镜头畸变与偏心

最近在调试光刻镜头中碰到一个问题，就是光刻物镜对DMD（数字为反射镜）阵列面成像，在调试过程中发现镜头的畸变已经调的比较好，按道理讲DMD像面是没有形变的，但是实际发现即使畸变调整得很好，还是会出现整个DMD像面的某一个角凸出或者凹下，请问这种情况是由于镜头的偏心造成的吗？还是有其他原因！请教各路高手指点！

yu-xuegang	2014-07-01 12:35
DMD是不是和的光轴不垂直？

948283700	2014-07-01 14:21
打酱油

rzyp	2014-07-09 23:58
yu-xuegang:DMD是不是和的光轴不垂直？ (2014-07-01 12:35) s P=$>@3 D#%aow'(7 一般来说是不垂直的，因为在调试过程中基本上没有办法判断，但是即使不垂直偏差也不会太大，因为DMD是安装在机械加工件上（平面度很好）

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