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镀膜粉尘问题
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光明世界
2014-05-28 10:05
镀膜粉尘问题
镀膜粉尘来源:
E%b*MU
ykS-5E`
1.来自抽气时造成扬尘。
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JBI> D1`"
2.来自泄气时造成扬尘。
c{"qrwLA
e"d-$$'e
有什么能够改善。特别是镀塑料的东西,镀膜后又没用清洗。头疼
hrhhrh
2014-06-03 09:15
1.清洁真空室
S'_2o?fs
2.改排气
H5eGl|Z5]^
3.改进气
leehow534
2014-06-04 21:27
SRV,SVV时间加长可有效改善。
=h>jo&=Wad
另,你的盒子干净否?
yangyangyang
2014-06-17 19:42
1,产品上镀前用静电枪除尘
jmBsPSGIC
2,对腔室护板进行清洁或更换
0{'m":D9
3,电子枪或阻蒸进行清洁
pwg\b
4,设备加装离子源(霍尔R2型,或APS都行,关键看你做的产品工艺及客户要求,要求不高国内的离子源也可以)
Vr7L9%/wg
5,检查你们的无尘室洁净度是不是真的在控制范围内
xFScj0Y
6,检查你下面的作业人员,无尘服是不是很脏
c }7gHud
meron
2015-05-06 20:37
学习了,谢谢各位
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