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2014-11-27 17:42 |
精密光学元件先进测量与评价(作者:程灏波)
《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展,针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备,以及相关的测量方法和精度。 Q'rgh+6 《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章,第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式,阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理;第2~5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测;第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 &Gs/#2XQ [@Mo3]#\ [attachment=60103] Jw0I$W/ )zkr[;j~` 定价:85.00 $bl<mG%#9 优惠价格:63.75 2`J#)f| ai"N;1/1O|
OV|n/~ 2=7:6Fw 目录 pgBIYeY, 前言 <Vl`EfA( 第1章绪论 cCs@[D#O1 1.1概述 uAu'2M,_ 1.2光学元件质量评价 -ufaV# 1.2.1表面质量评价 $}B&u ) 1.2.2亚表面质量评价 <[vsGUbc 1.3干涉测量基础知识 M[P1hFuna 1.3.1干涉原理 mYbu1542'n 1.3.2典型干涉测量结构 e[6Me[b 第2章子子L径拼接轮廓测量 ^O<@I 2.1概述 kQ"Ax? b 2.2圆形子孔径拼接 .|0$?w 2.2.1拼接原理 1BSn#Dnj 2.2.2拼接算法 z9w]{Zd_,d 2.3环形子孔径拼接 =^z*p9ZB 2.3.1孔径划分 ]e$n ;tuW 2.3.2拼接原理 ~( :$c3\ 2.3.3拼接算法 f9t+x+ Z 2.4广义子孔径拼接 <5zr|BTF]F 2.4.1广义环形子孔径拼接算法 h{ZK;(u$ 2.4.2计算机模拟 1n[wk'}qf4 2.5子孔径拼接优化算法 9Y?``QBN 2.5.1调整误差分量及其波像差 'p)DJUwt 2.5.2环形子孔径拼接优化模型 {LT2^gy= 2.5.3仿真研究 B<ZCuVWH: 2.6测量系统 n[\L6} 2.6.1SSI—300子孔径检测平台 Nz:p(X! 2.6.2实验研究 !QCErE;r 2.7超大口径拼接检测 !Wj`U$]; 2.7.1方案设计 /#j)GlNp: 2.7.2拼接算法 xl Q]"sm1 2.8小结 @u`m6``T 参考文献 58R.`5B 第3章接触式轮廓测量 &~'i,v|E 3.1概述 b>]UNf"- 3.2测量理论基础 {\X$vaF 3.2.1测量原理 (a"/cH 3.2.2坐标系和坐标变换 =i6k[ rg 3.2.3检测路径 8mt#S 3.2.4二次曲面系数研究 `|mV~F| 3.2.5离轴镜测量模型 /T2 v`Li 3.3测量系统
^CD?SP"i 3.3.1测头系统 k>~D 3.3.2系统设计 *VUJ);7k 3.4误差分析 MRT<hB 3.4.1误差源分类 J+wnrGoK 3.4.2固有误差 b5?k gY 3.4.3随机调整误差 fcy4?SQ.<i 3.4.4接触力诱导误差 rr>6; 3.4.5高阶像差误差分析 9P*f 3.5小结 ?)Je%H 参考文献 +pQ3bX 第4章结构光轮廓测量 eI%kxqc 4.1概述 %'VzN3Q5V 4.2基于结构光原理的测量方法 (EH}lh}% 4.2.1傅里叶变换轮廓术 3QF[@8EH{ 4.2.2相位测量轮廓术 S+*>""= 4.2.3莫尔测量轮廓术 uMRzUK`QK 4.2.4卷积解调法 d^`;tD 4.2.5调制度测量轮廓术 x$FcF8 4.3测量系统及其标定 \jZ)r>US" 4.3.1结构光三维测量系统 hZWkw{c 4.3.2系统参数标定 Eo6qC?5< 4.3.3快速标定方法 &he:_p$x 4.4位相展开算法 c2L\m*^o 4.4.1位相展开的基本原理 9W-1P}e, 4.4.2空间位相展开方法 (W }DMcuSd 4.4.3时间位相展开方法 ?}= $zN 4.4.4光栅图像采集与预处理 N#@v`S 4.5测量误差分析 N^AlhR^ 4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 #w8.aNU+] 4.5.2非线性误差矫正方法 BK
wo2=m~ 4.6小结 P@%L.y
B 参考文献 5Zmc3&vRl 第5章亚表面损伤检测 d=
?lPEzSA 5.1概述 0uIBaW3s 5.2亚表面损伤产生机理与表征 3{$ >-d 5.2.1产生机理 4n1 g@A=y 5.2.2表征方法 FYb]9MX 5.3亚表面损伤检测技术 p#3G=FV 5.3.1破坏性检测 mx#)iHY 5.3.2非破坏性检测 -BWWaL 5.4工艺试验 +}Mm5^6* 5.4.1亚表面损伤的测量 ly6dl 5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 B\qy:nr j 5.4.3损伤抑制策略 BuUM~k&SY 5.5小结 ^:,wk7 参考文献 CrG!8} 第6章其他测量技术 &}K%F)S 6.1移相干涉测量技术 P>$+XrTE 6.2动态干涉测量技术 InRcIQT 6.3剪切干涉 MBnxF^c&P 6.4点衍射干涉 `:jF%3ks+0 6.5白光干涉测量技术 Lr(JnS 6.6外差干涉测量技术 LabI5+g 6.7补偿法检测非球面 l.Z+.<@ 6.8计算全息法检测非球面 d/awQXKe7 参考文献
Qstd;qE~ 文摘 ]24]id ?^LG>GgV
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