点衍射干涉仪检测技术研究

高精密仪器与设备的发展进步，对我国未来科学技术的发展具有重要意义，而精密光学元件的加工，往往是生产此类仪器与设备的核心技术。随着高精密仪器与设备的快速发展，光学元件面形误差的要求也越来越严苛。传统的面形检测设备，如迈克尔逊干涉仪、斐索球面干涉仪，其参考波面由参考元件反射形成，检测精度必然受制于参考元件的面形精度，很难满足超高精度面形检测的要求。本文研究的点衍射干涉仪检测技术，结构简单，采用针-孔衍射产生参考波，从而摆脱了参考元件面形对检测精度的限制，极大地减少了系统误差，是超高精度检测新的发展方向。本论文的主要工作任务是研究点衍射干涉仪检测技术的关键理论与技术问题，进一步发展应用于面形测量的点衍射干涉检测技术。

pigpig	2014-08-19 12:52
谢谢分享

淡淡清茶香	2014-08-19 17:14
学习学习

summerxia	2014-08-19 20:52
学习学习，谢谢分享

杨康	2014-08-20 10:34
谢谢分享

黑侠	2014-08-21 02:42
看看........

泥土63	2014-08-28 14:51
谢谢分享

zxjg841120	2014-09-01 10:23
谢谢分享！ hs/nM"V

xtxkj686	2014-09-01 15:01
学习一下

bairuizheng	2014-09-02 00:23
谢谢分享！

mikemax	2014-09-05 16:04
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苦命气球	2014-11-05 14:48
谢谢楼主的分享！！

苦命气球	2014-11-05 14:48
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oldchenj	2015-12-14 11:56
看看，学习学习

和为贵	2016-02-19 11:13
谢谢分享！

小越哥	2018-01-22 17:03
谢谢分享

jsdyf	2018-08-27 14:17
谢谢楼主分享，学习一下

zhengbin	2019-10-09 10:17
看看谢谢分享 }. ,xhF[

scarlett103	2020-06-05 16:08
谢谢分享 rj:$'m7

rags_to_rings	2021-10-09 14:20
看看.......

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