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piaodongdewo 2014-10-28 13:33

案例：LED和准分子激光的匀滑和整形

案例：LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
Gpj* V|J  
微光学元件的分析和设计
E9fxjI%1  
微透镜阵列		 Zk-~a r  
√		 (U1]:tZ<.  
 #(;<-7M2  
 dbdM"z 4  
o @Z#  
蝇眼聚光镜		 Z9`TwS@x[  
√		 wD \ZOn_J  
 Y g|lq9gD  
 Ww3wsyx  
VRng=,  
衍射扩散器		 =6 r:A<F!n  
√		 y*b3&%.ml  
 a|j%n  
√		 <v 0*]NiX  
`u'bRp  
单元阵列    光栅单元阵列		 *#U+qgA;`  
 Q\Kx"Y3i  
√		 N#xG3zZl|N  
 CON0E~"  
√
h:bru:ef  
            棱镜单元阵列		 ,yMU@Vg  
  \[:/CxP  
 n]Li->1  
 -~f511<  
√
?*"srE,#JX  
            反射镜单元阵列		 KP"%Rm`XN  
 3.Gj4/f  
 s0u{d qP  
 cQj-+Tmu  
√
r{?Ta iK  
由DOE产生的光分布
Qeq5gN]  
高帽		 X|LxV]  
√		 ksR1k vTm  
 ?`_jFj+<\S  
√		 C#pZw[  
√
Ucw yxX I  
平顶		  :nY 2O  
√		 tB7}|jC  
  |J5 =J  
√		 arK_oh0B  
√
$(pF;_W  
焦线		 TtD@'QXq  
√		 E; $+f  
 cE'L% Z  
√		 6vKS".4C  
√
bvBHYf:^  
二元二维强度分布		 K4Dp:2/K%  
 UaG1c%7?X  
 %(/!ljh_  
√		 w~R`D  
√
|R/.r_x,V?  
任意二维强度分布		 !5@_j,lW(  
 =:,xxqy  
 T GB_~Bqe  
√		 d%@~mcH>  
√
gR^>3n'  
点阵		 [%A4]QzWh  
√		 d5 Edu44  
 K0+.q?8D|  
√		 t>)45<PEw  
√
b,TiMf9},h  
点线		 )jrT6x^IB  
√		 YV4#%I!<  
 lfsqC};#\  
√		 C Wo1.pVw  
√
qZEoiNH(Tj  
整形和匀滑
7IlOG~DC  
单色LED		 wd@aw/  
√		 j9+I0>#X  
 FXdD4X)  
√		 xda; K~w  
√
i`(^[h ?;  
白光LED		 /.Nov  
√		 |%a4` w  
 1_'? JfY-  
 H1" q  
√
w9RS)l2FQ  
准分子激光		 nz1'?_5  
√		 x3ERCqTR  
 \'CN  
√		 3ss6_xd+  
^I6^g  
常见光束整形推荐使用的工具箱
q-ES6R  
推荐的工具箱		 $/1c= Y@  
√		 *1Z5+uVT[  
√		 R #]jSiS  
√		 \qvaE+  
√
,bE$| x'  
优化
z\ss4  
局部和全局参数优化		 7r+g8+4  
√		 +|Hioq* ,t  
 g42)7  
 39F O f  
!  Z`0(d  
使用参数运行的全局优化		 %ows BO+  
√		 I V%VU  
 \AUI|M;'  
 >>Ts??  
3cS2gxF  
迭代傅里叶变换算法（IFTA）		 CBQhIvq.d  
 U'UQ|%5f  
 $ N']TN  
√		 b*fgv9Kh'  
:!;'J/B@..  
单元阵列设计算法		 <WXzh5D2  
 X0;4_,=  
 GsbAlNP  
 UX<Qcjm$e  
√
Q(d9n8  
公差仿真
G!8Z~CPF  
高度公差		 }ZSQ>8a  
 0qjXQs}  
 ' /Bidb?  
√		  rdnno  
√
a9zw)A  
掩膜蚀刻深度公差		 Ko&hj XHx  
√		 ultG36.x  
 KD1=Y80P  
√		 BYW^/B Y)  
}),w1/#5u8  
边缘圆滑模拟		 5WqXo{S  
√		 VN0mDh?E  
 kY,U8a3!  
√		 TvNY:m6.%  
o47r<>t  
对准误差		 f"7M^1)h2%  
√		 N$Y" c*  
 P X;Ed*y  
√		 =Cv/Y%DN  
√
MRr</o  
波长误差		 +9O5KI?P  
 Sp}D ;7  
 gx03xPeu  
√		 4`Nt{  
√
Sx*oo{Kk%  
远场和近场分布的变化		 %xlqF<  
√		 G5dO 3lwq  
  Pi%%z  
√		 7@.cOB`y@3  
√
;v17K  
由参数运行产生的实验系列		 wpA`(+J  
√		 mD:IO  
 ~9F,%  
√		 s{ V*1$e~  
√
PUQES(&  
加工数据的导出
&`Y!;@K9W#  
GDSII文件		 &)i|$J 2.  
√		 H7+X&#s%  
 ?::NO Dg  
√		 'B83m#HR#  
√
VHOfaCE  
CIF文件		 3$vRW.c\q  
√		 .%'(9E  
 V~GWl1#7  
√		 =k3!RW'  
FZd.L6q  
位图文件		 $(s\{(Wn  
√		 -K(fh#<6KO  
 %xwIt~Y  
√		 n}A\2bO  
BY\:dx)mK  
ASCII/.csv文件		 zeP}tzQO  
√		 }}QTHR  
 OE)~yKy  
√		 UH@a s  
√
sGY_{CZ:  
Point-Cloud文件		 vgn@d,v  
√		 bf_I9Z3m  
 EG'[`<*h  
√		 -71dN0hWh  
d#:3be{|&q  
STL文件		 _FbC{yI8;  
√		 0Q1FL MLV  
 GZ!| }$ 8  
√		 Zn:R PMk*  
)T907I|  
蚀刻掩膜的计算		 zWw2V}U!  
√		 &a!BD/  
 Fhq9D{TeY,  
√		 `&M{cfp_  
√
aI zv  
自定义
p6EDQwlf  
可编程元件		 AJt!!crs  
√		 CZ 2`H[8  
 RVtQ20e";r  
 -7WW[ w  
C7T(+Wd!,  
可编程探测器		 C2]Kc{4  
√		 +i `*lBup$  
 F0~k1TDw  
 W]<$0  
+y[@T6_  
可编程光源		 #gQF'  
√		 >,C4rC+:XN  
 <Y 4:'L6  
 OwzJO  
JnD {J`:  
MATLAB可编程界面		 MgnM,95  
√		 0?7XtC P<  
 '2J0>Bla  
 m!XI{F@x  
pl*~kG=  
C#可编程界面		 ?<X(]I.j  
√		 VeiElU3  
 CozKyt/r7  
 m(D]qYwh  
:(3|HTz  
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