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光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 晶控仪 XDM-3K [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

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morningtech 2013-11-18 14:24

晶控仪 XDM-3K

大家好， _hyboQi  
上海膜林科技有限公司的新一代晶控仪 XDM-3K，全中文触摸屏，操作简单，含有多项专利技术，国产镀膜机轻松实现自动化。表现优异，详情请见公司网站：morningtech.cn p ASNiH698  
欢迎 各位不吝赐教，帮助我们进步，也帮助大家共同进步。
morningtech 2013-11-21 16:28
可用晶振片     6MHz     Cw]& B  
频率范围     5MHz~6MHz, :RR<-N5+  
频率分辨率     0.005Hz     mw)KyU#l,:  
频率稳定度     1ppm     ,<n >g;  
膜厚分辨率     0.002A     }N^.4HOS8  
测量更新率     10Hz mY?^]3-_  
材料数     112 =zBcfFii`w  
膜系数     20, 可自动串接 o5KpiibFM  
可设定层数     112层/每膜系 }I<r=?  
可控制蒸发源数     3个, 0~10V, 16bit ;Ut0tm  
数字输入     8路兼容LVTTL，功能自定义 WCT}OiLsL  
数字输出     10路常开继电器，功能自定义 r# MJ  
探头数     1，支持六探头     S05+G}[$  
电源     90V~240V,AC, 20W ^T`)ltI]V  
主机尺寸 XDM-3K     438*88*300 (mm,标准工业机柜宽， 2U高度, 深300mm) s7=CH   
控制方法     PID     L A-H  
语言     多国语言(中、英、…)         ?}"$[6.  
通信接口     RS232    
morningtech 2013-11-29 10:56
传一个成膜过程实拍图 (&R /ns~  
[attachment=52513]
morningtech 2013-12-05 08:37
问：什么是控制延迟？ Y`jvza%  
uu L"o  
成膜初始期间，晶控仪在打开蒸发源挡板后，将其功率保持在最后一个预熔阶段功率不变，直到一定延迟时间后才去自动控制蒸发源功率。这个延迟时间就是所谓的控制延迟时间。 7K3S\oPej  
在蒸发源挡板刚打开时，晶振片由于受到热冲击而产生异常频率变化（不是厚度带来的），此时晶控仪根据频率计算出来的厚度及速率不是真实值。所以晶控仪不宜马上自动调节功率，而是延迟一定时间后再去自动控制。 4E]w4BG)  
XDM晶控仪在材料参数中设置控制延迟时间。
morningtech 2013-12-14 09:28
问：什么是挡板延迟？ C o v,#j j  
oLK-~[p  
有些晶控系统中，晶控的探头不受蒸发源挡板的遮挡。在挡板打开之前，晶控仪就能测量到沉积速率。这些系统中，需要在挡板打开时就已经建立起稳定的沉积速率。挡板延迟时间就是预熔阶段结束到挡板打开前，建立起沉积速率的最大等待时间！ heJI5t,  
挡板延迟功能的优点是，挡板开时就已经建立稳定速率。缺点也很明显，探头的位置与产品的位置差异大。 p`:hY`P  
目前，XDM不支持挡板延迟功能。若要实现同样效果（挡板开始已经建立速率），可使用两台XDM晶控仪协作。 -(9>{!",J  
另外，有的晶控仪二者都支持，也有晶控仪只支持挡板延迟。
morningtech 2014-01-05 21:56
负速率及负厚度问题的来源，对所有成膜工艺都存在，只是值大小不同反应不同。 +-YMW;5  
XDM-3K 有额外付费的  专利功能，就是解决这个现象对真实厚度影响的。 U_ n1QU  
经常有超薄层(甚至10nm以下)的用户或愿意研究的可考虑，呵呵。
morningtech 2014-01-13 09:47
问：为什么在挡板打开一定时间内会出现负速率及负厚度？ :N$^x /{  
Rd~-.&   
这是成膜工艺带来的正常现象。挡板打开后，一方面，晶振片由于材料沉积而频率下降，另一方面晶振片受到热冲击而频率上升。而晶控仪只根据频率变化来计算厚度及速率，所以如果此时频率总体上升，晶控仪就会输出负速率及负厚度。 |PR8P!'  
