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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 y7$iOR 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 lm xr oHE kRTwaNDOD [attachment=60103] oA =4=` %ix)8+Eb 定价:85.00 $T`<Qq-r 优惠价格:63.75 1e>s{ NDs!a
$P(v{W) &/uu)v 目录 IZ=Mlu 前言 /qx0TDB 第1章绪论 v|Yh w 1.1概述 EvWzq%z
l 1.2光学元件质量评价 YQpSlCCo
3 1.2.1表面质量评价 P#_sg0oJF 1.2.2亚表面质量评价 lNL6M%e$Q 1.3干涉测量基础知识 F8uNL)gKj) 1.3.1干涉原理 ` bdZ/*E 1.3.2典型干涉测量结构 "v` 第2章子子L径拼接轮廓测量 e?Ho a$k 2.1概述 EC\yzH*X 2.2圆形子孔径拼接 >j'ZPwj^ 2.2.1拼接原理 )QG<f{wS 2.2.2拼接算法 }yJ$SR]t 2.3环形子孔径拼接 V\{tmDE 2.3.1孔径划分 w^#L9i'v' 2.3.2拼接原理 |6(ZD^w 2.3.3拼接算法 RgGyoZ 2.4广义子孔径拼接 qqu.EE 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 o.'g]Q<}UB 2.4.2计算机模拟 * 0|IXGr 2.5子孔径拼接优化算法 .>mr%#p 2.5.1调整误差分量及其波像差 jWY$5Vq<H 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 Ma\Gb+> 2.5.3仿真研究 7yx$Nn`( 2.6测量系统 Cf:#(D 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 ]\xy\\b/` 2.6.2实验研究 OI?K/rn 2.7超大口径拼接检测 A5H3%o(6k 2.7.1方案设计 h?f>X"*|( 2.7.2拼接算法 n':! ,a[ 2.8小结 GQl$yZaK{ 参考文献 DF
g,Xa# 第3章接触式轮廓测量 %<\6TZr 3.1概述 ?qX)ihe%k 3.2测量理论基础 0q*r 3.2.1测量原理 1|?05<8 3.2.2坐标系和坐标变换 PmR~c, 3.2.3检测路径 w,Lvt
} 3.2.4二次曲面系数研究 V %_4% 3.2.5离轴镜测量模型 Hw|AA?,0- 3.3测量系统 ~\cO"(y5:O 3.3.1测头系统 :UbM ! 3.3.2系统设计 @0eHS+ 3.4误差分析 H{AMZyV0/d 3.4.1误差源分类 LS5vW|]w 3.4.2固有误差 XgxX.`H7 3.4.3随机调整误差 `D":Q=: 3.4.4接触力诱导误差 Mze;k3 3.4.5高阶像差误差分析 ncX/L[L 3.5小结 (__yh^h:m 参考文献 $rhgzpZ!X_ 第4章结构光轮廓测量 sT/c_^y 4.1概述 <n:}kQTT 4.2基于结构光原理的测量方法 Kv@eI$t5 4.2.1傅里叶变换轮廓术 L3p` 4.2.2相位测量轮廓术 DEw8*MN 4.2.3莫尔测量轮廓术 'Vr$MaO 4.2.4卷积解调法 ; h`0ir4[A 4.2.5调制度测量轮廓术 }HG#s4 4.3测量系统及其标定 ,j?.4{rHJ 4.3.1结构光三维测量系统 2o9$4{}rG 4.3.2系统参数标定 WH$e2[+Y 4.3.3快速标定方法 ZKz,|+X0G 4.4位相展开算法 r,]#b[:.s| 4.4.1位相展开的基本原理 1Fe^Qb5G 4.4.2空间位相展开方法 Y9=(zOqv 4.4.3时间位相展开方法 P1U*g! 4.4.4光栅图像采集与预处理 rFZrYm 4.5测量误差分析 k;EPpr-{ 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 J j=; 4.5.2非线性误差矫正方法 8$c bVMjh 4.6小结 `T2$4 >! 参考文献 `' 153M] 第5章亚表面损伤检测 W{5:'9, 5.1概述 H3H_u4_?SE 5.2亚表面损伤产生机理与表征 MzYavg` 5.2.1产生机理 ,=~z6[ 5.2.2表征方法 $fpq
3 5.3亚表面损伤检测技术 M0'
a9.d 5.3.1破坏性检测 jhGlG-^ 5.3.2非破坏性检测 IhiGP
{ 5.4工艺试验 +"ueq 5.4.1亚表面损伤的测量 vNW jH!' 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 Dw2Q 'E 5.4.3损伤抑制策略 /_\#zC[ 5.5小结 >|o_wO 参考文献 T%F0B` 第6章其他测量技术 >m'x8xB= 6.1移相干涉测量技术 +-a&2J;J' 6.2动态干涉测量技术 :+%Zh@u\ 6.3剪切干涉 gFPi7 o1 6.4点衍射干涉 t0#[#I1+ 6.5白光干涉测量技术 U{ ;l0 2S 6.6外差干涉测量技术 Ao7 `G': 6.7补偿法检测非球面 MqKye8h9f 6.8计算全息法检测非球面 C*I(|.i@ 参考文献 XTeb9h)3 文摘 .A1\J@b Bd3~E bFL
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