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光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 搞镀膜三年多,有啥问题,可以来求教啊! [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

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luffy17520 2013-11-21 16:50

搞镀膜三年多,有啥问题,可以来求教啊!

镀膜注重交流,从事镀膜三年,各种问题都遇到过 ,D5cjaX<  
在此开贴交流 , |0}<%  
本人用过光驰otfc nbpf 修过mask,装过离子源 Tg7an&#  
最近使用韩一的机器镀介质膜,金属膜 Qu"8(Jk/  
大家可以交流镀膜经验 ~Q*%DRd&Z-  
本人在设计膜系方面也是比较强的,简单的ar到窄带滤光片。
x-m6 2013-11-21 22:10
我想毕业后从事这方面行业,它发展前景如何?
leehow534 2013-11-28 06:48
你好,昭和的机器用过吗? !:)s"|=  
为什么我们的机器条件以前用得很好,现在总是不良啊,图形老是变来变去的? &C:IX\  
SIO2+OS50 7层 AR
jiangguang 2013-12-02 22:26
leehow534:你好,昭和的机器用过吗? v0ujdp,B  
为什么我们的机器条件以前用得很好,现在总是不良啊,图形老是变来变去的? iky|Tp  
SIO2+OS50 7层 AR (2013-11-28 06:48)  [<7@{;r  
md=TjMaY  
机器不稳定了 维护机器吧
甲虫 2013-12-09 15:17
请问 K9玻璃镀单层氟化镁是什么颜色?
ken_jinyan1 2013-12-09 16:37
请教个问题,最近镀os50/ SIO2   6层AR膜。 ,k.3|aZE  
之前一直是使用AL2O3    H4   MFG2镀AR膜。 ``V" D  
os50 镀4层1.5KA  测的TOOLING     sio2镀5层1.2KA测的tooling Y5f1lUT  
如果两种试料镀0.3KA的厚度。  问下TOOLING是要变大还是变小?
ken_jinyan1 2013-12-09 16:39
我用1.5KA测的TOOLING值,计算出镀0.3KA左右的实际厚度。 ~Io7]  
经过软件模拟,好像 是比较薄的膜层,镀少了。    1KA左右的膜层,变化不大。
jiangguang 2013-12-10 14:16
ken_jinyan1:我用1.5KA测的TOOLING值,计算出镀0.3KA左右的实际厚度。 k;2GEa]w  
经过软件模拟,好像 是比较薄的膜层,镀少了。    1KA左右的膜层,变化不大。 (2013-12-09 16:39)  FI[A[*fi  
$g@=Z"  
两种材料一个TOOLING? _7<FOOM%8y  
leehow534 2013-12-11 21:06
jiangguang:机器不稳定了 维护机器吧 (2013-12-02 22:26)  N2B|SO''  
H+1-]'g`  
感觉还是条件问题,机器上月厂家的人才维护过,现在光量电压300+MV
jiangguang 2013-12-17 09:24
leehow534:感觉还是条件问题,机器上月厂家的人才维护过,现在光量电压300+MV (2013-12-11 21:06) 61. Brp.eP  
xgbJ2Mh  
你确定维护好了吗?厂家的人没准没你水平高。自己去测量下每次的真空度时间吧,基本图形变来变去就是真空不稳定,引起真空不稳定的因素:漏气,电压不稳,扩散泵有水气,可以从这两个方面研究。 #i@;J]x(  
leehow534 2013-12-17 22:22
jiangguang:你确定维护好了吗?厂家的人没准没你水平高。自己去测量下每次的真空度时间吧,基本图形变来变去就是真空不稳定,引起真空不稳定的因素:漏气,电压不稳,扩散泵有水气,可以从这两个方面研究。 %ZNI:Uh  
 (2013-12-17 09:24)  Z3{>yYR+  
(5R?#vj  
你好,谢谢你的耐心解答。 fIj|4a+  
我们的机台可以做多做产品,有些是很稳定,有些以前可以,过一段时间不做就行了,调好了过几天不做也这样,估计还是条件的问题来的。 q[HTnx  
就是不知道你们调条件的时候除了膜厚和起始气压,蒸发源功率外还会修改哪些东西呢? :,Pn3xl  
我才学镀膜一年,水平有限,谢谢你哈
jiangguang 2013-12-21 21:11
没啥 每次镀的时候 保证条件一致就行了 另外可能膜系也有问题 不要太敏感的膜系 如果膜系太敏感 也会出现不稳定 毕竟机器还打不到你想要怎么样就怎么样 还是有一定误差的
lyhric 2013-12-30 18:11
不懂   太高深了
leehow534 2014-01-04 19:26
你好,新年快乐! 89\n;5'f4  
请教一下,我们的晶控仪有时候会出现有光控曲线但没有速率和膜厚的现象,无报警,每个月都会发生一两次,这是什么情况呢?而且昨天又发生了怪事,设定130的膜厚,显示镀了180,这个有可能吗?动作确认无问题 zY|t0H  
谢谢
top6305 2014-01-05 00:27
您好,試片粉塵無法解決?可由哪方向處理?
