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piaodongdewo 2014-10-28 13:33

案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
m.a1  
微光学元件的分析和设计
bNU^tL3QZ  
微透镜阵列
#R PB;#{  
*3 8Y;{ 4  
>T^v4A  
QIV~)`;  
GXK?7S0H  
蝇眼聚光镜
7CMgvH)O  
1sLfjH hv  
1p<?S}zg@  
vm^# aoDB  
gq1Y]t|4F  
衍射扩散器
@VS5Mg8  
{lUl+_58  
_rJ SkZO  
uPv?Hq  
^JDV4>S\  
单元阵列    光栅单元阵列
|+~2sbM  
5o ^=~  
~MQf($]  
(4{9 QO  
h1o+7  
            棱镜单元阵列
Ol[IC  
=xet+;~ji  
{o<p{q  
-XG$ 0  
M%^laf  
            反射镜单元阵列
PQ1NQy8  
'="){  
,ToEK Id  
: {Z^ _;Tf  
cS7!,XC  
DOE产生的光分布
vkgL"([_  
高帽
$*-L8An?  
ClZyQ=UAD  
[E7@W[xr  
}PL  
o:\a  
平顶
@+#p: sE  
to=##&ld<  
+[[gU;U"v  
rep"xV&|>o  
S]g)^f'a65  
焦线
kl"Cm`b)  
F[Sat;Sll  
FQ)Ekss~C  
dD<kNa}2  
r1atyK  
二元二维强度分布
h!~yYNQ"  
}>U03aa!  
wJkkc9Rh'(  
GqxK|G1  
L1i> %5:g  
任意二维强度分布
1<|I[EI  
0O4mA&&!oK  
,_zt? o\  
gMn)<u>  
p~ItHwiT  
点阵
O 9)8a]  
@CDRbXoFk  
i`L66uV  
i(HhL&  
B=|sLs`I  
点线
mJ7kOQ-.$  
Njjeg9f  
)wd~639U  
1j,Y  
h+(s/o?\  
整形和匀滑
"O "@HVF@  
单色LED
+Ti@M1A&  
'L/TaP/3  
.`XA6e(8KR  
cTp+M L  
]S ,GHPEN  
白光LED
%C<eR_  
b\Ub<pE  
DmsloPB?_  
WcFZRy-erc  
S:s^si2/  
准分子激光
-X \v B  
H#E0S>Jw|  
etVE8N'  
owhht98y(  
H l@rS  
常见光束整形推荐使用的工具箱
dD%m=x  
推荐的工具箱
nE84W$\  
r_m&Jl@4  
B#yyO>0k]  
PV2904  
K<tg+(3  
优化
)j'b7)W\  
局部和全局参数优化
< n{9pZ5.  
$@Fj_ N  
x;Q2/YZ#  
(k~c]N)v  
Z# 04 ]  
使用参数运行的全局优化
@gOgs  
-(EqBr@_  
\Wk$>?+#@  
l-rnDl  
9'M_tMm5  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
f WXzK<  
y6oDbwke  
XEI]T~  
79DC]48M  
t JP(eaqZ  
单元阵列设计算法
xT/&'$@{)  
\+\h<D-5  
`U R.Rn/x  
0% /M& N  
D[mYrWHpn  
公差仿真
hGeRM4zVZZ  
高度公差
$&!U&uMt  
P$bo8*  
`*a,8M%  
,J~dER\%  
7^F?key?  
掩膜蚀刻深度公差
]{hfM  
I}X8-WFB  
wHmEt ORo  
__M}50^  
Z6p>R;9n  
边缘圆滑模拟
!FO)||'[  
@WmB0cc_  
o>YR Kb  
;#due  
1X5\VY>S`h  
对准误差
kL-+V)Kl  
jcj)9;n=!  
!v-(O"a  
?S_S.Bd  
RwE]t$T/  
波长误差
@;0Ep 0[  
JF7T1T  
5>HI/QG  
h4/rw fp^  
ktCh*R[`  
远场和近场分布的变化
^6`U0|5mRX  
L`\ILJz  
!q X 7   
z)26Ahm TV  
L4!$bB~L-  
由参数运行产生的实验系列
(.c?)_G,  
~LVa#  
(n< xoV[e  
cH#` f4  
x~W&a*WNT  
加工数据的导出
K"pfp !Y  
GDSII文件
Pw")|85  
<AVpFy  
G~JQcJFj  
8wBns)wy@  
4l|Am3vzX  
CIF文件
V{npK(  
dG| iA]  
"x{S3v4Rb5  
olqHa5qn  
PtHT>  
位图文件
SbB5J> >7J  
.Ee8s]h5W  
~"-wSAm  
|peZ`O^ ~  
S^_na]M"4  
ASCII/.csv文件
I=1tf;Bsi  
Rzb] mM  
)b =$!  
i_MDLS>-  
`:8&m  
Point-Cloud文件
x*YJ :t  
B *:6U+I  
!u^(<.xJ   
k,r\^1h  
pd|c7D!6U,  
STL文件
E_h9y  
s~GO-v7  
x>t:&Y M  
_+UD>u{  
4Ld0AApncy  
蚀刻掩膜的计算
mFvw s  
`+<5QtD  
4 0Du*5M  
*bZV4}  
uy B ?-Y+  
自定义
tUt l>>6Iu  
可编程元件
K$rH{dUM  
nGRF< 2!  
}C)   
%N!Y}$y  
bJ9>,,D  
可编程探测器
L%<1cE))  
N^)L@6  
t.]oLG22r  
=6? 3c\  
IH{g-#U  
可编程光源
*iYs,4  
9#1lxT4%  
9ah,a 4  
E9 |i:  
)(,+o  
MATLAB可编程界面
'*22j ]  
yaeX-'(Fv[  
Wvcj\2'yd  
Lx2.E1?@  
3C.bzw^  
C#可编程界面
a?@j`@]ZR~  
K^9!Qp  
n- p|7N  
MvObx'+  
Nk]r2^.z[  
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