chen1210 |
2014-11-15 14:40 |
大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用.pdf
大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用.pdf,下吧。 PWf{aHsr hKk\Y{wv' 摘要:超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进光学元件微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证,以实现高精度、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术系统,详细分析高精度加工设备及工艺控制、大尺寸检测、加工环境监控、快速抛光、表面织构化等研究应用情况。 "wT~$I"
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