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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 ] xLb )Z  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 pnA]@FW  
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目录 &CmkNm_B  
前言 >T*g'954xF  
第1章绪论 .@3u3i64'  
1.1概述 FHcqu_;J  
1.2光学元件质量评价 g~H? l3v  
1.2.1表面质量评价 <$ZT]pT  
1.2.2亚表面质量评价 *4^]?Y\*  
1.3干涉测量基础知识 LLHOWD C(2  
1.3.1干涉原理 |M/ \'pOe  
1.3.2典型干涉测量结构 dVt@D&  
第2章子子L径拼接轮廓测量 WAa1H60VkS  
2.1概述 ;_\  
2.2圆形子孔径拼接 h-rj  
2.2.1拼接原理 !>@V#I  
2.2.2拼接算法 Qn3+bF4  
2.3环形子孔径拼接 ~kJpBt7M  
2.3.1孔径划分 I64:-P[\  
2.3.2拼接原理 k Z[yv  
2.3.3拼接算法 Q0; gF?  
2.4广义子孔径拼接 9la~3L_g  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 +,^M{^%  
2.4.2计算机模拟 M)pi)$&c  
2.5子孔径拼接优化算法 6Vzc:8o>  
2.5.1调整误差分量及其波像差 vhEs+ j  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 molowPI  
2.5.3仿真研究 RR[TW;  
2.6测量系统 %R"/`N9R,  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 #R PB;#{  
2.6.2实验研究 zwrZ ^  
2.7超大口径拼接检测 ;k%sKVP  
2.7.1方案设计 a[cH@7W.#  
2.7.2拼接算法 ~JPzjE  
2.8小结 &&S4x  
参考文献 n4&j<zAV{  
第3章接触式轮廓测量 ;f^jB;\<  
3.1概述 S|4/C  
3.2测量理论基础 B@vH1T  
3.2.1测量原理 *AQbXw]w  
3.2.2坐标系和坐标变换 4H? Ma|,  
3.2.3检测路径 )-"L4TC)  
3.2.4二次曲面系数研究 fDHISJv  
3.2.5离轴镜测量模型 )t ch>.EQ_  
3.3测量系统 RX\O'Zwlj  
3.3.1测头系统 p% %Y^=z  
3.3.2系统设计 BmF>IQ`M?  
3.4误差分析 |3@Pt>Ikl  
3.4.1误差源分类 3A}8?  
3.4.2固有误差 jt r=8OiL  
3.4.3随机调整误差 2U+p@}cQUA  
3.4.4接触力诱导误差 r3vj o(  
3.4.5高阶像差误差分析 $rYu4^  
3.5小结 J5IJy3d  
参考文献 -XG$ 0  
第4章结构光轮廓测量 M%^laf  
4.1概述 L/LN X{|  
4.2基于结构光原理的测量方法 J*C*](  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 (UT*T  
4.2.2相位测量轮廓术 ( +hI   
4.2.3莫尔测量轮廓术 M':.b+xN  
4.2.4卷积解调法 deY<+!  
4.2.5调制度测量轮廓术 $*-L8An?  
4.3测量系统及其标定 ClZyQ=UAD  
4.3.1结构光三维测量系统 [E7@W[xr  
4.3.2系统参数标定 FRk_xxe"K  
4.3.3快速标定方法 I>Yp=R  
4.4位相展开算法 97dI4 t<  
4.4.1位相展开的基本原理 'Jr*oru  
4.4.2空间位相展开方法 i}"JCqo2  
4.4.3时间位相展开方法 -- FtFo  
4.4.4光栅图像采集与预处理 qW>J-,61/  
4.5测量误差分析 g(H3arb&  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 OR8o%AxL7  
4.5.2非线性误差矫正方法 C8q-gP[  
4.6小结 rNC3h"i\  
参考文献 4O^1gw  
第5章亚表面损伤检测 LXV6Ew5E  
5.1概述 7~f6j:{|z  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 ,jcp"-5#j  
5.2.1产生机理 $?{zV$r1  
5.2.2表征方法 W%cPX0  
5.3亚表面损伤检测技术 hDMp^^$  
5.3.1破坏性检测 j=S"KVp9NF  
5.3.2非破坏性检测 0pOha(,~  
5.4工艺试验 n #/m7  
5.4.1亚表面损伤的测量 u;g}N'"  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 1<|I[EI  
5.4.3损伤抑制策略 P'~3WL4MKs  
5.5小结 7HFO-r118  
参考文献 X5[sw;rk  
第6章其他测量技术 z\ pT+9&  
6.1移相干涉测量技术 0u\@-np  
6.2动态干涉测量技术 Bx >@HU  
6.3剪切干涉 a$8?0` (  
6.4点衍射干涉 ,u2<()`8D  
6.5白光干涉测量技术 g XMkI$ab  
6.6外差干涉测量技术 yQ50f~9  
6.7补偿法检测非球面 {!h[@f4  
6.8计算全息法检测非球面 heA\6W:u&  
参考文献 cn:VEF:l  
文摘 E}2[P b)e  
0fU>L^P_?  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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