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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 E3IB> f 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 BEn,py7 )2
E7>SQc~ [attachment=60103] ]xhZJ~"@u N_AAh D 定价:85.00 \*5`@>_ 优惠价格:63.75 tPDd~fOk bUR;d78
;MD6iBD {(o$? = 目录 |8xu*dVAp4 前言 ][Ne;F6 第1章绪论 OMaG*fb= 1.1概述 AF-4b*oB 1.2光学元件质量评价
{*EA5; 1.2.1表面质量评价 ZbS*zKEW 1.2.2亚表面质量评价 ko-:)z 1.3干涉测量基础知识 E_t ^osY& 1.3.1干涉原理 :Taequk 1.3.2典型干涉测量结构 |7
.WP; 1 第2章子子L径拼接轮廓测量 ~0S_S +e 2.1概述 KW&5&~)2 2.2圆形子孔径拼接 XJ\j0 2.2.1拼接原理 gQXB=ywF 2.2.2拼接算法 51:NL[[6 2.3环形子孔径拼接 \\\%pBT7]\ 2.3.1孔径划分 ~_XJ v 2.3.2拼接原理 Knd2s~S 2.3.3拼接算法 K,pQ11J 2.4广义子孔径拼接 Fu@2gd 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 R?,O h* 2.4.2计算机模拟 DB1F_! 9 2.5子孔径拼接优化算法 HzdtR 2.5.1调整误差分量及其波像差 "RZVv~BD 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 'IR2H{Q 2.5.3仿真研究 N~<H` 2.6测量系统 x>Hg.%/c[ 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 V/
a!&_"" 2.6.2实验研究 LV$@J 2.7超大口径拼接检测 6xLLIby, 2.7.1方案设计 !nPwRK> 2.7.2拼接算法 Oy>V/ 2.8小结 XeGtge/}T 参考文献 gO{XD.s 第3章接触式轮廓测量 5e> <i 3.1概述 }3{ x G+, 3.2测量理论基础 v/\in'H~ 3.2.1测量原理 ^U[c:Rz 3.2.2坐标系和坐标变换 eiiI Wr_7 3.2.3检测路径 !KYX\HRW 3.2.4二次曲面系数研究
Fo$kD( 3.2.5离轴镜测量模型 VeLuL:4I 3.3测量系统 xy/B<.M1 3.3.1测头系统 wOhiC$E46 3.3.2系统设计 :E$<!q 3.4误差分析 "JHdF& 3.4.1误差源分类 w_O3]; 3.4.2固有误差 'a}<|Et. 3.4.3随机调整误差 r`t|}m 3.4.4接触力诱导误差 vMDX 3.4.5高阶像差误差分析 _trF /U< 3.5小结 ,5tW|=0@ 参考文献 L=Pz0 第4章结构光轮廓测量 y@\R$`0J 4.1概述 p2(U'x
c 4.2基于结构光原理的测量方法 .BaU}-5 4.2.1傅里叶变换轮廓术 ,};UD
W 4.2.2相位测量轮廓术 #osP"~{
4.2.3莫尔测量轮廓术 yA74Rxl*6 4.2.4卷积解调法 &mG1V 4.2.5调制度测量轮廓术 1WArgR 4.3测量系统及其标定 ?9F_E+! 4.3.1结构光三维测量系统 `^mPq?f 4.3.2系统参数标定 =\t%U5 4.3.3快速标定方法 |H.i$8_A 4.4位相展开算法 zvzS$Gpe 4.4.1位相展开的基本原理 -AJ$-y 4.4.2空间位相展开方法 @|N'V"*MT 4.4.3时间位相展开方法 R:Pw@ 4.4.4光栅图像采集与预处理 LF2@qv w D 4.5测量误差分析 k|Xxr 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 r)9&'m .: 4.5.2非线性误差矫正方法 +{qX, 4.6小结 ,3m]jp' 参考文献 %syFHUBw 第5章亚表面损伤检测
PT`];C(he 5.1概述 >u6*P{;\ 5.2亚表面损伤产生机理与表征 p "J^ 5.2.1产生机理 Sqc
r
- 5.2.2表征方法 x]1G u 5.3亚表面损伤检测技术 ,-4SVj8$P 5.3.1破坏性检测 o@p(8=x 5.3.2非破坏性检测 lphELPh 5.4工艺试验 pl-2O $ 5.4.1亚表面损伤的测量 mnZS](> 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 \[nvdvJv 5.4.3损伤抑制策略 y<53xZi 5.5小结 HQpw2bdy 参考文献 AU3Ou5 第6章其他测量技术 #/UlW 6.1移相干涉测量技术 R(i2TAaaU 6.2动态干涉测量技术 Ql%0%naq1 6.3剪切干涉 xh7[{n[; 6.4点衍射干涉 u-31$z<<5} 6.5白光干涉测量技术 |GDf<\ 6.6外差干涉测量技术 -T
s8y 6.7补偿法检测非球面 (c'=jJX 6.8计算全息法检测非球面 `u. /2]n 参考文献 rO_|_nV[ 文摘
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