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案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
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piaodongdewo
2014-10-28 13:33
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
案例:
LED
和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
+Ur75YPh
微光学元件的分析和设计
+u`4@~D#
微透镜阵列
K d{o/R
√
Jpn= ^f[rm
2r@9|}La
K[Vj+qdyl
.OlPVMFt
蝇眼聚光镜
vm=d?*cR
√
tLP Er@
LMLrH.
y&wo"';
G#1W":|`
衍射扩散器
[<wpH0lNoy
√
/^WOrMR
oE,TA2
√
tF.N
{f;DhB-jj
单元阵列 光栅单元阵列
mH)8A+us
@yF>=5z:
√
Us%g&MWdpb
PlwM3lrj
√
1aPFpo!
棱镜单元阵列
bR?xz-g%<3
tHr4/
\:2z!\iP`
v]T?xo~@'
√
N7_(,Gu*R
反射镜单元阵列
n|B<rx?v
.dwbJT
=JxEM7r
t~":'le`zr
√
BQ B<+o'
由
DOE
产生的光分布
LyG`q3@
高帽
f6{.Uq%SGp
√
uII! ?
*]!rT&E
√
e2L>"/
√
ST,+]p3L(
平顶
$Z8riVJ7j-
√
Y&bO[(> 1
d<w]>T5VW
√
L XTtV0F
√
VHv L:z
焦线
LZQG.
√
N:%Nq8I}:
DQ c pIV
√
ant2];0p
√
BnaI30-
二元二维强度分布
CZ =]0zB
n Q{~D5y,,
bH!_0+$P
√
^mN`!+
√
KEf1GU6s
任意二维强度分布
N0N%~3
n'%cO]nSx
G3h"Eo?>g
√
uuL(BUGt-
√
5Fbb5`(
点阵
ZvK.X*~s
√
<&bBE"U4
MPF({Pnx7
√
+fq\K]
√
;vn0b"Fi3
点线
P,rLyx
√
:z6?
A$L:,b(
√
G&4D0f
√
_xnJfW_
整形和匀滑
- b`
单色
LED
r$ I k*R
√
u`Kc\BSn
S"`{ JCW$
√
yh).1Q-D
√
6z'0fi|EN
白光
LED
-lXQQ#V -
√
muKu@nshL
^N`KT
w7 \vrS>&
√
i+lq:St
准分子激光
3K/]{ dkD
√
\g v-2.,
K<WowU
√
"Nz"|-3Irv
ZVit]3hd
常见光束整形推荐使用的工具箱
1&Ma`M('
推荐的工具箱
K7/&~;ZwT
√
}r"E\~E
√
%CgmZTz~<
√
aJc>"#+ o
√
llCE}Vdh
优化
a FWTm,)
局部和全局参数优化
::3[H$
√
% 3fpIzm
[$fB]7A
`iEYq0}
T8x /&g''
使用参数运行的全局优化
T~4HeEG>uH
√
j J54<.D
nFro#qx
>,rzPc)
vq@"y%C4
迭代傅里叶变换算法(
IFTA
)
i?)bF!J
vY[u;VU
qR , 5
√
aD~S~L!
MR,A{X
单元阵列设计算法
.dvs&+I
CI+li H
0\eSiXs
#;m^DX QZn
√
s"8z q;)
公差仿真
Lf{pTxKr
高度公差
b'xBPTN
<Zh\6*3:ab
:73T9/
√
]]5(:>l
√
d Z+7S`{
掩膜蚀刻深度公差
e`5:46k|
√
m5hu;>gt
J>nta?/,X
√
7mb5z/N
3@<m/%
边缘圆滑模拟
.&K?@T4l
√
P+3 ]g{2w
hG}/o&}U
√
=E~_F>SD
c{T)31ldW
对准误差
4dh>B>Q
√
q@4Cw&AI+
zD sV"D8
√
^Je*k)COn
√
XU}" h&>
波长误差
UG6\OgkL+
#O'g*]j
}5X.*wz
√
Y2+YmP*z`
√
6$fwpW
远场和近场分布的变化
~Oi.bP<,
√
g~OG~g@
;[|+tO_
√
_G)x\K]N
√
J/[PA[Rf
由参数运行产生的实验系列
Qk^}
√
7re4mrC
*mN8Qd
√
4&~*;an7
√
ww\2
加工数据的导出
<(us(zbk]
GDSII
文件
X)8Edw[?N3
√
YDEb MEMd/
t9_&n.z
√
I;mc:@R<
√
X d&oERJj
CIF
文件
YJwffV}nd
√
_cbXzSYq&
U,aMv[Z B
√
ulk yP
2}ywNVS
位图文件
g;y*F;0@
√
S'sI[?\x
}oii|=,#^
√
C,{ Ekbg
dp:5iuS
ASCII/.csv
文件
QO|jdlg
√
,9.NMFn
<|:$_&(
√
l+O\oD?-
√
Aac7km
Point-Cloud
文件
_6yrd.H
√
mS]soYTQ
Uz7V2r%]
√
@OC*:?!4
.r-kH&)"GU
STL
文件
v<?k$ e5
√
}z2K"eGt
B 5va4@
√
JRw)~Tg @
LeMo")dk\
蚀刻掩膜的计算
{^K&9sz
√
w{Y:p[}
0a)LZp|
√
]@sLX ek
√
4eS(dPI0
自定义
diF2:80o
可编程元件
@z(s\T
√
DQ_ pLXCC
zMAlZ[DN
cX48?srG
K.6xNQl{}
可编程探测器
>zv}59M
√
=]sM,E,n
/I q6'oo
|B@\Nf7
0I>[rxal
可编程光源
Uj~ :|?Wz
√
z%L\EP;o}
|_wbxdq
AW`+lE'?
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MATLAB
可编程界面
B,ZLX/c9
√
u_ym=N57`
n0=[N'Tw3
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V?Ye^-29
C#
可编程界面
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√
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