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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 S 8h/AW6l 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 u`K+0^)T` 4d9iAN [attachment=60103] `%F.]|Y0 >y%$]0F1 定价:85.00 /gXli) 优惠价格:63.75 o&gcFOM22 j:$2,?|5
5GT,:0 GeZwbJ/?B 目录 yIqsZJj 前言 Z4bN|\I 第1章绪论 1OE^pxfi> 1.1概述 $U"/.Mh\ 1.2光学元件质量评价 :3{@LOil^ 1.2.1表面质量评价 =@V4V} ? 1.2.2亚表面质量评价 y|iZuHS} 1.3干涉测量基础知识 %|oY8;0|A> 1.3.1干涉原理 tkV:kh< L~ 1.3.2典型干涉测量结构 \f0I:%- 第2章子子L径拼接轮廓测量 8~\Fpz|Og 2.1概述 8r)eiERv 2.2圆形子孔径拼接 C6CX{IA] 2.2.1拼接原理 DQH _@-q 2.2.2拼接算法 [$9 sr=3: 2.3环形子孔径拼接 SM![ yC 2.3.1孔径划分 Af
^6 2.3.2拼接原理 {Am\%v\ 2.3.3拼接算法 2P@>H_JFF 2.4广义子孔径拼接 bHWy9 - 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 ~ $!eB/6ty 2.4.2计算机模拟 _N9yC\ 2.5子孔径拼接优化算法 oQWS$\Rr. 2.5.1调整误差分量及其波像差 fZxZ):7i 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 !z58,hv 2.5.3仿真研究 7:{4'Wr@6| 2.6测量系统 T?^AllUZQR 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 aSXoYG0\ 2.6.2实验研究 q;tsA"l 2.7超大口径拼接检测 /2Y
Nu*v 2.7.1方案设计 >sPu*8D40a 2.7.2拼接算法 .l !:|Fd 2.8小结 k$k(g 参考文献 )0fQ(3oOg 第3章接触式轮廓测量 k[y{&f, 3.1概述 -H'_%~OV( 3.2测量理论基础 zUIh8cAoE 3.2.1测量原理 J
Y %B: 3.2.2坐标系和坐标变换 7b:oz3 ?PI 3.2.3检测路径 L.l%EcW=, 3.2.4二次曲面系数研究 #e+%;5\ 3.2.5离轴镜测量模型 >xJt&jW- 3.3测量系统 a%*W^R9Ls 3.3.1测头系统 @\u)k 3.3.2系统设计 ' OdZ[AN 3.4误差分析 Y?ZTl762 3.4.1误差源分类 roj/GZAy" 3.4.2固有误差 ^X[Kr=:Jp 3.4.3随机调整误差 ;=*b:y Y 3.4.4接触力诱导误差 ;7tOFsV 3.4.5高阶像差误差分析 #}:VZ2Z 3.5小结 .y+>-[j?B 参考文献 B~u{LvTE 第4章结构光轮廓测量 1fViW^l_ 4.1概述 JWlH(-U4| 4.2基于结构光原理的测量方法 >`'#4!}G5j 4.2.1傅里叶变换轮廓术 iDp]lu 4.2.2相位测量轮廓术 pb_mW;JVu 4.2.3莫尔测量轮廓术 K]N^6ome 4.2.4卷积解调法 hSp[BsF`, 4.2.5调制度测量轮廓术 Dn<2.!ZKQ 4.3测量系统及其标定 "*kWM 4.3.1结构光三维测量系统 |KplbU0iC 4.3.2系统参数标定
2Z7smDJ 4.3.3快速标定方法 u?Iop/b 4.4位相展开算法 08yTTt76t 4.4.1位相展开的基本原理 C.%iQx`
4.4.2空间位相展开方法 @UkcvhH 4.4.3时间位相展开方法 _+z@Qn?#6h 4.4.4光栅图像采集与预处理 V<:kS 4.5测量误差分析 { tim{nV 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 g]X4)e] 4.5.2非线性误差矫正方法 }I#;~|v~< 4.6小结 i3rvDch
参考文献 0*B_$E06 第5章亚表面损伤检测 1nBE8
N 5.1概述 @l$cZie 5.2亚表面损伤产生机理与表征 fnL!@WF 5.2.1产生机理 K&D
-1u 5.2.2表征方法
&,{cm^* 5.3亚表面损伤检测技术 x%vt$dy*8 5.3.1破坏性检测 k-b_
<Tbo| 5.3.2非破坏性检测 0N_Ma')i 5.4工艺试验 VqVP5nT'= 5.4.1亚表面损伤的测量 s-*8= 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 -
Kj$A@~x 5.4.3损伤抑制策略 0O!%NL[, 5.5小结 eZI&d;i 参考文献 <4rF3 aB- 第6章其他测量技术 E88_15'3D 6.1移相干涉测量技术 qGl+KI 6.2动态干涉测量技术 <IK8Ucp 6.3剪切干涉 8
E.u3eS 6.4点衍射干涉 O`OntYwa> 6.5白光干涉测量技术 YpL{c* M 6.6外差干涉测量技术 N%_-5Q)so 6.7补偿法检测非球面 o+/x8:
6.8计算全息法检测非球面 _S2QY7/ 参考文献 >6r&VZu*n 文摘 Pt";f sBZKf8 @/
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