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piaodongdewo 2014-10-28 13:33

案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
O'fc/cvh='  
微光学元件的分析和设计
`BpCRKTG  
微透镜阵列
m EFWo  
dX 0x Kk%#  
=/m}rcDN  
PB@-U.Z  
}FZp 840  
蝇眼聚光镜
 t9]r  
i6FP[6H1  
f)WPOTEY  
IQ#So]9~Y  
;=#qHo9k1%  
衍射扩散器
9a-]T=5Ee  
bu;vpNa  
[-QK$~[ g  
>H8^0n)?  
WVj&0  
单元阵列    光栅单元阵列
_4O[[~  
,I=O"z>9  
 r^e-.,+  
:%pw`b, =V  
7@3M]5:3g  
            棱镜单元阵列
L-SdQTx_  
?fm2qrV@fp  
ayHn_  
/oBK&r[(  
V.+DP  
            反射镜单元阵列
- f+CyhR"*  
EccFx7h  
O $YJku  
v!iWzN  
-0/=k_q_  
DOE产生的光分布
A=y24m  
高帽
4D0(Fl  
@b4b{d5[  
zp}yiE!bl  
`;R|V  
u)wu=z8  
平顶
@:I \\S@bN  
i_'|:Uy*F  
!N@Yh"c  
^a: Saq-}  
@?(nwj~ s`  
焦线
AN50P!FZW  
\3,$YlG  
a>#d=.  
yN%3w0v  
KBp!zSl  
二元二维强度分布
q_OY sg  
3^uL`ETm@  
|E>v~qD8I  
;F" kD  
;))[P_$zB  
任意二维强度分布
>^2ZM  
^d5gz0d  
]0at2  
+-xSuR,  
:Q0?ub]  
点阵
:..E:HdYO  
%`t]FV^#  
h+ `J=a|\  
.2 N_?  
o+PQ;Dl  
点线
<ls i.x\y<  
Jv '3](  
4DG 9`5.  
a,F8+ Pb>  
(@N~ j&  
整形和匀滑
V{/)RZ/  
单色LED
sWqPw}/3>  
9OO0Ht4j  
%BT)oH}  
giA~+m~fN  
,_e/a   
白光LED
~7)rKHau  
9/8@  
d6Q :{!Sd"  
Y'+F0IZ+  
8 H$@Xts  
准分子激光
A1=$kzw{UH  
.wt>.mUH  
&j wnM  
|{}d5Z"5;}  
P"h,[{Y*>  
常见光束整形推荐使用的工具箱
,&O:/|c E  
推荐的工具箱
sbq44L)  
z?IY3]v*z<  
4IGQ,RTB  
%yS`C"ZQ)  
f0fqDmn  
优化
Xoa <r9  
局部和全局参数优化
D; 35@gtj  
eL] w' }\  
dKN3ZCw*gF  
^0BF2&Zx  
ADwwiq#E  
使用参数运行的全局优化
)oz-<zW  
[K|>s(Sf*  
! A ydhe  
+'YSpJ  
gC,0+Y~  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
@Tm0T7C  
)eedfb1  
\Vhp B   
Ms$7E  
$BO}D  
单元阵列设计算法
(/rIodHJO  
F" #3s=  
m} F Ce  
R;,u >P "  
y[7xK}`_  
公差仿真
iTBhLg,  
高度公差
MdTd$ 4J3  
@SMy0:c:  
Zn=JmZ  
HDXjH|of  
kHIQ/\3?Q  
掩膜蚀刻深度公差
bU +eJU_%  
[8J}da}  
9QM"JEu@  
#p9z#kin  
BKlc{=  
边缘圆滑模拟
0o'ML""j  
fm2Mi~}0  
uC8T!z  
/ )u,Oa  
qFsg&<  
对准误差
';L^mxh  
Chi<)P$^  
8LM1oal}  
Cot\i\]jv  
lL+^n~g  
波长误差
YV!V9   
!?-5 hh1\  
(w:ACJ[[  
U&\{/l  
FoXQ]X7"  
远场和近场分布的变化
5qB=@O]|G;  
~E|V{z%  
qN,FX#DP  
g[+Q~/yq  
f?I *`~k  
由参数运行产生的实验系列
%L|bF"K5;  
N S}`(N  
r%mTOLef  
M[N.H9  
M4PUJZ]  
加工数据的导出
Lj1 @yokB  
GDSII文件
e(% Solkm?  
c89vx 9  
y8n1IZ*#SZ  
4'[ V'c\  
BiCa "  
CIF文件
;+KgujfU  
O,Gn2Do  
O!+5As  
R'HA>?D  
"fJ|DE&@<i  
位图文件
\k-juF80  
To? bp4  
>^HTghgRD  
Bzt`9lg  
F@K;A%us)  
ASCII/.csv文件
Ou,_l  
]7 mSM  
 M.^A`   
?Gw89r  
&bK$!8Z  
Point-Cloud文件
DA@hf  
,]qX_`qF  
U  {!{5l:  
xmx;tq  
4x=Y9w0?8  
STL文件
x^skoz  
N0hU~|/  
SnU{ZGR>sP  
CxQ,yd;>  
a/#,Y<kJ  
蚀刻掩膜的计算
J :(\o=5 5  
Yk&{VXU<  
MX\-)e#  
DK%eFCo<~  
P?7b,a95O  
自定义
X6 cb#s0|  
可编程元件
[ Ulo; #P  
AE _~DZ:%c  
E=trJge  
]zY'w,?D\F  
1zW6Pb  
可编程探测器
~-i?=  
RVx<2,['  
rM |RGe  
D<6k AGE  
:h~!#;w_  
可编程光源
Jl ?Q}SB  
Ka{Zoi]  
DL_\luh  
o-= lHtR  
3Gv i!h7  
MATLAB可编程界面
6P|neb}  
c Zr4  
"Fiv ]^  
iKY&gnu"  
&r%3)Z8Et  
C#可编程界面
jp`N%O]6  
^+<uHd>  
mo$*KNW%\  
mNKa~E  
4[q * 7m  
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