不同的工艺，坩埚材料状态，甚至新、旧灯丝，即使相同工艺也会每次现象都不重合，这都属于正常现象，不需要进行特别处理。 .lnyn|MVb  
u;p.:{'  
留意下起始这个过程，如有稍大改变，说明某个条件变了，需要引起注意的。 pEgQ) 9\  
XDM-3K的额外付费功能，针对此现象对厚度进行修正。
morningtech 2014-01-26 09:35
问：什么是使用晶振片原始速率控制？ BM5+;h !  
晶控仪显示的速率，通常是包含了比例系数在内的。调整比例系数时，尽管显示速率不变，但晶振片控制的实际速率已经被同时改变。 i]&C=X  
实际速率改变会带来一系列问题，比如膜厚分布。 "8}p>gS  
所以，XDM在配置参数中提供了这样一个选项，当用户选择后，XDM晶控仪实际控制速率就是材料中的目标速率，不再与比例系数相关，以保证工艺的重复性。
morningtech 2014-01-31 19:42
问：怎么手工控制功率，晶控仪只用于看速率？ wdg,dk9e$  
Ji4xor  
  1.最简单的办法是，XDM的蒸发源功率控制不外接就可以了，让XDM干着急去； jp=z ^l  
  2.将材料设为定功率方式，外接旋转编码器的两端子分别接至<功率增加><功率减少>两个输入功能，此种方式下，旋转编码器将以0.1%的步进值增加或减少输出功率。如再将输入功能<定功率/自动>接出至按钮(如旋转编码器)，则可以通过该按钮切换控制模式，看看手工与XDM到底谁控得更稳。
morningtech 2014-02-17 14:47
ITAE是什么意思？ q5C(/@)^  
ITAE是英文 <Integral Time Absolute Error> 的首字母，时间乘以误差绝对值|t*delta(E)|积分。 AyHhq8Y  
当以此值作为最优控制目标时，要求后期的误差越小，控制系统才越优化。 A|>~/OW=@  
它是一种具有很好工程实用性和选择性的控制系统性能评价指标。 d-/{@   
| a001_Wv  
速率控制的传递函数(阶跃响应)近似为一阶惯性延迟，里面有三个重要的参数 Gain, Time Const, Dead Time，即增益，时间常数和延迟时间。它们描述了系统的响应与激励之间的关系。 YaiogA  
将PID控制引入控制系统后，如按照ITAE指标最优控制，则PID控制三参数与传递函数中的三个参数之间存在转换关系。(如按其它指标，如ISE，则转换关系是不一样的！) ]DVZeI03@  
M)4-eo  
XDM 速率控制是采取 PID方式的，只是在显示方法上如下区分: <q@/ Yy32  
若ITAE未勾选，显示和填写的是 P,I,D参数。 2;h4$^`dt  
若ITAE勾选，  显示和填写的是 G,Tc,Dt参数，由XDM自动转换出 ITAE指标下的最优 PID 参数。 q?} /q  
|R$V[  
//用户要彻底理解此中缘由，请参考自动控制方面的书籍
morningtech 2014-02-28 15:37
在发一个实拍图 Ze+p;v  
morningtech 2014-03-08 09:37
上图是单个晶振片，用 XDM晶控仪 控制厚度和速率，总层数65层。 <u "xHl8Io  
成膜结果：[attachment=54553]
morningtech 2014-03-27 22:50
小顶一下，从实拍图中看出工艺的朋友请说话。
morningtech 2014-04-10 18:55
有几种手段控制  初始速率过冲
morningtech 2014-04-20 19:29
附加的厚度补偿功能，可以镀制超薄层！
morningtech 2014-05-12 10:23
有朋友说 2台 3x0显示 频率为 0。昨天带着我公司的XDM-3K及虚拟探头，过去检查一下，都是探头及电缆问题。 7{jB!Xj  
问题虽不大，但影响生产及实验，最近还有好几位这样的朋友咨询。 l~ 3H"  
特小结一下： ~,#zdm1r@  
1.  如果没有频率，一般是 探头及电缆连接 有 短路或断路 这样的问题，这次两个都是断路，只是位置不同； - Q3jK)1  
     接 XDM-3K，显示损耗值 在 100%附近，显然是 断路。 0"l*8%g  
     补充说明：XDM-3K就是以断路做基准100%的。 显然，如果是短路，则损耗值将显示为小量。这在探头维护时作用非常明显，呵呵。 \S #Mc  
2.  速率异常，问题复杂，得具体分析； yM* CA,(c  
2.  晶控仪自身不容易坏。
morningtech 2014-05-18 11:47
[attachment=56300] O3ij/8f  
附上晶控仪的图片。 KX8$j$yW  
操作非常简单，性能一流。
morningtech 2014-06-05 08:51
XDM-3K是新一代晶控仪，晶振片使用寿命长， 膜厚控制精度高，速率控制效果好。 2rxZN\gyL  
研究级性能，平民价格。 w3,DsEXu  
适合于生产各类滤光片以及对膜厚精度要求高的过程。 * AsILK0  
