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光明世界	2014-05-28 10:05
镀膜粉尘问题镀膜粉尘来源： B-B?Ff> s+(l7xH$ 1.来自抽气时造成扬尘。 9*7Hoi4Ji T$#FAEz 2.来自泄气时造成扬尘。 v&k>0lV,^ t5I^1u6 有什么能够改善。特别是镀塑料的东西，镀膜后又没用清洗。头疼

hrhhrh	2014-06-03 09:15
1.清洁真空室 3D]2$a_d 2.改排气 <GbnPG? 3.改进气

leehow534	2014-06-04 21:27
SRV,SVV时间加长可有效改善。 1}i&HIr!b 另，你的盒子干净否？

yangyangyang

2014-06-17 19:42

1，产品上镀前用静电枪除尘
2，对腔室护板进行清洁或更换
3，电子枪或阻蒸进行清洁
4，设备加装离子源（霍尔R2型，或APS都行，关键看你做的产品工艺及客户要求，要求不高国内的离子源也可以）
5，检查你们的无尘室洁净度是不是真的在控制范围内
6，检查你下面的作业人员，无尘服是不是很脏

meron	2015-05-06 20:37
学习了，谢谢各位

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