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piaodongdewo 2014-10-28 13:33

案例：LED和准分子激光的匀滑和整形

案例：LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
[k 7HLn)  
微光学元件的分析和设计
RFbf2s\t  
微透镜阵列		 5mAb9F8@  
√		 CG%bZco((  
 nT|WJ%  
 !mK()#6  
{m U%.5  
蝇眼聚光镜		 e;vI XJE  
√		 f hK<P_}  
 '_?Z{|  
 ZW;Ec+n_K  
{e&fBX6;  
衍射扩散器		  wp~}1]g  
√		 f_ MK4  
 ZW?h\0Hh  
√		 SXsszb:_  
! #Pn_e  
单元阵列    光栅单元阵列		 V~PGmn[V  
 ?J$k 5;  
√		 {EZR}N  
 {eU>E /SQ  
√
h_ t`)]-  
            棱镜单元阵列		 % (h6m${j  
 /'8%=$2Kw  
 i@:^b_  
 V(cU/Aia^  
√
GipiO5)1C  
            反射镜单元阵列		 y3j$?o M  
 npeL1zO-$  
 OR&pGoW  
 RV@B[:  
√
5!ngM  
由DOE产生的光分布
< R"Y^]P=  
高帽		 D;JZ0."  
√		 iAe"oXK|  
 zji9\  
√		 + _ehzo97  
√
`/1rZ#  
平顶		 pej-W/R&  
√		 Eet/l]e#a  
 u"5/QB{  
√		 #U0| j?!D  
√
pKXSJ"Xo  
焦线		 7r,GdP.  
√		 HpbwW=;V  
 b w1s?_P  
√		 4+qo=i  
√
tY#&_%W  
二元二维强度分布		 fV9+FOZn  
 R:P),  
 ,ng/T**@G  
√		 ^XyC[ G@[  
√
<Y /3U  
任意二维强度分布		 =l2 @'YQ  
 atZNX1LD[/  
 ,h5 FX^  
√		 f`vWCb  
√
1grcCL q  
点阵		 a%y*e+oM  
√		 B$c'^ )  
 4Tuh]5  
√		 6jMc|he  
√
,P`:`XQ>_B  
点线		 4WlB Q<5  
√		 6k')12~'  
 "@ZwDg`  
√		 v3~`1MM  
√
/hg^hF  
整形和匀滑
S]E|a@kD3  
单色LED		 O 8l`1  
√		 kFQo[O]  
 PtPx(R3  
√		 cooicKS7  
√
<F}j;mX  
白光LED		 REc90v2"  
√		 M$v\7vBgO!  
 c~M'O26bW  
 V 7 p{'C   
√
1.2qh"#  
准分子激光		 s Wj:m)  
√		 1h]nE/T.O  
 4D.h~X4  
√		 6X2w)cO  
*ax&}AHK[/  
常见光束整形推荐使用的工具箱
| v>W  
推荐的工具箱		 3DjX0Dx/l  
√		 &mJm'Ks  
√		 \V j7%ph  
√		 gW G>}M@  
√
!y1qd  
优化
)CH\]>-FO  
局部和全局参数优化		 J"eE9FLM  
√		 FLumI-se!  
 ;x)f;!e+  
 P`CQ)o  
pmUC4=&e  
使用参数运行的全局优化		 5p.#nc!;y  
√		 ,[|i^  
 VyIM ,glu  
 2Zq_zvKUt  
q\s>Oe6$  
迭代傅里叶变换算法（IFTA）		 -<\hcV`&  
 (^|vN ;  
 hs)_h^P   
√		 3 lKBwjW  
 =VSUE Pq  
单元阵列设计算法		 (K kqyrb  
 zM%2h:*+{  
 mnYzn[d3U  
 )"bP]t^_  
√
-C* UB  
公差仿真
mj& 4FQ#O*  
高度公差		 n~yhX%=_Du  
 k _Bz@^J  
 . P! pC  
√		 NW*$+u%/R  
√
XJ1<!tl  
掩膜蚀刻深度公差		 M;X}v#l|XI  
√		 3jM+j_n R  
 ;3O=lo:$~  
√		 ?&XpwJw:~  
!y;xt?  
边缘圆滑模拟		 4:s!mHcz  
√		 y(6*)~Dh  
 )K 0rPnYV  
√		 u3vw[k  
=.q8*7UY  
对准误差		 )O6_9f_  
√		 /s`8=+\9  
 Z&Z= 24q_  
√		 X./7b{Pax  
√
y}> bJ:  
波长误差		 lDtl6r/  
 &Ht5!zuW,  
 ET=-r  
√		 }C{wGK+o[  
√
yex0rnQ|  
远场和近场分布的变化		 ,uhOf! |  
√		 -W"  w  
 II}3w#r4  
√		 iy,jq5uw  
√
} |? W  
由参数运行产生的实验系列		 MryY<s  
√		 6tT*b@/_o  
 FP h1}qS  
√		 sy+tLDMd  
√
>}!})]Xw9  
加工数据的导出
r=^?  
GDSII文件		 W"H*Ad(V  
√		 `Ct fe8  
 .hytn`+9  
√		 J*"G*x#u  
√
KFn[  
CIF文件		 {-e|x&-  
√		 6 #Afj0  
 U=\!`_f':  
√		  C\5"Kb  
2VA mL7)  
位图文件		 iz\GahK  
√		 rh 7%<xb>  
 x`gsD3C  
√		 }E](NvCq  
%Ig3udcY?  
ASCII/.csv文件		 /4#A|;d_  
√		 "~ eF%}.  
 tU >?j1  
√		 t73" d#+  
√
-_"6jU  
Point-Cloud文件		 ;*409 P  
√		 n0%]dKCB  
 3YOYlb %j  
√		 f" g-Hbl5  
_ -C{:rV  
STL文件		 };s8xGW:k3  
√		 `oGL==  
 Avn)%9  
√		 0GP\*Y8  
;dE'# Kb  
蚀刻掩膜的计算		 tg' 2 v/  
√		  hNF.  
 Yl0_?.1 z  
√		 b1ma(8{{{  
√
JUlCj #%  
自定义
LyA}Nd]pyq  
可编程元件		 /D&7 \3}  
√		 55#s/`gd)^  
 86 <[!ZM  
 ;{hE]jReH  
2qxede  
可编程探测器		 $`Hb -  
√		 -Ay=*c.4  
 TIre,s)_  
 \zGmZZ  
W$ag |WV  
可编程光源		 Z_}[hz$  
√		 2UJjYrm  
 y=spD^tM8  
 , UiA?7k  
0s'H(qE,_  
MATLAB可编程界面		 1xzOD@=dI  
√		 TZYz`l+v  
 rwSmdJ~  
 "0]s|ys6<  
nb,+!)+  
C#可编程界面		 7ajkp+E6  
√		 J2d 3&6  
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T5b*Ia  
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