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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 R7_VXvm>z 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 k1}hIAk3u p2 ! FcFi [attachment=60103] ,=PKd& }Dfwm)]Q 定价:85.00 Tlsa%pn 优惠价格:63.75 erFv(eaDK $G!R,eQ
jRj=Awy Y83GKh,* 目录 lU.Kc 前言 %1}6q`:w 第1章绪论 2qU&l|> 1.1概述 zx%X~U 1.2光学元件质量评价 M$S]}
1.2.1表面质量评价 D"l+iVbBP 1.2.2亚表面质量评价 7@;">`zvm 1.3干涉测量基础知识 <~"lie1 1.3.1干涉原理 Zi
ESlf$ 1.3.2典型干涉测量结构 =/9^,
6Q( 第2章子子L径拼接轮廓测量
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[Y-M 2.1概述 PLR0#).n 2.2圆形子孔径拼接 {1Eu7l-4 2.2.1拼接原理 p]&j;H. 2.2.2拼接算法 jna;0) 2.3环形子孔径拼接 !m y8AWO' 2.3.1孔径划分 *@S@x{{s 2.3.2拼接原理 E4oz|2!m 2.3.3拼接算法
4na8 2.4广义子孔径拼接 L^0v\ 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 8l+H"M&| 2.4.2计算机模拟 p,!$/Q+l 2.5子孔径拼接优化算法 1~yZ T 2.5.1调整误差分量及其波像差 B6M+mx"G 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 q{' ~+Nq 2.5.3仿真研究 "v]%3i.*
- 2.6测量系统 yfj(Q s 2.6.1SSI—300子孔径检测平台
dt,3"J 2.6.2实验研究 6NLW(?]
2.7超大口径拼接检测 HSz"
tN 2.7.1方案设计 2U$"=:Cf 2.7.2拼接算法 LR&_2e^[ 2.8小结 Z S|WnMH 参考文献 ZFn(x*L 第3章接触式轮廓测量 /b[2lTC-e 3.1概述 \vbk#G
hH 3.2测量理论基础 "&o,yd% 3.2.1测量原理 E3l*8F%<3 3.2.2坐标系和坐标变换 E`;;&V q- 3.2.3检测路径 [~mGsXV 3.2.4二次曲面系数研究 *I*i>==Z 3.2.5离轴镜测量模型 MQTdk*L_] 3.3测量系统 q9*MNHg} 3.3.1测头系统 NC"yDWnO' 3.3.2系统设计 "VUYh$=[ 3.4误差分析 LBlN2)\@ 3.4.1误差源分类 :1wrVU-?h 3.4.2固有误差 HEF?mD3h 3.4.3随机调整误差 j;nb?; 3.4.4接触力诱导误差 Ib`-pRU; 3.4.5高阶像差误差分析 Tx>K:`oB 3.5小结 ^Z,q$Gp~P 参考文献 #5ax^p2*~ 第4章结构光轮廓测量 }SfbCa)UO 4.1概述 VG@};dwbz* 4.2基于结构光原理的测量方法 ERMa# L 4.2.1傅里叶变换轮廓术 4gBp8*2 4.2.2相位测量轮廓术 P,xwSvO#M 4.2.3莫尔测量轮廓术 CXaWgxlK:a 4.2.4卷积解调法 JMa3btLy( 4.2.5调制度测量轮廓术 E1V^}dn 4.3测量系统及其标定 Mt>oI SN&d 4.3.1结构光三维测量系统 UE0$ o? 4.3.2系统参数标定 uGH?N 4.3.3快速标定方法 QfpuZEUK 4.4位相展开算法 @cvP0A 4.4.1位相展开的基本原理 t%VDRZo7 4.4.2空间位相展开方法 1T|$BK@) 4.4.3时间位相展开方法 S;\R!%t_ 4.4.4光栅图像采集与预处理 {3\R|tZh,` 4.5测量误差分析 hlbvt-C?}" 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 )0 Z! n 4.5.2非线性误差矫正方法 +OaUP*\Dd 4.6小结 '?5j[:QY@ 参考文献 ODw`E9 第5章亚表面损伤检测 DocbxB={I 5.1概述 p3951-D 5.2亚表面损伤产生机理与表征 eny/
fm 5.2.1产生机理 qa'gM@] 5.2.2表征方法 n{5NNV6 5.3亚表面损伤检测技术 W[''Cc. 5.3.1破坏性检测 IVvtX} 5.3.2非破坏性检测 epD?K 5.4工艺试验 wTq{ sW& 5.4.1亚表面损伤的测量 8F5|EpB9M 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 Rd&9E 5.4.3损伤抑制策略 pHE}ytcT 5.5小结 n%%7KTqu 参考文献 ht97s
第6章其他测量技术 \.{AAj^qD 6.1移相干涉测量技术 IzLF'F 6.2动态干涉测量技术 - xm{&0e) 6.3剪切干涉 q3e8#R)l 6.4点衍射干涉 XVVD 0^ Q 6.5白光干涉测量技术 P87#
CAN 6.6外差干涉测量技术 wD\ZOn_J 6.7补偿法检测非球面 j f~wBmd7 6.8计算全息法检测非球面 sp9W?IJ 6c 参考文献 PH3 >9/H 文摘 e)^j+ l 7N8H)X
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