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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 @@M
2s( 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 g1UP/hNJ\8 V i V3Y [attachment=60103] @z[,w` @i U@JE`C 定价:85.00 YMb\v4 优惠价格:63.75 rl"$6{Z} MEf`&<t
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e 目录 GgwO>[T 前言 {}RE;5n\[' 第1章绪论 :s DE'o 1.1概述 E{'{fo!#) 1.2光学元件质量评价 LhO%^`vu 1.2.1表面质量评价 D+.<
kY. 1.2.2亚表面质量评价 7L)edR[ 1.3干涉测量基础知识 _$g6Mj]1z 1.3.1干涉原理 uyZ 1.3.2典型干涉测量结构 T%zCAfx m 第2章子子L径拼接轮廓测量 )lh48Ag0t; 2.1概述 bS7rG$n [ 2.2圆形子孔径拼接
0N9`WK 2.2.1拼接原理 P&I%!'<
2.2.2拼接算法 PxE 0b0eo 2.3环形子孔径拼接 DO6Tz-%o 2.3.1孔径划分 JWQd/ 2.3.2拼接原理 !'scOWWn 2.3.3拼接算法 PW7{,1te, 2.4广义子孔径拼接 r?Q`b2Q 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 ,6TF]6: 2.4.2计算机模拟 $$'a 2.5子孔径拼接优化算法 gJ;jh7e@ 2.5.1调整误差分量及其波像差 tf<}%4G 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 dAg<BK/ 2.5.3仿真研究 }Rl^7h<! 2.6测量系统 GY% ^!r 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 [=/Yo1:v 2.6.2实验研究 bT93R8yp 2.7超大口径拼接检测 Z8mSm[w 2.7.1方案设计
P}kBqMM 2.7.2拼接算法 DpA"5RV 2.8小结 9rD6."G 参考文献 8d4:8} 第3章接触式轮廓测量 zt,Tda4Y 3.1概述 <=O/_Iu( 3.2测量理论基础 itotn!Wb` 3.2.1测量原理 <;eXbO>Q 3.2.2坐标系和坐标变换 4H
4W 3.2.3检测路径 n{Ce%gy 3.2.4二次曲面系数研究 s0D,n1x 3.2.5离轴镜测量模型 ppYIVI 3.3测量系统 Ebk9[= 3.3.1测头系统 y&A0}>a:d 3.3.2系统设计 A8|DB@Bi 3.4误差分析 MawWgd* 3.4.1误差源分类 [- Xz: 3.4.2固有误差 Wb)>APL 3.4.3随机调整误差 [l`_2{: 3.4.4接触力诱导误差 $RASpM 3.4.5高阶像差误差分析 rHSA5.[1P 3.5小结 _U
Q|I|V# 参考文献
WRdBL5 第4章结构光轮廓测量 N"',
4.1概述 5Yxs_t4 4.2基于结构光原理的测量方法 owR`Z`^h) 4.2.1傅里叶变换轮廓术 D6Q6yNE 4.2.2相位测量轮廓术 lhk=yVG3 4.2.3莫尔测量轮廓术 @Yzdq\FI 4.2.4卷积解调法 dx., 4.2.5调制度测量轮廓术 ?v5OUmFM 4.3测量系统及其标定 n PAl8 4.3.1结构光三维测量系统 6cQ)*,Q 4.3.2系统参数标定 $4Vp l 4.3.3快速标定方法 A vh"(j 4.4位相展开算法 [\_#n5 4.4.1位相展开的基本原理 JXhHitUD 4.4.2空间位相展开方法 [c`u 4.4.3时间位相展开方法 'c[|\M!u 4.4.4光栅图像采集与预处理 GS*Mv{JJ 4.5测量误差分析 %)t9b@c!} 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 jsp)e= 4.5.2非线性误差矫正方法 O,D/&0 4.6小结 g %ZKn 参考文献 G=VbEL^H 第5章亚表面损伤检测 AcoU.tpP 5.1概述 W]TO%x{ 5.2亚表面损伤产生机理与表征 )8,) &F 5.2.1产生机理 TXH9BlDn 5.2.2表征方法 n1E^8[~' 5.3亚表面损伤检测技术 ~#]$YoQ&O 5.3.1破坏性检测 VX'cFqrK3 5.3.2非破坏性检测 q8=hUD%5C 5.4工艺试验 I\y=uC 5.4.1亚表面损伤的测量 ?|$IZ9 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 gK%^}xU+
5.4.3损伤抑制策略 5H{dLZ], 5.5小结 ^Gt9. 参考文献 +G.F' 第6章其他测量技术 kv8
/UW 6.1移相干涉测量技术 =rL^^MZp 6.2动态干涉测量技术 _v\L'`bif 6.3剪切干涉 '#*5jn]CqB 6.4点衍射干涉 BKJwM'~ 6.5白光干涉测量技术 gX'nFGqud 6.6外差干涉测量技术 .29y3}[PO 6.7补偿法检测非球面 ",Ge:\TR= 6.8计算全息法检测非球面 4k6,pt" 参考文献 lYq/
n&@_1 文摘 Vmb `%k20' S!J wF&EW
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