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kevin980828	2005-09-03 22:26
如何计算材料的折射率在蒸镀过程中材料的折射率怎样能够准确算出,我知道折射率跟真空度.沉积速率.充氧量有关,其它的还有吗?那如何计算,如TiO2.SiO2.Os50.SiO.ZrO2等,请各位大侠指教.谢谢!!!

flyinlove79

2005-09-04 11:07

蒸度镀过程中适时手动计算材料的折射率比较困难啊，个人认为必须测准适时的膜层厚度和反（透）射率，或者是在极值点处的反（透）射率，再利用公式进行计算，但感觉不怎么实用。现在的镀膜设备，已经可以自动计算并显示出适时的折射率了。
折射率还和基片温度，沉积角度，膜层的微观结构有关。
折射率测量一个是用椭偏仪直接测量，一个是用分光光度计测单层膜在奇数个极值厚度处的反（透）射率，再用公式计算的间接测量。

wendzb	2006-01-05 11:18
能详细说下单层膜在奇数个极值厚度处透射率用公式计算的间接测量的过程么？？

wangda	2006-04-06 14:14
就是就是,知道的,与大家分享一下啊

tangzs

2006-05-05 23:11

镀个较厚一点的单层膜，根据极值点（膜比基底折射率高的看极小值，膜比基底折射率低的看极大值，并且选取长波段的极值点，因为在长波段折射率色散小）估算出膜层的折射率，该点的反射率，根据薄膜光学原理，相当于单个四分之一光学厚度的膜厚（单层四分之一光学厚度的薄膜等效折射率为n^2/ng,n为膜的折射率，ng为基底折射率)的反射率。算出折射率后，再判断极值级次，根据这个级次就可算出膜厚。现在举一例子加深理解。

此主题相关图片如下：
无法传图，大家可用TFC设计一个 Glass/6.451H/air的曲线对照着看，H的折射率为1.91，入射和出射介质均为air，主要为理解下面的分析用。

图中基底折射率为1.52，该曲线的透过率极大值是空白玻璃的透过率，说明镀的膜没有起增透作用，判断膜的折射率应该大于基底的折射率，所以我们要选极小值点的反射率来分析薄膜的折射率（选极大值等于在分析空白玻璃，因为是偶数个四分之一膜厚，等同虚设层），为选色散小的区域，可以找到最长波段的极小值为1184nm，透过率为80.08%。设空白基底的单面透过率为T1，镀有膜层侧的单面透过率为T2，总和透过率，也就是所测透过率为T，则有关系式1/T=1/T1 + 1/T2 - 1(大家可以自己推算，就是简单的等比数列叠加，可先算出R1，R2和R的关系式　R＝(R1＋R2－2R1R2)/(1-R1R2),然后用1-Rx代替Tx），在这儿T1=95.742%, T=80.08%, T2为未知数，代入后得出T2＝83.037%，于是R2＝1－T2＝16.963%，R2＝(n^2/ng-1)^2 / (n^2/ng +1)^2 ，n=sqrt(ng*(1+sqrt(R2))/(1-sqrt(R2) )=1.910，这就是膜层的折射率

然后来算膜厚。首先判断透过率曲线的级次，在脑中要明确的是，当膜的折射率大于基底时，所有的极小值都是奇数个四分之一膜厚，当膜的折射率小于基底时，所有的极大值都是奇数个四分之一膜厚，根据前面分析，这儿当然是极小值啦。如果没有折射率色散，相邻两个极值之间　的波长位置的比值应为k/(k+1), k=1,3,5,7....(设第一个极值位置波长为λ1,相邻的另一个极值位置波长为λ2，这里假设λ2的级次高于λ1,所以λ1＞λ2，则kλ1/4=nd, (k+1)λ2/4=nd,两者比较后，就得出λ1/λ2=(k+1)/k )。我们来看891.0nm和1184nm这两个极值，1184/891=1.328，　所以判断k=3，于是根据kλ1/4=nd　有　d=kλ1/4n=3*1184/(4*1.91)=464.9nm。

说明：这种方法只是粗略地估计膜层的折射率和厚度，因为我们忽略了折射率的色散，也忽略了薄膜在沉积过程中的折射率非均匀性。要精确测量还是要通过带有修正因子的程序拟合，或且专门仪器测量。

wuhaifei	2006-05-16 10:45
谢谢楼上的向您学习

flyinlove79	2006-05-17 10:26
支持4楼，说的真详细啊

熊熊	2006-06-02 06:19
厉害，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，

梦真光学	2006-06-02 09:30
收获颇多 2([2Pb3<" 不愧是高手阿！！！！！！！！！！！！！

梦真光学	2006-06-02 09:36
很好！！！！！！！！！！！

yufe16	2006-06-02 16:53
大师啊,佩服!

