morningtech:对于AT切割晶振片,冷却水温度一般在20几度。 ]8@s+N 正常流量情况下, Iue}AGxu:{ 冷却水温度过低, 则晶振片上膜层应力大,不利于镀厚膜。 !z?& 冷却水温度过高,虽可镀膜厚增加,但晶振片温度高,导致进入较大的温度频率效应区域,厚度精度将下降。 6<1 2j7 ....... (2014-02-13 18:59) k;/K']4y
sgh920:请问多少度以下是温度过低 (2014-02-18 12:58) uB=DC'lkg
morningtech:没有绝对的过低温度,大概20度以下吧,还跟工艺有关。 }<qZXb1 例如,镀金属,本身应力不成问题,低水温的影响就小些。 -x{@D{Q% 镀应力大的介质膜,水温可适当高一点点。有人做过试验,将水温提高到30度以上,晶振片的可使用寿命延长一倍。 ?8qN8rk^+ 但正如前面所说,此时可能会带来较大的频率温度效应,导 .. (2014-02-19 09:47) `_()|; !y
liyungang:我们的设备就是怀疑水温有影响,厂家也说有这种可能。 'C=(?H)M 可有个奇怪的现象,我先镀低折射率材料再镀高折射率的材料,晶控显示的和稳定;但如果我先镀高折射率在镀低折射率交叉膜层的时候,显示的就不稳定,这该怎么解释、? (2014-02-19 11:23) j115:f
morningtech:镀金之前通常要打底,解决的是牢固度的问题。 QCG-CzJ9l 你问题中可能的原因是二者附着牢固度不同,你的低折射率相当于打底了。 VU6+"2+'2 前面所谓有效的使用寿命,从晶振片的稳定性上来分的。 I?nU+t; ....... (2014-02-19 17:04) 4uH} SG[
liyungang:使用的药品是氧化钽和氧化硅,应该氧化硅和晶振片的附着力会更好吧,现在就是第一层镀氧化硅就会调频 (2014-02-20 17:37) Z^Wv(:Nr
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