meiguilu 2014-02-12 14:38
你好,我们公司需要镀一个355波长的介质反射镜,你可以做吗??我是上海的
zg306892415 2014-03-25 22:15
学习啦
rollo_tomasi 2014-04-01 13:57
甲虫:请问 K9玻璃镀单层氟化镁是什么颜色? (2013-12-09 15:17)  \ gLHi~  
:{oZ~<  
可见区的增透膜,以550nm为参考波长,镀四分之一的光学厚度,看起来淡紫色
dongyesiyang 2014-04-01 22:00
和真空度没什么关系,肯定是用光控做AR膜了,光控条件设置时考虑误差因素没有,如果没设置好肯定不稳定,关机器什么事
yuxiaohu 2014-04-03 13:53
對於鍍膜方面的理解近乎為零,請教一下,一般鏡頭,例如手機鏡頭、相機鏡頭,都是鍍了膜的,光線正常進入的時候,光線透過率非常高,是不是意味著,如果光線逆向,從sensor方射出的話,光線透過率會很低?
lengxue1985 2014-04-19 15:35
kankan
chungege 2014-07-11 10:17
meiguilu:你好,我们公司需要镀一个355波长的介质反射镜,你可以做吗??我是上海的 (2014-02-12 14:38)  zcva-ze:;  
n_B"- n  
这个可以做的啊 ;s~X  
jack1yzhong 2014-07-14 16:54
请问如何计算Tooling值,谢!!!
05俊 2014-07-24 14:21
Tooling值是什么
boyhufeng 2014-07-26 15:26
你好, 请问一下,镀膜后改变基底表面曲率了,这种现象常见吗?如何处理?谢谢!~
luffy17520 2014-10-08 10:07
leehow534:你好,昭和的机器用过吗? *#TYqCc+g  
为什么我们的机器条件以前用得很好,现在总是不良啊,图形老是变来变去的? i[ $0a4  
SIO2+OS50 7层 AR(2013-11-28 06:48)嬀/color] ZlHDi!T  
XK"-'  
厚度对ar影响很敏感的,少镀1个nm就差很多
lsm4019 2014-10-24 21:22
你好! k@ K7yK  
请问镀膜材料Ti3O5, TiO2 ,TiO 间镀膜是否有什么差异,紫外光对这样的镀层是否有影响?
caiqiwen 2014-11-06 21:21
请问,有没有做离子注入的?
raofengxiang 2014-11-22 09:42
用韩一机做半反半透,380-720nm范围,反射率50%+-5%,反射色为镜面银效果。 m{7^EF  
单电子枪,12个坩埚,不能用TiO2,低温镀膜。 5~.ZlGd  
请教膜系设计和镀膜工艺
517222552 2015-01-18 22:27
大神 哥哥  你能帮帮我么。。。最近要设计一个滤光膜。。。我搞不定呀。。。
即兴以来 2015-01-19 07:44
请问怎么判定膜系的敏感度呢?仅仅依靠Tfc还是有其他方法? ~Xlrvb}LP  
谢谢不吝赐教!
rodger1123 2015-01-30 15:39
求教怎么设计远红外增透膜
rodger1123 2015-01-30 15:40
远红外增透膜的实用材料
即兴以来 2015-07-24 00:01
请问在PMMA上镀膜,怎么解决膜裂和脱膜的问题?谢谢大神指点
725514453 2015-09-02 21:10
为什么镀半透镜会有重影呢
liuzhonghua 2015-09-11 14:40
怎么计算tooling值和材料的折射率
聂凯 2015-11-16 16:46
胸不平何以平天下,枪不直何以顶天立地。呵呵
武者之心 2018-01-05 11:10
请问大神近红外滤光膜一般用什么材料?膜层厚度是多少?