W`^euBr7R>  
上海膜林科技有限公司 9gWR djK:  
^7b[s pqE  
morningtech 2014-06-26 11:15
超薄层及对厚度精度要求高，控制可能。 R1,.H92  
2014.06, XDM-3K增加了用U盘导入膜系功能，提供pc软件给用户进行文件格式转换。 6Bv!t2  
inkfly 2014-07-09 10:12
朋友去年开始用这个XDM-3K，效果不错，精度不比进口的差，操控也很简单，赞一个。
morningtech 2014-07-19 14:13
谢谢支持。 8]G  
周一去嘉兴帮朋友看晶控3x0没有频率，用XDM-3K一检查，仍然是探头断路问题。 ;i;2cq  
跟15楼时的情形稍许不同的是，这次是探头没有保养，里面比较脏而已。 [u?*' c{  
morningtech 2014-08-02 11:19
morningtech:谢谢支持。 W{El^')F  
周一去嘉兴帮朋友看晶控3x0没有频率，用XDM-3K一检查，仍然是探头断路问题。 q HU}EEv  
跟15楼时的情形稍许不同的是，这次是探头没有保养，里面比较脏而已。 B2kKEMdGg  
 (2014-07-19 14:13)  $~;h}I  
~dtS  
这种问题很常见，探头其实真没有大家想的那么复杂。 23(j<  
维护也很方便的。
morningtech 2014-08-06 22:10
上海膜林科技有限公司 将携 XDM-3K 晶控仪 参展2014.09.02~05深圳光博会， 展位7H19，欢迎惠临。 ^ UDNp.6k  
2014.10.20~24同济大学第3届光学薄膜前沿国际会议
morningtech 2014-08-26 22:21
上海膜林科技有限公司 将携 XDM-3K 晶控仪 参展2014.09.02~05深圳光博会， 展位7H19，欢迎惠临。 mVs<XnA47  
2014.10.20~24同济大学第3届光学薄膜前沿国际会议
morningtech 2014-09-25 08:53
morningtech:这种问题很常见，探头其实真没有大家想的那么复杂。 F8pP(Wl  
维护也很方便的。 (2014-08-02 11:19)  ;%<R>gDWv  
&_o.:SL|  
有种型号的探头，过真空法兰内部的电连接因腐蚀容易断路，且基本无法维修。 ls,;ozU  
morningtech 2014-10-06 15:46
morningtech.cn 上有晶控仪的介绍，也有晶控技术介绍
morningtech 2014-10-21 10:50
mzbMX <  
2014.10.20~24 第三届光学薄膜前沿国际会议(foc 2014) 同济大学中法中心 U?e.)G  
Oct. 20th, 2014 ---- Oct. 24th, 2014 Sino-French Center, Tongji University DlF6tcoI  
会议日程表 请去会议网站 或 我司网站下载 morningtech.cn B.Y8O^rx  
@x[Arx^?}  
2014.10.22 17:10~18:10， 张贴报告 PII-4，与您相约.  Shanghai MorningTech
morningtech 2014-11-03 10:14
晶控仪频率自检,方便实用. v2KK%Qy  
配合晶振片阻力损害检查, 对晶控系统可以实现实时方便的在线监测.故障快速定位.
morningtech 2014-11-06 11:33
otxtc 2014-11-16 13:10
N}X7g0>hV  
简单易用
morningtech 2014-11-23 09:38
otxtc:[表情] [表情] [表情] TV[@!E a  
简单易用 (2014-11-16 13:10)  1<$z-y'  
1# ;`1i  
谢谢 /;9iDjG  
如果您有任何关于晶控方面的疑问，请与我们取得联系。 !rPU5y*  
或许我们能帮到您，或您帮到我们，都是我们的进步。 SioP`*,}  
联络方式在公司网页上有， morningtech.cn
morningtech 2014-11-26 22:40
这个得顶 *Vr;rk  
inkfly 2014-12-06 15:36
贵司的晶控仪非常OK。性价比超高。 1rGi"kdf  
这次去朋友那边，他把另一台以前的晶控仪也给换成你们的了。 SnFAv7_  
morningtech 2014-12-11 09:23
晶控仪中多层精确计算方法，修正传统算法理论偏差，早已实现。  YW'l),Z  
一般仪器也可以使用传统算法来修正，有兴趣的可以联络我们。高校、研究所免费试用。 }e0>Uk`[  
邮箱：13621983193@163.com x}X hL  
QQ:   1292659135 3iBUIv  
任职：上海膜林科技有限公司 Dhzm C  
公司地址：上海市松江区施惠路111弄5号，邮编201600 i f!   
