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piaodongdewo 2014-10-28 13:33

案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
+Ur75YPh  
微光学元件的分析和设计
+u`4@~D#  
微透镜阵列
K d{o/R  
Jpn= ^f[rm  
2r@9|}La  
K[Vj+qdyl  
.OlPVMFt  
蝇眼聚光镜
vm =d?*cR  
tLP Er@  
LMLrH.  
 y&wo"';  
G#1W":|`  
衍射扩散器
[<wpH0lNoy  
/^WOrMR  
oE,TA2  
tF.N  
{f;DhB-jj  
单元阵列    光栅单元阵列
mH)8A+us  
@yF >=5z:  
Us%g&MWdpb  
PlwM3lrj  
1aPFpo!  
            棱镜单元阵列
bR?xz-g%<3  
tHr4/  
\:2z!\iP`  
v]T?xo~@'  
N7_(,Gu*R  
            反射镜单元阵列
n|B<rx?v  
.dwbJT  
=JxEM7r  
t~":'le`zr  
BQB<+o'  
DOE产生的光分布
LyG`q3@  
高帽
f6{.Uq%SGp  
uI I! ?   
*] !r T&E  
e2L>"/  
ST,+]p3L(  
平顶
$Z8riVJ7j-  
Y&bO[(>1  
d<w]>T5VW  
LXTtV0F  
VH vL:z  
焦线
LZQG.  
N:%Nq8I}:  
D Q c pIV  
ant2];0p  
BnaI30-  
二元二维强度分布
CZ =]0zB  
nQ{~D5y,,  
bH!_0+$P  
 ^mN`!+  
KEf1GU6s  
任意二维强度分布
N0N%~3  
n'%cO]nSx  
G3h"Eo?>g  
uuL(BUGt-  
5Fbb5`(  
点阵
ZvK.X*~s  
<&bBE"U4  
MPF({Pnx7  
+fq\K]  
;vn0b"Fi3  
点线
P ,rLyx   
:z6?  
A$L:,b(  
G&4D0f  
_xnJfW_  
整形和匀滑
- b`  
单色LED
r$Ik* R  
u`Kc\B Sn  
S"`{ JCW$  
yh).1Q-D  
6z'0fi|EN  
白光LED
-lXQQ#V -  
muKu@nshL  
^N`KT   
w7\vrS>&  
i+lq:St  
准分子激光
3K/]{ dkD  
\gv-2.,  
K <WowU  
"Nz"|-3Irv  
ZVit] 3hd  
常见光束整形推荐使用的工具箱
1&Ma`M('  
推荐的工具箱
K7/&~;ZwT  
}r"E\~E  
%CgmZTz~<  
aJc>"#+ o  
llCE}Vdh  
优化
a FWTm,)  
局部和全局参数优化
::3[H$  
% 3fpIzm  
[$fB]7A  
`iEYq0}  
T8x/&g''  
使用参数运行的全局优化
T~4HeEG>uH  
j J54<.D  
nFro#qx  
>,rzPc)  
vq@"y%C4  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
i?)bF!J  
vY[ u;VU  
qR , 5  
aD~S~L!  
M R,A{X  
单元阵列设计算法
.dvs&+I  
CI+liH  
0\eSiXs  
#;m^DX QZn  
s"8z q ;)  
公差仿真
Lf{pTxKr  
高度公差
b'xBPTN  
<Zh\6*3:ab  
:73T9/  
]]5(:>l  
d Z+7S`{  
掩膜蚀刻深度公差
e`5:46k|  
m5hu;>gt  
J>nta?/,X  
7mb5z/N  
3@<m/%  
边缘圆滑模拟
.&K?@T4l  
P+3 ]g{2w  
hG}/o&}U  
=E~_F>SD  
c{T)31ldW  
对准误差
4dh> B>Q  
q@4Cw&AI+  
zD s V"D8  
^Je*k)COn  
XU}" h&>  
波长误差
UG6\OgkL+  
#O'g*]j  
}5X.*wz  
Y2+YmP*z`  
6$fwpW  
远场和近场分布的变化
~Oi.bP<,  
g~OG~g@  
;[|+tO_  
_G)x\K]N  
J/[PA[Rf  
由参数运行产生的实验系列
Qk^}  
 7re4mrC  
*mN8Qd  
4&~*;an7  
 ww\2  
加工数据的导出
<(us(zbk]  
GDSII文件
X)8Edw[?N3  
YDEb MEMd/  
t 9_&n.z  
I;mc:@R<  
Xd&oERJj  
CIF文件
YJwffV}nd  
_cbXzSYq&  
U,aMv[ZB  
ulk yP  
2}ywNVS  
位图文件
g;y*F;0@  
S's I[?\x  
}oii|=,#^  
C,{ Ekbg  
dp:5iuS  
ASCII/.csv文件
QO|jdlg  
,9 .NMFn  
<|:$_&(  
l +O\oD?-  
Aac7k m  
Point-Cloud文件
_6 yrd.H  
mS]soYTQ  
Uz7V2r%]  
@OC*:?!4  
.r-kH&)"GU  
STL文件
v<?k$ e5  
}z2K"eGt  
B5va4@  
JRw)~Tg @  
LeMo")dk\  
蚀刻掩膜的计算
{^K&9sz  
w{Y:p[}  
0a)LZp|  
]@sLX ek  
4eS(dPI0  
自定义
diF2:80o  
可编程元件
@z(s\T  
DQ_ pLXCC  
zMAlZ[DN  
cX48?srG  
K.6xNQl{}  
可编程探测器
>zv}59M  
=]sM,E,n  
/I q6'oo  
|B@\Nf7  
0I>[rxal  
可编程光源
Uj~ :| ?Wz  
z%L\EP;o}  
|_wbxdq  
AW`+lE'?  
&n& ndq  
MATLAB可编程界面
B,ZLX/c9  
u_ym=N57`  
n0=[N'Tw3  
\jByJCN  
V?Ye^ -29  
C#可编程界面
q,_ 1?A)  
mybjcsV4  
nsV;6^>  
Q 1e hW  
0p ZX_L'  
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