镀膜厚度监控

在镀半导体激光器巴条和单管时，每次镀到TI3O5时，镀膜速率就会忽高忽低，监测用晶振的寿命也会一会多一会少（比如一会98.55%过一会又会变成98.56%）。镀其他材料时都很正常（AL2O3，SIO2），已经把很多可能都排除了（换晶振，改变温度等）。现在只是在转盘转速低的情况下正常，转速高了就不正常了。。。。请教各位前辈，这可能是什么原因啊

xitang007	2019-10-30 23:21
把光斑设小试试

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