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piaodongdewo 2014-10-28 13:33

案例：LED和准分子激光的匀滑和整形

案例：LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
e9B$"_ &2  
微光学元件的分析和设计
#- d-zV*  
微透镜阵列		 9x9E+DG#(  
√		 =E8Kacu%  
 e}L(tXZ  
 HMR!XF&JjC  
@jD19=  
蝇眼聚光镜		 9893{}\cB  
√		 )/tdiRpn  
 q.lh  
 _LZ 442  
Lismo#  
衍射扩散器		 ;!>>C0s"  
√		 rX&?Xi1JeV  
 Y+~>9-S  
√		 h6(L22Hn  
5d82Ms  
单元阵列    光栅单元阵列		 G@S'_  
 vYG$>*  
√		 \G1(r=fU  
 3-2?mV>5  
√
!myF_cv}'  
            棱镜单元阵列		 c1_?Z  
 gr$H?|n l  
 O,KlZf_B  
 rHgrC MW  
√
gH/k}M7tA#  
            反射镜单元阵列		 aeF^&F0  
 ^kj%Ekt7  
 Bk~M^AK@~  
 *|:]("i  
√
g/soop\:  
由DOE产生的光分布
!GVxQll[f  
高帽		 <i1P~  
√		 MT@Uu  
 NW;wy;;  
√		 h%@#jvh?4  
√
~# |p=Y  
平顶		  6@ )bZ|  
√		 N DV_/BI  
 %5H>tG`]   
√		 .](s\6'  
√
^zaN?0%S33  
焦线		 bpe WK&  
√		 S b3@7^  
 c}FZb$q#  
√		 *,DBRJ_*7  
√
T/C1x9=?  
二元二维强度分布		 Bhrp"l +|  
 K<+h/Ok  
  3^zO G2  
√		 ) 4'@=q  
√
Gwkp(9d  
任意二维强度分布		 ZK]C!8\2|  
 SLc'1{  
 [(N<E/m%B  
√		 Z5o6RTi  
√
",T-'>h$2R  
点阵		 D?Q{&6p  
√		 g< {jgF  
 &6 L{1  
√		 jM3{A;U2  
√
NUH#  
点线		 Rj=xn(@d  
√		 QY<2i-A  
 6(}8[i:  
√		 l8hOryB&  
√
m.p{+_@M&  
整形和匀滑
5A6d]  
单色LED		 OPwj*b:-m  
√		 ZWSYh>"  
 x*[\$E`v  
√		 @vaK-&|#$  
√
X}xy v  
白光LED		 e? fFh,a  
√		 jC<!Ny-$  
 GKwm %A  
 |L4K#  
√
i9oi}$;J  
准分子激光		 [x 5T7=  
√		 b^\u P  
 m$:o+IH/  
√		 2, ` =i  
Kuy,qZv!"  
常见光束整形推荐使用的工具箱
Nq)=E[$  
推荐的工具箱		 F"3PP ~  
√		 ^l6q  
√		 969*mcq'  
√		 r"a0!]n  
√
w7 ]@QTC  
优化
'kK}9VKl  
局部和全局参数优化		 ;z>)&F  
√		 _d&FB~=  
 %uyRpG3,  
 jyf[O -  
n=n!Hn  
使用参数运行的全局优化		 jYRwtP\  
√		 2hl'mRW  
 ZUb6d*B  
 v3Y/D1jd"  
$z]gy]F  
迭代傅里叶变换算法（IFTA）		 |?SK.1pW  
 70l"[Y  
 2`Xy}9N/Y  
√		 x5k6yHn  
t7("geN]  
单元阵列设计算法		 DJ;G0*  
 _YY:}'+  
 UfSWdR)  
 $cFanra  
√
# &o3[.)9  
公差仿真
cTFyF)  
高度公差		 AS[cz! >  
 Pm6/sO  
 ;-47d ^  
√		 Bhl@\Kq  
√
n0kBLn  
掩膜蚀刻深度公差		 E@aR5S>  
√		 !q! =VC  
 |<P]yn  
√		 PBb@J'b  
 ;OQ{  
边缘圆滑模拟		 [L8Bgw1  
√		 !MNUp(:  
 [>Kkj;*  
√		 <XX\4[wb  
iVzv/Lqm1  
对准误差		 ;=Jj{FoG%  
√		 2:Q9g ru  
 _) 2fXG!  
√		 IM}T2\tZ}  
√
&C<B=T"I  
波长误差		 9`+c<j4/B  
 /Ws@YP  
 !-%i" a  
√		 V=BF"S;-'  
√
qdrk.~_  
远场和近场分布的变化		 1g5%Gr/0$5  
√		 r}MXXn,f  
 ?h"+q8&  
√		 g= k}6"F~  
√
dX: (%_Mn  
由参数运行产生的实验系列		 xWD=",0+  
√		 &xMR{:  
 pj G6v(zK  
√		 v_"p)4&'  
√
y.26:c(  
加工数据的导出
~mx me6"v  
GDSII文件		 ]fI v{[A_  
√		 \1hbCv$Hf  
 Tk9u+;=6$  
√		 MQY^#N  
√
G2U=*|  
CIF文件		 W)ihk\E  
√		 2@@OjeANsX  
 3'8B rK  
√		 /<vbv  
KlDW'R $  
位图文件		 c_<m8b{AEF  
√		 qP6]}Aj]  
 DcE)6z#  
√		 \%z#|oV#<  
r5> FU>7'  
ASCII/.csv文件		 lcHw Kd  
√		 j1%o+#df  
 j|TcmZGO  
√		 [URo#  
√
at]=SA  
Point-Cloud文件		 (wU<Kpt?J  
√		 n]?Yv E  
 ?*|AcMw5  
√		 xQ9P'ru  
aa2&yc29hp  
STL文件		 lfp[(Ph)9  
√		 i,1=5@rw5  
 ]l7) F-v  
√		 C']TO/2q  
Q;W[$yvW  
蚀刻掩膜的计算		 -U~]Bugvh  
√		 @H2c77%  
 6z=h0,Y}  
√		 qPGpN0M`  
√
2K4Jkyi  
自定义
v=e`e68U~  
可编程元件		 AVf'"~?  
√		 QPB@qx#@  
 6&_"dg"  
 v7&oHOk!  
&NZl_7P L  
可编程探测器		 GTL gj'B  
√		 G66sP w  
 yH5^EY7rQ  
 $51M' Qu  
?=,4{(/)  
可编程光源		 <"F\&M`G  
√		 yW5/Y02  
 07 [%RG  
 S`g:z b_  
5Z"IM8?  
MATLAB可编程界面		 ap;?[B~Ga  
√		  uyBmGS2  
 )a"rj5~-  
 81Ixs Qt  
?}|l )  
C#可编程界面		 1{D_30sG.  
√		 gq9IJ  
 =OY&;d!C  
 zY_xJ"/9  
ev~/Hf  
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