.2动态干涉测量技术 X)c0y3hk 6.3剪切干涉 b"w2 2% 6.4点衍射干涉 :g-vy9vb 6.5白光干涉测量技术 AvuGAlP 6.6外差干涉测量技术 Iu;VFa 6.7补偿法检测非球面 g( S4i%\ 6.8计算全息法检测非球面 $z5C+K@ 参考文献 mVK^gJ3 文摘 r-[YJzf@P /"R{1
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