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2014-06-14 23:20 |
面形
面形精度：光学表面几何形状的准确程度 >
[J.
面形偏差：是光学零件的被检测光学表面与参考表面的偏差. 68Gywk3]=u
参考表面可以是样板,也可以是干涉参考表面，或者其他有足够精度的测量装置。 pL5cw =
光学零件的面形精度可以通过垂直位置观察到的干涉条纹的数量、形状、颜色及其变化来确定。 N,c!1: b
国家标准面形偏差包括三项,标注为N ,△1N, △2N DK\XC%~m
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光学样板检验原理： L%T(H< G
当光学零件的被检表面和样板的工作表面（参考表面）相接触时，由于两者的面形不一致，产生一定的空气隙，当波长为λ的光射到空气隙上，便形成等厚干涉条纹。从等厚干涉知道，相邻两亮条纹之间的空气隙厚度差近似为λ/2，即通常所说的一个干涉条纹（光圈）相当于空气隙厚度变化为λ/2。因此光圈数为N部位所对应的空气隙厚度变化为N* λ/2。 {]< G =]'
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一般是用样板或激光干涉仪，通过观察到的干涉条纹进行检测，而光圈的度量包括以下三项面形误差： RqtBz3v
N———半径偏差：被检光学表面的曲率半径相对于参考光学表面曲率半径的偏差。这种偏差产生一定数量的光圈。 njF$1? )sq
△1N——象散偏差：被检光学表面在相互垂直方向上的曲率半径相对参考光学表面曲率半径的偏差不相等。这种偏差体现在相互垂直方向上的干涉条纹数量不等。以两个垂直方向上光圈数N的最大代数差的绝对值来度量 `o JQA$UD
△2N——局部偏差：被检光学表面的局部区域相对于参考光学表面的偏差。这种偏差在任一方向上产生局部不规则的干涉条纹。以局部不规则干涉条纹对理想光滑干涉条纹的偏离量与相邻条纹间距的比值来度量。 n7cy[ %yT
如果允许的最大象散偏差△1N和局部偏差△2N相同时，可用△N同时表示二者的偏差。
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