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cyqdesign 2014-11-27 17:42

精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 tbXl5x0  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 {)n@Rq\=v  
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目录 YB1Jv[  
前言 Vq599M:)V  
第1章绪论 2YQ;Kh"S   
1.1概述 `>- 56 %  
1.2光学元件质量评价 PjP6^"  
1.2.1表面质量评价 `x`zv1U  
1.2.2亚表面质量评价 -asjBSo*D  
1.3干涉测量基础知识 2f0mr?l)N  
1.3.1干涉原理 )UtK9;@"  
1.3.2典型干涉测量结构 if?X^j0  
第2章子子L径拼接轮廓测量 ZPG~@lU  
2.1概述 TkR#Kzv380  
2.2圆形子孔径拼接 QM'|k6  
2.2.1拼接原理 Px3I+VP  
2.2.2拼接算法 2fgYcQ8`  
2.3环形子孔径拼接 ;\(LovUy6  
2.3.1孔径划分 eH V#Mey[  
2.3.2拼接原理 Qv<p$Up6  
2.3.3拼接算法 rJ{k1H>  
2.4广义子孔径拼接 8!{ }WLwb  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 _^g4/G#13c  
2.4.2计算机模拟 )KY4BBc  
2.5子孔径拼接优化算法 {oS/Xa  
2.5.1调整误差分量及其波像差 DX^8w?t  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 -,+~W#n  
2.5.3仿真研究 ;jJ4H+8  
2.6测量系统 P]iJ"d]+X  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 h1)ny1;  
2.6.2实验研究 / */"gz%  
2.7超大口径拼接检测 -Q/wW4dE=  
2.7.1方案设计 ma xpR>7`j  
2.7.2拼接算法 5IA3\G}+  
2.8小结 DL#y_;#3_  
参考文献 kRr/x-"  
第3章接触式轮廓测量 =te4p@  
3.1概述 OnH3Ss$  
3.2测量理论基础 &7,:: $cu  
3.2.1测量原理 ,rjl|F* T  
3.2.2坐标系和坐标变换 3mHP=)  
3.2.3检测路径 Vry*=X &Q  
3.2.4二次曲面系数研究  6HPuCP  
3.2.5离轴镜测量模型 GO.7IL{ {  
3.3测量系统 Z^BZH/I?  
3.3.1测头系统 :*/g~y(fE  
3.3.2系统设计 .mNw^>:cq  
3.4误差分析 3kT?Y7<fv  
3.4.1误差源分类 ]a`"O  
3.4.2固有误差 ">M&/}4  
3.4.3随机调整误差 iUFG!,+d  
3.4.4接触力诱导误差 Ljiw9*ZI  
3.4.5高阶像差误差分析 \mTi@T!&  
3.5小结 N{}8Zh4op  
参考文献 'BUfdb8d  
第4章结构光轮廓测量 W56VA>ia  
4.1概述 !xBJJ/K+|  
4.2基于结构光原理的测量方法 *Z\AO'h=Z  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 .2U3_1dX  
4.2.2相位测量轮廓术 ESk:$`P  
4.2.3莫尔测量轮廓术 @FZ_[CYg  
4.2.4卷积解调法 t&p I  
4.2.5调制度测量轮廓术 l8J2Xd @   
4.3测量系统及其标定 c[V.j+Iy#^  
4.3.1结构光三维测量系统 h:|BQC  
4.3.2系统参数标定 h4=mGJpm  
4.3.3快速标定方法 sIbPMu`&U  
4.4位相展开算法 9KB}?~Nx4  
4.4.1位相展开的基本原理 Z4:^#98c.  
4.4.2空间位相展开方法 +6}CNC9Mp  
4.4.3时间位相展开方法 M6 8foeeN  
4.4.4光栅图像采集与预处理 BR-wL3x b  
4.5测量误差分析 Tm9sQ7Oj(  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 7KGb2V<t  
4.5.2非线性误差矫正方法 ho)JY $#6  
4.6小结 i`Qa7  
参考文献 k7{|\w%  
第5章亚表面损伤检测 a@Zolz_Z  
5.1概述 R^=v&c{@  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 }#; .b'`  
5.2.1产生机理 )#1!%aQ  
5.2.2表征方法 {; th~[  
5.3亚表面损伤检测技术 _>aP5g?Ep  
5.3.1破坏性检测 2s> BNWTU  
5.3.2非破坏性检测 ,j9?9Z7R  
5.4工艺试验 ,jtaTG.>  
5.4.1亚表面损伤的测量 ,L.V>Ae  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 `KE]RTq  
5.4.3损伤抑制策略 @ULWVS#t2  
5.5小结 *z#du*f[  
参考文献 ^fyue~9u  
第6章其他测量技术 RnU7|p{  
6.1移相干涉测量技术 -"{g kjuv  
6.2动态干涉测量技术 )FmIL(vu  
6.3剪切干涉 FzP1b_i  
6.4点衍射干涉 -j2y#aP  
6.5白光干涉测量技术 k4!_(X%8  
6.6外差干涉测量技术 *W^a<Zm8>  
6.7补偿法检测非球面 w(z=xO  
6.8计算全息法检测非球面 )v11j.D  
参考文献 ()w;~$J  
文摘 6`G8UDK>F  
h{H*k#>  
蜗牛2013 2015-01-24 22:36
谢谢!
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