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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 ~6\& y  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 pCz@(:0  
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目录 .WBI%ci  
前言 N>Vacc_[  
第1章绪论 e$ThSh\+(  
1.1概述 ){+.8KI  
1.2光学元件质量评价 W`w5jk'0^=  
1.2.1表面质量评价 i_[^s:*T  
1.2.2亚表面质量评价 HyZVr2  
1.3干涉测量基础知识 }pbBo2  
1.3.1干涉原理 T@%;0Ro~  
1.3.2典型干涉测量结构 q"{Up  
第2章子子L径拼接轮廓测量 Pd)K^;em  
2.1概述 sKe9at^E]>  
2.2圆形子孔径拼接 _8,vk-,'  
2.2.1拼接原理 fO[Rf_  
2.2.2拼接算法 6{b%Jfo  
2.3环形子孔径拼接 -}=@ *See#  
2.3.1孔径划分 #citwMW  
2.3.2拼接原理 * i=?0M4S  
2.3.3拼接算法 "z^BKb5  
2.4广义子孔径拼接 _F}IF9{?G  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 ):/<H  
2.4.2计算机模拟 3~cS}N T  
2.5子孔径拼接优化算法 :5TXA  
2.5.1调整误差分量及其波像差 z*Myokhf  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 >k$[hk*~  
2.5.3仿真研究 ?l)}E  
2.6测量系统 C1ZFA![  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 hEyX~f  
2.6.2实验研究 R=][>\7]}  
2.7超大口径拼接检测 )![f\!'PI  
2.7.1方案设计 N+Q(V*:3v  
2.7.2拼接算法 {B'Gm]4  
2.8小结 ^q4l4)8jX  
参考文献 ZTQ$Ol+{ q  
第3章接触式轮廓测量 "i!2=A8k  
3.1概述 Gk{ "O%AE  
3.2测量理论基础 ^ I{R[O'8  
3.2.1测量原理 M!xm1-,[  
3.2.2坐标系和坐标变换 OhSt6&+  
3.2.3检测路径 4f@havFIJ  
3.2.4二次曲面系数研究 u\Nw:Uu i  
3.2.5离轴镜测量模型 9pVf2|5hj  
3.3测量系统 fl pXVtsQ  
3.3.1测头系统 x?k  
3.3.2系统设计 q3,P|&T  
3.4误差分析 5~`|)~FA  
3.4.1误差源分类 +XU$GSw3(  
3.4.2固有误差 RT.wTJS;  
3.4.3随机调整误差 '_TJ"lOZ  
3.4.4接触力诱导误差 {f@xA  
3.4.5高阶像差误差分析 d&[M8(  
3.5小结 ;[WSf{k  
参考文献 OH-~  
第4章结构光轮廓测量 S7Iu?R_I  
4.1概述 g(@$uJ  
4.2基于结构光原理的测量方法 [[*0MA2Y  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 Ux%\Y.PPI  
4.2.2相位测量轮廓术 bMK#^ZoH  
4.2.3莫尔测量轮廓术 Lyf? V(S  
4.2.4卷积解调法 ;qMnO_ E  
4.2.5调制度测量轮廓术 VurP1@e&  
4.3测量系统及其标定 >,] eL  
4.3.1结构光三维测量系统 yZj}EBa  
4.3.2系统参数标定 +eV4g2w)  
4.3.3快速标定方法 g|GvJ)VX  
4.4位相展开算法 w]o:c(x@  
4.4.1位相展开的基本原理 H}jK3;8E  
4.4.2空间位相展开方法 %U=S6<lbj;  
4.4.3时间位相展开方法 r2E>sHw  
4.4.4光栅图像采集与预处理 dCoi>PO  
4.5测量误差分析 RAD4q"}k  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 a.Rp#}f  
4.5.2非线性误差矫正方法 ZZ]OR;8  
4.6小结 yVmtsQ-}a  
参考文献 OIXAjU*N  
第5章亚表面损伤检测 m>Z\ rqOK  
5.1概述 !7Yt`l$$z  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 0bnVIG2q  
5.2.1产生机理 LAK-!!0X  
5.2.2表征方法 <u x*r#a!d  
5.3亚表面损伤检测技术 UuOLv;v  
5.3.1破坏性检测 ard3yNQt  
5.3.2非破坏性检测 Vtz yB  
5.4工艺试验 9GtVI^]  
5.4.1亚表面损伤的测量 (8@h F#N1  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 {g!exbVf  
5.4.3损伤抑制策略 ! 6p)t[s  
5.5小结 :~0^ib<v;  
参考文献 >F\rBc&  
第6章其他测量技术 A&}nRP9  
6.1移相干涉测量技术 njwR~aL`|  
6.2动态干涉测量技术 vS J<  
6.3剪切干涉 ^qId]s  
6.4点衍射干涉 D|Ihe%w-  
6.5白光干涉测量技术 rmg";(I  
6.6外差干涉测量技术 PGv}fEH"  
6.7补偿法检测非球面  Z@.ol Y  
6.8计算全息法检测非球面 %)6 :eIS  
参考文献 }eDX8b8emA  
文摘 wzQdKlV  
xV n]m9i  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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