852509880 2018-01-06 03:33
你好,可以交流交流吗
rexchou 2018-01-12 16:40
樓主該不會離開這行業了吧 xKOq[d/8  
rexchou 2018-01-12 16:42
725514453:为什么镀半透镜会有重影呢 (2015-09-02 21:10)  +:jT=V"X  
s]B"qF A  
二次反射吧
xtzxwwb 2019-11-18 11:07
yuxiaohu:對於鍍膜方面的理解近乎為零,請教一下,一般鏡頭,例如手機鏡頭、相機鏡頭,都是鍍了膜的,光線正常進入的時候,光線透過率非常高,是不是意味著,如果光線逆向,從sensor方射出的話,光線透過率會很低? (2014-04-03 13:53)  udqge?Tz  
Ns~&sE:  
镀膜的穿透与光线垂直于镜片传播时的方向无关,这个浙大的老师有用镀膜理论推导过。所以透过率是一样的。
realyan 2019-11-21 11:28
问一下,目前镀膜机国产品牌都有哪些?比较好的是哪个厂家?
王少伟 2020-03-06 10:21
图形变化分两种,一种是有规律的整体左右漂移或波峰波谷上下差值变动,另一种是无规律的整体形状发生变形,前者的影响因素主要是厚度和折射率变化造成的,造成厚度波动的原因有晶控寿命不足导致检测厚度不准。折射率变化的原因是镀上去的速率不稳,这个影响因素就多了,电子枪、晶控、真空度、离子源等都会影响沉积速率造成膜料折射率波动。
wflney 2020-03-18 21:27
学习学习
luffy17520 2020-03-19 15:48
leehow534:你好,昭和的机器用过吗? XJFnih  
为什么我们的机器条件以前用得很好,现在总是不良啊,图形老是变来变去的? wu^q`!ml  
SIO2+OS50 7层 AR (2013-11-28 06:48)  5~xeO@%I  
Dc:DY:L^  
以前设备的状态不能对比,多抓参数,看看光斑排气充氧是否有问题
luffy17520 2020-03-19 16:01
x-m6:我想毕业后从事这方面行业,它发展前景如何? (2013-11-21 22:10)  (,TH~("{  
S-P{/;c@  
现在回复晚了把,前景还是不错的
luffy17520 2020-03-19 16:02
ken_jinyan1:请教个问题,最近镀os50/ SIO2   6层AR膜。 #O><A&FrF`  
之前一直是使用AL2O3    H4   MFG2镀AR膜。 i)8gCDc  
os50 镀4层1.5KA  测的TOOLING     sio2镀5层1.2KA测的tooling 7>KQRLw  
如果两种试料镀0.3KA的厚度。  问下TOOLIN .. (2013-12-09 16:37)  -UTV:^  
ef,F[-2^o  
薄层的tooling跟厚层不一样,如果条件一下tooling需要变大一点点
luffy17520 2020-03-19 16:03
ken_jinyan1:我用1.5KA测的TOOLING值,计算出镀0.3KA左右的实际厚度。 gfx oJihE  
经过软件模拟,好像 是比较薄的膜层,镀少了。    1KA左右的膜层,变化不大。 (2013-12-09 16:39)  l,^xX =,  
J/L)3y   
对镀少了所以要tooling大一点这样会多镀一点
luffy17520 2020-03-19 16:04
leehow534:你好,新年快乐! zUe#Wp[  
请教一下,我们的晶控仪有时候会出现有光控曲线但没有速率和膜厚的现象,无报警,每个月都会发生一两次,这是什么情况呢?而且昨天又发生了怪事,设定130的膜厚,显示镀了180,这个有可能吗?动作确认无问题 $_ST:h&C  
谢谢 (2014-01-04 19:26)  2Y9y5[K,F)  
MacL3f  
你们是光控加晶控吧 如果光控乱了或者晶控乱了会造成这样的情况,多数为电子枪打火或者离子源打火
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