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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 KjYDFrR4 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 |nm2Uy/0 O+FBQiv [attachment=60103] a: IwA9!L b42QBTeg 定价:85.00 XnY"oDg^> 优惠价格:63.75 4Hd Si ND*]gM
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UTX](:TC 目录 i4VK{G~g" 前言 [q$e6JwAt 第1章绪论 (nz}J)T& 1.1概述 >0V0i%inmF 1.2光学元件质量评价 ohplj`X[21 1.2.1表面质量评价 4\1;A`2%0 1.2.2亚表面质量评价 4NUNOv`[{ 1.3干涉测量基础知识 d h?dO` 1.3.1干涉原理 bK7.St 1.3.2典型干涉测量结构 TkT-$=i 第2章子子L径拼接轮廓测量 +-P<CCvWz 2.1概述 8t\}c6/3" 2.2圆形子孔径拼接 ?cxr%`E 2.2.1拼接原理 y.ql#eQ, 2.2.2拼接算法 ;^ov~PPl 2.3环形子孔径拼接 >Bx8IO1_\d 2.3.1孔径划分 1RA }aX 2.3.2拼接原理 kjX7- ZPY 2.3.3拼接算法 l
$w/Fz 2.4广义子孔径拼接 .q inR6= 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 Nm"<!a<F 2.4.2计算机模拟 ^$}/|d( 2.5子孔径拼接优化算法 ;q&0,B 2.5.1调整误差分量及其波像差 en%B>]QI 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 EW9b*r7./ 2.5.3仿真研究 , `"K 2.6测量系统 ]|y}\7Aa 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 -%=RFgU4 2.6.2实验研究 e?1KbJ?. 2.7超大口径拼接检测 OA5f} + 2.7.1方案设计 U1kh-8
: 2.7.2拼接算法 lG 8dI\ ` 2.8小结 WP!il(Gr 参考文献 uAT/6@ 第3章接触式轮廓测量 ^Rk^XQCh 3.1概述 yF;?Hg 3.2测量理论基础 _eh3qs: 3.2.1测量原理 HSC6;~U 3.2.2坐标系和坐标变换 -U:2H7 3.2.3检测路径 ?cJA^W 3.2.4二次曲面系数研究 kw#X]`c3 3.2.5离轴镜测量模型 qzHU)Ns(_ 3.3测量系统 ,@479ZvvR3 3.3.1测头系统 u]SZ{[e 3.3.2系统设计 {yU0D*#6 3.4误差分析 W
W35&mI)k 3.4.1误差源分类 kAt
RY4p 3.4.2固有误差 aC}p^Nkr"k 3.4.3随机调整误差 q55M8B 4w 3.4.4接触力诱导误差 UtPwWB_YV 3.4.5高阶像差误差分析 MU*It"@}2 3.5小结 Cg7)S[zl 参考文献 _^-D _y 第4章结构光轮廓测量 eN4t1$ 4.1概述 :U8k|,~f 4.2基于结构光原理的测量方法 CMFC"e Se 4.2.1傅里叶变换轮廓术 SNN#$8\ 4.2.2相位测量轮廓术 G-ZhGbAI7 4.2.3莫尔测量轮廓术 A`g.[7 4.2.4卷积解调法 _V&x`ks 4.2.5调制度测量轮廓术 d#4 Wj0x 4.3测量系统及其标定 !x6IV25 4.3.1结构光三维测量系统 ^t7_3%%w 4.3.2系统参数标定 ys/vI/e\ 4.3.3快速标定方法 $q^O%( 4.4位相展开算法 vU7&'ca 4.4.1位相展开的基本原理 y{?Kao7Ij 4.4.2空间位相展开方法 sc9]sIb 4.4.3时间位相展开方法 Agz=8=S% 4.4.4光栅图像采集与预处理 vLr&ay!w 4.5测量误差分析 DgVyy&7> 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 /K[]B]1NE 4.5.2非线性误差矫正方法 ss*5.(y 4.6小结 Y1|^>C#a 参考文献 URk$}_39 第5章亚表面损伤检测 VYHOk3 5.1概述 fs7~NY 5.2亚表面损伤产生机理与表征 k,AM]H 5.2.1产生机理 ^^7gDgT 5.2.2表征方法 A_aO}oBX 5.3亚表面损伤检测技术 @\+%GDv 5.3.1破坏性检测 f^~2^p
1te 5.3.2非破坏性检测 (&k')ff9K 5.4工艺试验 + 2OZJVJ 5.4.1亚表面损伤的测量 [@x 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 \6U 2-m' 5.4.3损伤抑制策略 4bE42c=Ca7 5.5小结 tD865gi 参考文献 1]HHe*'Z 第6章其他测量技术 ta@ISRK 6.1移相干涉测量技术 3F;EE: 6.2动态干涉测量技术 rYD']%2 6.3剪切干涉 I.UjST 6.4点衍射干涉 Q:kwQg:~ 6.5白光干涉测量技术 0=2H9v 6.6外差干涉测量技术 1xq3RD 6.7补偿法检测非球面 *13g<#$ 6.8计算全息法检测非球面 t`h_+p%> 参考文献 ShsJ_/C2 文摘 YcPKM@xo )8 oEs
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