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案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
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piaodongdewo
2014-10-28 13:33
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
案例:
LED
和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
m.a1
微光学元件的分析和设计
bNU^tL3QZ
微透镜阵列
#R PB;#{
√
*3 8Y;{ 4
>T^v4A
QIV~)`;
GXK?7S0H
蝇眼聚光镜
7CMgvH)O
√
1sLfjH hv
1p<?S}zg@
vm^# aoDB
gq1Y]t|4F
衍射扩散器
@VS5Mg8
√
{lUl+_58
_rJSkZO
√
uPv?Hq
^JDV4>S\
单元阵列 光栅单元阵列
|+~2sbM
5o ^=~
√
~MQf($]
(4{9 QO
√
h1o+7
棱镜单元阵列
Ol[IC
=xet+;~ji
{o<p{q
-XG$ 0
√
M%^laf
反射镜单元阵列
PQ1NQy8
'="){
,ToEKId
:{Z^ _;Tf
√
cS7!,XC
由
DOE
产生的光分布
vkgL"([_
高帽
$*-L8An?
√
ClZyQ=UAD
[E7@W[xr
√
}PL
√
o:\a
平顶
@+#p:sE
√
to=##&ld<
+[[gU;U"v
√
rep"xV&|>o
√
S]g)^f'a65
焦线
kl"Cm`b)
√
F[Sat;Sll
FQ)Ekss~C
√
dD<kNa}2
√
r1atyK
二元二维强度分布
h!~yYNQ"
}>U03aa!
wJkkc9Rh'(
√
GqxK|G1
√
L1i> %5:g
任意二维强度分布
1<|I[EI
0O4mA&&!oK
,_zt?o\
√
gMn)<u >
√
p~ItHwiT
点阵
O9)8a]
√
@CDRbXoFk
i`L66uV
√
i( HhL&
√
B=|sLs`I
点线
mJ7kOQ-.$
√
Njje g9 f
)wd~639U
√
1j,Y
√
h+(s/o?\
整形和匀滑
"O "@HVF@
单色
LED
+Ti@M1A&
√
'L/TaP/3
.`XA6e(8KR
√
cTp+M L
√
]S ,GHPEN
白光
LED
%C<eR_
√
b\Ub<pE
DmsloPB?_
WcFZRy-erc
√
S:s^si2/
准分子激光
-X \vB
√
H#E0S>Jw|
etVE8N'
√
owhht98y(
H l@rS
常见光束整形推荐使用的工具箱
dD%m=x
推荐的工具箱
nE84W$\
√
r_m&Jl@4
√
B#yyO>0k]
√
PV2904
√
K<tg+(3
优化
)j'b7)W\
局部和全局参数优化
<n{9pZ5.
√
$@Fj_ N
x;Q2/YZ#
(k~c]N)v
Z#04 ]
使用参数运行的全局优化
@gOgs
√
-(EqBr@_
\Wk$>?+#@
l-rnDl
9'M_t Mm5
迭代傅里叶变换算法(
IFTA
)
f WXzK<
y6oDbwke
XEI]T~
√
79DC]48M
tJP(eaqZ
单元阵列设计算法
xT/&'$@{)
\+\h<D-5
`UR.Rn/x
0% /M& N
√
D[mYrWHpn
公差仿真
hGeRM4zVZZ
高度公差
$&!U&uMt
P$bo8*
`*a,8M%
√
,J~dER\%
√
7^F?key?
掩膜蚀刻深度公差
]{hfM
√
I}X8-WFB
wHmEt ORo
√
__M}50^
Z6p>R;9n
边缘圆滑模拟
!FO)||'[
√
@WmB0cc_
o>YRKb
√
;#due
1X5\VY>S`h
对准误差
kL-+V)Kl
√
jcj)9;n=!
!v-(O"a
√
?S_S.Bd
√
RwE]t$T/
波长误差
@;0Ep0[
JF7T1T
5>HI/QG
√
h4/rw fp^
√
ktCh*R[`
远场和近场分布的变化
^6`U0|5mRX
√
L`\ILJz
!q X7
√
z)26Ahm TV
√
L4!$bB~L-
由参数运行产生的实验系列
(.c?)_G,
√
~LVa#
(n<xoV[e
√
cH#`f4
√
x~W&a*WNT
加工数据的导出
K"pfp !Y
GDSII
文件
Pw")|85
√
<AVpFy
G~JQcJFj
√
8wBns)wy @
√
4l|Am3vzX
CIF
文件
V{n pK(
√
dG| iA]
"x{S3v4Rb5
√
olqHa5qn
PtHT>
位图文件
SbB5J> >7J
√
.Ee8s]h5W
~"-wSAm
√
|peZ`O^~
S^_na]M"4
ASCII/.csv
文件
I=1tf;Bsi
√
Rzb] mM
)b =$!
√
i_MDLS>-
√
`: 8&m
Point-Cloud
文件
x*YJ:t
√
B *:6U+I
!u^(<.xJ
√
k,r\^1h
pd|c7D!6U,
STL
文件
E_h 9y
√
s~GO-v7
x>t:&Y M
√
_+UD>u{
4Ld0AApncy
蚀刻掩膜的计算
mFvw s
√
`+<5QtD
40Du*5M
√
*bZV4}
√
uy B ?-Y+
自定义
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可编程元件
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可编程探测器
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√
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可编程光源
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MATLAB
可编程界面
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C#
可编程界面
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