公司主页: morningtech.cn #Pe|}!)u  
morningtech 2014-12-18 22:08
公司网页 morningtech.cn 有说明书下载，<产品中心>|<资料下载> zsmlXyP'e!  
morningtech 2015-01-01 10:21
2014成果显赫，2015再创佳绩。 .BrYz:#A  
上海膜林科技有限公司致力于真空镀膜行业膜厚过程控制，推出的晶控仪XDM-3K、MXC-3K操作简单，精度高，稳定性高。 ~xU\%@I\  
详情请参考morningtech.cn。 Bl/Z _@  
yinhe2008 2015-01-10 14:36
不错，适合初学者
morningtech 2015-01-12 08:25
yinhe2008:不错，适合初学者 (2015-01-10 14:36)  R/Te ;z  
37 d-!  
u$ff %`E  
使用上适合初学者，流程符合光学镀膜工艺，容易理解。 = PIarUJ  
中文触摸屏，所见即所得，直观，操作简单，认识几个字就可以，对操作人员的要求非常低。非常适合最广大镀膜者的需求。 _`+2e-  
!n|4w$t"V  
实质中，还含有很多在其他品牌中不曾有过的高级光学镀膜工艺，也非常适合高校及研究所等高端使用。 U~O*9  
O]80";Uv  
morningtech 2015-01-23 08:43
结果是做出来的。
inkfly 2015-01-31 09:55
操作非常简单，好用。 F&$~]R=&  
morningtech 2015-03-09 08:31
2015.09.02~09.05 深圳光博会.深圳会展中心 hGb SN_F  
Y} crE/  
上海膜林科技有限公司  预定展位 7F43 lX/:e=  
%6E:SI 4  
morningtech 2015-03-25 18:50
上海膜林科技有限公司 F5%IsAH  
推出的 MXC-3k ， 可支持 144个膜系( 16层/膜系) 或 72个膜系(48层/膜系) <F ?UdMT4y  
石英晶体膜厚控制仪 epG!V#I  
morningtech 2015-04-13 17:41
上海膜林科技有限公司 系列晶控仪 jO}<W1qy  
性能优异，质量可靠。 cXbQ  
也欢迎将您在晶控中遇到的 问题 与我们 沟通。
morningtech 2015-04-24 08:26
上海膜林科技 morningtech.cn 特别推出 适合高校研究所 研究级别应用的 晶控仪。欢迎高校研究所申请试用。
morningtech 2015-05-05 21:42
也非常适合 增透膜，高反膜 {!xDJnF;  
操作简单
morningtech 2015-05-07 17:36
也非常适合 增透膜，高反膜 Qq3UC%Z1  
操作简单
morningtech 2015-05-22 18:05
接组委会通知，为响应《国务院关于中国人民抗日战争暨世界反法西斯战争胜利70周年纪念日调休放假的通知》， =i>i,>bv  
2015年 深圳光博会 展期调整 为 2015.08.31~09.02. A>%mJ3M  
上海膜林科技有限公司，一流的光学镀膜膜厚过程控制仪器提供商，与您相约展位  7F43 。
yuliang518 2015-05-23 06:25
给个赞
morningtech 2015-06-02 08:37
yuliang518:给个赞 (2015-05-23 06:25)  mq+<2 S  
nIGElt]  
好东西也得要宣传啊.
morningtech 2015-06-29 23:21
morningtech:晶控仪频率自检,方便实用. ;*cCaB0u  
配合晶振片阻力损害检查, 对晶控系统可以实现实时方便的在线监测.故障快速定位. (2014-11-03 10:14)  lr]C'dD  
\k5 sdHmI[  
半年多的事实证明，去年开发的频率自检功能结合 XDM-3K 或 MXC-3K晶控仪阻力损耗(发明专利已授权)功能，对晶振故障的快速定位真的非常有帮助。
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