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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 .\Ul!&y 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 sfyBw 7AI3|Ts]p [attachment=60103] ``+c`F?5 P`p6J8}4 定价:85.00 %)8d{1at 优惠价格:63.75 m dC`W&r sS-W~u|C
y+?=E g CdDH1[J 目录 M8\G>0Hc6 前言 HmhUc,EC 第1章绪论 c/b%T 1.1概述 5.O-(eSa0& 1.2光学元件质量评价 mPckf 1.2.1表面质量评价 &}>|5>cJu 1.2.2亚表面质量评价 tB
GkRd! 1.3干涉测量基础知识 Yr5iZ~V$ 1.3.1干涉原理 SrdE>fNbs 1.3.2典型干涉测量结构 hN& yc 第2章子子L径拼接轮廓测量 y>@v>S 2.1概述 r4 9UJE 2.2圆形子孔径拼接 4Y`! bT` 2.2.1拼接原理 2IKxh 2.2.2拼接算法 *Hxj_ 2.3环形子孔径拼接 2_Pz^L 2.3.1孔径划分 fB _4f{E 2.3.2拼接原理 BO8%:/37[4 2.3.3拼接算法 M_qP!+Y 2.4广义子孔径拼接 =]!8:I?C< 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 uG2Xkj 2.4.2计算机模拟 -"2 <h:# 2.5子孔径拼接优化算法 kSLSxfR 2.5.1调整误差分量及其波像差 ]&&I|K_ 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 8dr0 DF$c 2.5.3仿真研究 X
QI.0L" 2.6测量系统 ,@}W@GGP) 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 p^p'/$<6_ 2.6.2实验研究 Coga-: 2vu 2.7超大口径拼接检测 2.^7?ok 2.7.1方案设计 3js)niT9u 2.7.2拼接算法 OI'uH$y 2.8小结 bq c;.4$ 参考文献 Bx\#`Y 第3章接触式轮廓测量 :X3rd|;kc 3.1概述 4aj[5fhb- 3.2测量理论基础 2v"wWap-+ 3.2.1测量原理 r$b:1 C~ 3.2.2坐标系和坐标变换 O4lxeiRgC 3.2.3检测路径 1i5 vW- '4 3.2.4二次曲面系数研究 d [\>'> 3.2.5离轴镜测量模型 B$K7L'e+- 3.3测量系统 mJwv&E 3.3.1测头系统 2AdX)iF@ 3.3.2系统设计 @#bBs9@gv 3.4误差分析 w:m'uB%W 3.4.1误差源分类 {Uik| 3.4.2固有误差 >g5T;NgH9 3.4.3随机调整误差 0-8ELX[# 3.4.4接触力诱导误差 $=\oJ-(!@S 3.4.5高阶像差误差分析 2&^,IIp 3.5小结 (Q}PeKM?jq 参考文献 ]3gYuz| 第4章结构光轮廓测量 )OARO 4.1概述 / e~ 4.2基于结构光原理的测量方法 `77;MGg* 4.2.1傅里叶变换轮廓术 S#dyRTmI 4.2.2相位测量轮廓术 !1ie:z>s 4.2.3莫尔测量轮廓术 tEi@p;Z> 4.2.4卷积解调法 !mw{T D 4.2.5调制度测量轮廓术 1G e)p4 4.3测量系统及其标定 =2ATqb"$w 4.3.1结构光三维测量系统 NTpz)R 4.3.2系统参数标定 r?Ev.m 4.3.3快速标定方法 !nP8ysB 4.4位相展开算法 #Z2>TN 4.4.1位相展开的基本原理 ]pM5?^<~ 4.4.2空间位相展开方法 kw*Cr/'* 4.4.3时间位相展开方法 #Pe\Z/ 4.4.4光栅图像采集与预处理 4aIlzaA 4.5测量误差分析 ?X8K$g 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 M]8eW 4.5.2非线性误差矫正方法 Q%gY.n{= 4.6小结 hEdo,gF* 参考文献 4YU 1Kr4 第5章亚表面损伤检测 F1Zk9%L%9$ 5.1概述 h=p-0 Mx . 5.2亚表面损伤产生机理与表征 U 8qKD 5.2.1产生机理 MkluK=$ 5.2.2表征方法 ;-<<1Jz/2 5.3亚表面损伤检测技术 Sgjr4axu 5.3.1破坏性检测 D_,_.C~O 5.3.2非破坏性检测 N#2nH1C 5.4工艺试验 e+]YCp[( 5.4.1亚表面损伤的测量 (rY1O:*S 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 ;GSfN 5.4.3损伤抑制策略 +v `^_ 5.5小结 [nhLhl4S 参考文献 E|8s2t 第6章其他测量技术 Bv
|jo&0n 6.1移相干涉测量技术 kBDe*K.V 6.2动态干涉测量技术 |Ls&~'ik 6.3剪切干涉 egIS rmL+X 6.4点衍射干涉 5
\.TZMB 6.5白光干涉测量技术 j*3sjOoC 6.6外差干涉测量技术 lHj7O&+ 6.7补偿法检测非球面 Wb}0-U{S' 6.8计算全息法检测非球面 OFPd6,(E 参考文献 b`;b}ug 文摘 h} b^o* 6|(7G64{
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