yaocs633	2006-06-11 09:51
tangzs你的理論非常不錯, <Dx]b*H 可太麻煩,現在一般都鍍出Glass/6.451H/aIR後,用850光譜儀測出光譜, ]zO/A4 爾後用TFC或其它軟件計算,就可以的出N,K,吸收等數據, \|IunpZV 很方便!!! '(f/~"9B 哈哈哈哈哈阿

fyghxl	2006-06-20 10:38
已学习.谢谢

libor	2006-07-05 16:37
鼓掌,敬礼.好人啊

yandz	2006-07-06 11:44
引用第11楼yaocs633于2006-06-11 09:51发表的: '0$?h9" tangzs你的理論非常不錯, mMMQ\|ea 可太麻煩,現在一般都鍍出Glass/6.451H/aIR後,用850光譜儀測出光譜, .I}:m%zv 爾後用TFC或其它軟件計算,就可以的出N,K,吸收等數據, rF\"w0J_ 很方便!!! fYE(n8W3 哈哈哈哈哈阿 pT?Q#,fh XC7%vDIt 这位仁兄能否详细告诉细节，小弟感激不尽。

as-dfghjkl	2006-07-10 14:39
有没有好的小软件啊

frokie	2006-07-22 15:01
真是爽啊！！！ 6<0n *& 找了好久这个东东！现在终于有所领悟了！

汪侃	2006-07-30 16:42
大家可以告诉我具体的计算方法吗

gunsh	2007-07-22 21:01
谢谢分享

banchao	2007-11-11 14:24
问一下公式中 ^ 这个符号代表什么？

yufe16	2007-11-26 14:03
谢谢！

yufe16	2007-11-26 17:43
软件中是怎么计算的？

beacon1983	2008-04-13 02:03
R=[R1+R2-2sqrt(R1R2)]/[1+R1R2-2sqrt(R1R2)]，4楼的那个R的表达式是不是进行了什么近似？

beacon1983	2008-04-13 02:07
支持4楼所有的说法，除了那个R和T的表达式·····

sunlaifang	2008-05-24 10:00
与大家分享一下啊

paking	2008-06-05 11:23
支持4楼，说的真详细啊 ]d[ge6 多谢

westfairy	2008-06-16 05:43
学习了，谢谢

westfairy	2008-06-16 05:46
引用第19楼banchao于2007-11-11 14:24发表的 : ]CU]pK?nq 问一下公式中 ^ 这个符号代表什么？ >hY" 3 sBv>E}*R 这个符号"^"代表多少次方，如2^3=8.

paking	2008-06-17 14:09
谢谢，很好！！！！！！！！！！！

chongqigeg	2008-06-20 15:34
高手阿

章钱国	2008-10-08 15:26
谢谢啊

w_x_l_999	2008-10-10 12:44
高手，高手，高高手哦

ivanrich	2008-10-22 11:24
请问版主“一个是用分光光度计测单层膜在奇数个极值厚度处的反（透）射率，再用公式计算的间接测量”中的公式是什么啊？ 2/,0iwj- 谢谢

lyz781128	2008-10-29 21:47
高手呀，高手呀，向你学习

jazlly	2008-11-02 09:17
值得学习

dcjlcm	2008-12-17 18:47
很好好很好

nochin	2011-09-13 10:06
Tkanks!

hailin183	2011-10-21 16:15
老有人说用TFC能算出来折射率可没人说的出步骤了是不是都是听说啊

lzh123	2011-10-30 22:32
谢谢，谢谢很好

b06010914	2011-10-30 23:19
QzGV.Mt2 学习了 vUQFQ

xingmeng1227	2011-11-07 09:16
很好！！！！！！！！！！！

xingmeng1227	2011-11-09 18:14
很好！！！！！！！！！！！

ken_jinyan1	2013-04-06 17:44
说的很详细了。

qdxing	2013-09-16 21:07
4楼真明白

轩中龙	2014-02-19 19:27
不愧是论坛高手

yangyangyang	2014-06-17 20:11
用哈特曼公式，楼主！这么简单的问题也问，前提是你要弄懂这个公式，搞懂后任何镀膜设备都不是问题，我这个是在小日本那里学来的

dirkjiayou	2014-07-03 15:25
你们所说的真空度可以理解成磁控溅射中的溅射气压吗？

即兴以来

2014-10-31 10:32

yaocs633:tangzs你的理論非常不錯, kM*T$JqN
可太麻煩,現在一般都鍍出Glass/6.451H/aIR後,用850光譜儀測出光譜, vx0UoKX
爾後用TFC或其它軟件計算,就可以的出N,K,吸收等數據, "h$R ]~eG
很方便!!! f>iuHR*EXB
哈哈哈哈哈阿 (2006-06-11 09:51) <,39_#H?F3

你好！
请问用TFC怎么计算材料折射率？
能不能说一下具体的步奏，非常感谢！

即兴以来	2014-10-31 16:43
刚看到一个用tfc计算折射率的方法，不知道准不准，练习中

qxb2008	2014-12-25 14:02
谢谢楼主分享，学习了。 W7e4pR?w O k(47nC www.laomaotao.net/?M7843

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