如何计算Tooling值

fly6947:镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件，优化出物理厚度 :>CD;  
镀的厚度除以物理厚度就是tooling _<Ip0?N  
比如，我镀单层MGF2  1200A    优化物理厚度100nm }!uwWBw`  
....... (2014-07-29 16:47)  wY]ejK$0R  

fly6947:镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件，优化出物理厚度 ef@F!s_fI  
镀的厚度除以物理厚度就是tooling >]HvXEdNZ|  
比如，我镀单层MGF2  1200A    优化物理厚度100nm HBNX a  
....... (2014-07-29 16:47)  VtzBYza  

fly6947:镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件，优化出物理厚度 p m<K6I  
镀的厚度除以物理厚度就是tooling S#
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比如，我镀单层MGF2  1200A    优化物理厚度100nm e +jp,>(v  
....... (2014-07-29 16:47)  @7t*X-P.;-