| lvse9 |
2006-08-22 10:47 |
等离子体清洗设备在光学领域的应用！
等离子体清洗设备的应用 j%Z5[{!/,X
Ygkf}n
#2:?N8vz*
应用领域： yM9>)SE5`
1、清洗光学器件、电子元件、激光器件、镀膜基片、芯片 C!+PBk [9
• 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片 0pW;H|h
• 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质 hJSWh5]
• 清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石 77aUuP7Iw
• 清洗半导体元件、印刷线路板 &(Hw:W 9
• 清洗生物芯片、微流控芯片 |wQ3+WN|
• 清洗沉积凝胶的基片 ~]?EV?T
u8| CeA
2、牙科领域：对硅酮压模材料和钛制牙移植物的预处理，增强其浸润性和相容性 {%^4%Eco
5`U zx u
3、医用领域：修复学上移植物的表面预处理，增强其浸润性、粘附性和相容性，医疗器械的消 毒和杀菌 $^czqA-&
:AqtPV'
4、改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力 @icw:68
Bj><0
cNF
5、去除金属材料表面的氧化物 O\Z!7UQ$
; !t?*
6、使玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面活化，增强其表面粘附性、浸润性、相容性 \dE{[^.5
;~[}B v
7、高分子材料表面修饰 s~B)xYmyB'
UGgo;e
45< gO1
一、金属表面去油及清洁 H]wP \m)
'/0e!x/8
金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 在这种情况下的等离子处理会产生以下效果： [P ;fv
0YfmAF$/ B
1.1灰化表面有机层 QLHEzEvf{/
－表面会受到化学轰击 8@S]P0lk
－在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发 J]S30&?
－污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出 B B V>Q L
－紫外辐射破坏污染物 p8YOow7)
因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。 ~dLbhjde n
zzo9 3d
1.2氧化物去除 !Y n#3c
金属氧化物会与处理气体发生化学反应 Q2woCx B
这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面5分钟，第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。 =OPX9oG
^ *B@=
1.3焊接 QV\a f
通常，印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。
JgKhrD x
HUCJA-OZGL
1.4键合 dvZlkMm
好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。 Fi;OZ>;a
Y= =5\;-
二、等离子刻蚀 9h)8Mq+M
E?KPez
在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相（例如在使用氟气对硅刻蚀时）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料）。 `T7TWv"M
等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。 W _ Hoa *~
ME]89 T &
三、刻蚀和灰化 DS7L}]
D2gyn-] \
PTFE刻蚀 R-OO1~W=
PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力，但是这种方法不容易掌握，同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅仅保护环境，还能达到更好效果。 -Q? c'e
等离子结构可以使表面最大化，同时在表面形成一个活性层，这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。 Jq? zr]"A
6d/v%-3
PTFE混合物的刻蚀 r#& JfAo
PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行，以免填充物被过度暴露，从而削弱粘合力。 1n7'\ esC*
5ZH3}B^L$
处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。 @)[8m8paV
Q{'4,J-w
四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁 ~%M*@ fm
(aSuxl.Dq
塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时，玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，中空和带缝隙的样品也可以处理。 W ;+()vC
• 不需要用溶剂进行预处理 o:3(J }
• 所有的塑料都能应用 XD0a :T)
• 具有环保意义 vZ57
S13
• 占用很小工作空间 2 @T~VRy
• 成本低廉 Fo;:GX,b
等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证，处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理（大于15分钟），材料表面不但被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有最大润湿能力。常用的处理气体为：空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等 Ty~z% =H
'wMvO{}$
Zby3.=.e
T{`V US/
五、等离子涂镀 IEP|j;~*
x{K"z4xbI
聚合
(#O"
在涂镀中两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下汇聚合。这种应用比活化和清洁的要求要严格一些。典型的应用是保护层的形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE材质的涂镀、防水涂镀等。涂镀层非常薄，通常为几个微米，此时表面的亲和力非常好。 常用的有3种情况 |s(Ih_Zn
• 防水涂镀—环己物 N 3MPW
• 亲水涂镀---乙烯醋酸 l Ib
d9F
• 类似PTFE材质的涂镀---含氟处理气体 &.s.g\
r7R.dD /.
dPf7o
欢迎大家来电咨询交流,索取详细资料。 r@v t.t0#
PVA公司北京办事处 j&Xx{ 4v
010-65814049转8005 UpE +WzY
chendashan@gerchin.com
|
|
