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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 9r=@S 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 pv*u[ffi 4^vEMq8lB [attachment=60103] (~}IoQp> 3qU#Rg
;7 定价:85.00 6KC.l}Y* 优惠价格:63.75 :fz&)e9 <cm,U)j2
I)Y ^_&= d~@&*1} 目录 &m2FEQLj 前言 1CK}XLdr 第1章绪论 EEFM1asJf 1.1概述 .|`JS?L[ 1.2光学元件质量评价 +>mbBu!7 1.2.1表面质量评价 fQ c%a1' 1.2.2亚表面质量评价 m?bd6'&FR 1.3干涉测量基础知识 I:l<t* 1.3.1干涉原理 nTxeV% 1.3.2典型干涉测量结构 l]D?S]{a 第2章子子L径拼接轮廓测量 8?#4<4Ql8 2.1概述 .O!JI"? 2.2圆形子孔径拼接 q8%T)$! 2.2.1拼接原理 Lt>"R! "x 2.2.2拼接算法 6U[`CGL66 2.3环形子孔径拼接 /.{4
KW5 2.3.1孔径划分 h.CbOI%Q 2.3.2拼接原理 9a}rE 2.3.3拼接算法 ??eSGQ| 2.4广义子孔径拼接 Im7<\ b@ 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 eaLSq 2.4.2计算机模拟 Ks
8 2.5子孔径拼接优化算法 6)63Yp( 2.5.1调整误差分量及其波像差 >PdYQDyVS 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 C-!!1-Eq?: 2.5.3仿真研究 L&V;Xvbu% 2.6测量系统 %
C~2k? 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 s%F}4W2s 2.6.2实验研究 NH&/= 2.7超大口径拼接检测 vf6_oX<Os 2.7.1方案设计 eX7dyM 2.7.2拼接算法 V|GH4DT= 2.8小结 R~OameRR 参考文献 g-`HKoKe 第3章接触式轮廓测量 faQ}J%a 3.1概述 j\l9|vpp 3.2测量理论基础 V5w00s5?% 3.2.1测量原理 K%AbM#o< 3.2.2坐标系和坐标变换 7PQ03dtfg 3.2.3检测路径 R
gY-fc0 3.2.4二次曲面系数研究 gB/4ro8 3.2.5离轴镜测量模型 k"_i7 3.3测量系统 On
x[}x 3.3.1测头系统 umPd+5i 3.3.2系统设计 a@(4X/| 3.4误差分析 O[ tD7!1 3.4.1误差源分类 X"_,#3Ko! 3.4.2固有误差 _BGw)Z 6 3.4.3随机调整误差 Co[fq3iX# 3.4.4接触力诱导误差
*Ju$A 3.4.5高阶像差误差分析 2R9AYI 3.5小结 ]D(!ua5|x` 参考文献 thG;~W 第4章结构光轮廓测量 t^eWFX 4.1概述 wdS4iQD 4.2基于结构光原理的测量方法 lAjP'( 4.2.1傅里叶变换轮廓术 Qtj.@CGB 4.2.2相位测量轮廓术 {Up@\M 4.2.3莫尔测量轮廓术 l2&cwjc 4.2.4卷积解调法 I5EKS0MQ! 4.2.5调制度测量轮廓术 7ux0|l 4.3测量系统及其标定 -|E|-' 4.3.1结构光三维测量系统 /ZC/yGdIS_ 4.3.2系统参数标定 [O)(0 4.3.3快速标定方法 &'%b1CbE 4.4位相展开算法 p4l^b[p 4.4.1位相展开的基本原理 OZ{YQ}t{^1 4.4.2空间位相展开方法 JjBG9Rp{ 4.4.3时间位相展开方法 u!kC+0Y 4.4.4光栅图像采集与预处理 B~S"1EE[ 4.5测量误差分析 +?"N5%a%F 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 ;. jnRPo"; 4.5.2非线性误差矫正方法 \HR<^xY 4.6小结 PL+r*M%ll 参考文献 XLwmXi 第5章亚表面损伤检测 b6KO_s:'g 5.1概述 3FWl_d~uD 5.2亚表面损伤产生机理与表征 1Z9_sd~/6 5.2.1产生机理 uZ[7[mK}n7 5.2.2表征方法 TL^af- 5.3亚表面损伤检测技术 xd[GJ;xvs 5.3.1破坏性检测 6T3uv,2 5.3.2非破坏性检测 ,'=Tf=wq 5.4工艺试验 ly,3,ok 5.4.1亚表面损伤的测量 : ?K}.Kb 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 4sU*UePr 5.4.3损伤抑制策略 DeqTr: 5.5小结 }^T7S2_Qy 参考文献 \}CQo0v 第6章其他测量技术 Xx.4K>j+j 6.1移相干涉测量技术 ^ ]nnvvp 6.2动态干涉测量技术 eK<X7m^ 6.3剪切干涉 |jh&a+4W 6.4点衍射干涉 H{XbKLU 6.5白光干涉测量技术 F.9SyB$ 6.6外差干涉测量技术 ZkbaUIQ 6.7补偿法检测非球面 4<`Qyul- 6.8计算全息法检测非球面 h8R3N?S3# 参考文献 3Z,J&d`[ 文摘 uJBs 3X . X(^E
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