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jack1yzhong 2014-07-14 16:50

如何计算Tooling值

请教各位老师如何计算Tooling值,非常感谢!!!!!!!
a85221312 2014-07-15 16:00
求老师提点下。。。
fly6947 2014-07-29 16:47
镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件,优化出物理厚度 "E )0)A3=  
镀的厚度除以物理厚度就是tooling \ POQeZ  
\L{V|}"X  
比如,我镀单层MGF2  1200A    优化物理厚度100nm DS1_hbk  
%w3"B,k'9D  
那么tooling=1200/(100*1000)
pyykun 2018-02-27 14:36
谢谢指教@!
harryzeng 2018-02-27 17:04
fly6947:镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件,优化出物理厚度 Ny2. C?2  
镀的厚度除以物理厚度就是tooling / U5!]7&gB  
比如,我镀单层MGF2  1200A    优化物理厚度100nm T_/ n#e  
....... (2014-07-29 16:47)  oZwu`~h Y  
S5>?j n1  
谢谢指教
kkjzkkjz 2018-03-05 16:26
fly6947:镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件,优化出物理厚度 /^hc8X  
镀的厚度除以物理厚度就是tooling ~`X$b F  
比如,我镀单层MGF2  1200A    优化物理厚度100nm buKSZ  
....... (2014-07-29 16:47)  ZgA+$}U)uW  
s a{x.2/o}  
对 应该是个修正因子的意思吧
gaofei555 2024-08-20 17:16
fly6947:镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件,优化出物理厚度 =[,EFkU?B  
镀的厚度除以物理厚度就是tooling lYT_Y.%I  
比如,我镀单层MGF2  1200A    优化物理厚度100nm _B0C]u3D  
....... (2014-07-29 16:47)  x Nb7VUV7  
bbT1p :RF  
谢谢指教
renlgj 2024-08-22 17:16
谢谢一楼
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