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piaodongdewo 2014-10-28 13:33

案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
s(AJkO'`  
微光学元件的分析和设计
u0XP(d H  
微透镜阵列
^]$$)(jw  
:[Qp2Gg O\  
m ~u|VgD  
CKv&Re  
T?X^0UdJj  
蝇眼聚光镜
_0,"vFdj  
f?%qUD_#  
v"u7~Dw# 1  
e0f":Vct  
K??1,I  
衍射扩散器
$gVLk.  
V@vhj R4r\  
^|wT_k\  
$sEB'>:  
ku{XW8  
单元阵列    光栅单元阵列
99^AT*ByY  
>0PUWr$8  
yp=|7  
"r8EC  
2m_'z  
            棱镜单元阵列
Rl_.;?v"!  
tM&n3MWQ  
`#u l,%  
jip\4{'N  
_yj1:TtCNT  
            反射镜单元阵列
!\CG,Ek  
* [tc  
jCzGus!rM  
&yE1U#J(  
1Gsw-a;a  
DOE产生的光分布
{3hqp*xl  
高帽
N~;*bvW{  
s=MT,  
%yiD~&  
;a |`s  
NZ>7dJ  
平顶
*4t-e0]j@w  
D!oZ?dGCo6  
2\VAmPG.Zs  
"K,bH  
bFg*l$`5  
焦线
a mqOxb  
OB~C}'^$  
]}kI)34/  
=_[2n?9y  
BRb\V42i;  
二元二维强度分布
mj@31YW  
Q!yb16J  
tQrS3Hz'nA  
RdgVB G#Z1  
F?z<xL@  
任意二维强度分布
)GVBE%!WEd  
0#QKVZq2>  
-0$:|p?@^  
Gzw@w{JBL  
Pp+~Cir  
点阵
D*\v0=P'?  
bpW!iY/q3  
0x@A~!MoP  
)CLf;@1  
r| f-_D  
点线
9~c~E/4!  
GW3>&j_!d  
d ",(a Z  
 GP+2/D  
"(,2L,Zh  
整形和匀滑
o'Wz*oY))\  
单色LED
~-_i  
@4drjT  
jH>8bXQqZ  
R,F gl2  
EyY],W1 Y  
白光LED
! Z;T-3^.  
hv>KX  
@'i+ff\  
)JhT1j Qc  
R`#W wx>b  
准分子激光
IkDiT63]I  
XWUP=D~  
pYo=oI  
qsI^oBD"  
Z/<#n\>t0>  
常见光束整形推荐使用的工具箱
*%!M4&  
推荐的工具箱
|0sPka/u16  
"3fBY\>a  
"uKFOV?j&  
53Yxz3v  
uSN"vpc4D  
优化
,%[4j9#!_  
局部和全局参数优化
PD6_)PXn  
O9s?h3  
WC*=rWRxF  
m%QSapV  
}D*yr3b  
使用参数运行的全局优化
!_~UvxM+  
G:IP? z]  
h2~4G)J  
HYCuK48F[_  
@gY\;[#.  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
RWKH%C[Yd  
PFrfd_s{>\  
8Pmdk1 ~  
(R*j|HAw`X  
l_{8+\`!  
单元阵列设计算法
SeEw.;Xw  
}Fa%%}  
*?t%0){  
5Bjgr  
"OmD@ EMT  
公差仿真
hyg8wI  
高度公差
W),l  
wN=;i#  
H8{ol6wc)6  
{X~ gwoz  
W*N$'%  
掩膜蚀刻深度公差
-e*ZCwQ  
xSMt*]=9  
k; ZxY"^  
!do?~$Og  
*\G)z|^yx  
边缘圆滑模拟
\ZI'|Ad  
r'GP$0rr9!  
r(h`XMsU  
!RW `3  
3Ot~!AlR  
对准误差
Cbm\h/PXl  
. pzC5Ah  
K/=|8+IDL  
CW&.NT  
2c5-)Dt)T  
波长误差
a^U~0i@[S  
$za8"T*I  
d5`3wd]]'v  
f+_h !j  
#OO>rm$  
远场和近场分布的变化
PwB1]p=  
<{5EdX  
?a(L.3 E  
vw,rF`LjZ  
$D'- k]E[H  
由参数运行产生的实验系列
9h4({EE2t  
_tTNG2  
u&mS8i}  
~Wo)?q8UY,  
pi<TFe@eG  
加工数据的导出
5,-U.B}  
GDSII文件
+Z M)bbB  
VX LT^iX  
aI^/X {d  
0j"8@<  
U4aU}1RKz  
CIF文件
[Zei0O  
[I!6PGx  
CHrFM@CM  
Qham^  
7Mb# O_eh  
位图文件
NS%WeAf  
}by;F9&B  
5[0 O'%$  
)M6w5g  
#]nx!*JNZ  
ASCII/.csv文件
={K`4BD  
])xx<5Jt4  
:8CvRO*<  
qlL`jWJ  
MrZh09y  
Point-Cloud文件
F a'k0/_j  
*s9C!w YMZ  
d&ex5CU5  
}VS5gxI1.  
yKYTi3_(  
STL文件
rE}%KsZ  
_%5R o6  
sCR67/  
X!e[GJ  
'nXl>  
蚀刻掩膜的计算
0T Q$C-%  
O3I8k\`  
VeW>[08  
%Ev4]}2C1  
zIh ['^3.n  
自定义
gb H<]?  
可编程元件
sBr_a5QQ#  
$0 vb^  
eeyHy"@  
G1vNt7  
;kY(<{2  
可编程探测器
Ney/[3 A  
j'A_'g'^  
z^'gx@YD*v  
~`aa5;Ab_  
eEuvl`&  
可编程光源
zd @m~V  
;7} VBkH  
,P;Pm68V  
;lHr =e7  
 #"@|f  
MATLAB可编程界面
HMSO=)@+  
L7dd(^  
vX/T3WV  
LDPUD'  
I}1NB3>^  
C#可编程界面
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C{U?0!^  
}H^+A77v  
E=nIRG|g  
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