上海光机所高精度长程光栅研制取得进展

中科院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室周常河、贾伟等人近期成功研制出高精度长程光栅的加工装置，其主要优点是速度快、精度高。利用该装置已加工出40微米、20微米、10微米、5微米等多种周期的高精度光栅。研制出的5微米周期光栅长度达到210mm，周期均匀性实验控制精度优于亚纳米级。该装置可以拓展加工米级光栅甚至更长光栅，研制的高精度长程光栅将显著提高我国在此领域的技术水平。 LteZ7e
lnt}l
光栅尺是通过物体移动时，采用莫尔条纹或相关技术，通过移动光栅的计数，实现精密测量的技术，可以看作观测物体精密移动的“眼睛”。光栅尺以其小巧简单的结构，广泛应用于机床加工，电控移动平台等精密移动测量，其精度直接决定了精密机床的加工水平和精密移动平台的水平。光栅尺的核心部件就是高精度光栅，但高精度的光栅国外对我国实行禁运，特别是具有纳米精度的长程光栅，是我国高精度光栅尺产业必须解决的关键难题，也是目前纳米制造技术面临大尺度纳米加工精度的极大挑战。本次在高精度长程光栅研制方面取得的突破使得我国具有了制造高精度光栅尺光栅的能力，对我国机床高精度加工及精密移动平台等相关产业的发展具有积极推动作用。 T;{"lp.
LmjGU[L,@

[attachment=51705]

[attachment=51706]

研制成功的高精度长程光栅照片：上图：(a) 光栅长度210mm；下图：(b)显微图片，光栅周期5μm，周期均匀性实验控制精度优于0.03nm。

hi_light	2013-10-25 09:33
沙发。很好很好！！早日实现实用化。

redplum	2013-10-25 09:48
太厉害了

opticschip	2013-10-25 10:03
加油，早日发明出更厉害的产品。

tomryo	2013-10-25 10:25
太厉害了

cartinom	2013-10-25 10:40
長程光柵？

hustxyz	2013-10-25 11:26
学习下谢谢

埃土	2013-10-25 12:15
厉害！

蕴藉之身	2013-10-25 12:34
很好嘛，国产光学多多进步

wulv123456	2013-10-25 12:38
不清楚

有何不可谌	2013-10-25 13:12
嗯，希望能早日实现

冰雨林	2013-10-25 15:43
很不错，贺电

筱筱寒	2013-10-25 18:52
这个很有实用价值哦。

liang153	2013-10-25 19:33
高精度长程光栅研制取得进展

小格	2013-10-25 20:30
又突破了。。哦也

mraker	2013-10-25 22:12
顶，这个厉害呀

chenkunhua	2013-10-25 22:36
关注一下

tassy	2013-10-26 00:01
不清楚

wtyssg	2013-10-26 00:53
厉害啊

wtyssg	2013-10-26 00:54
学习学习。好好整啊

bairuizheng	2013-10-26 01:28
祝贺，赞一个！

optikma	2013-10-26 07:32
goooooooooooood

jm2006031089	2013-10-26 08:13
厉害，希望早日运用

ldmin2008	2013-10-26 08:59
好！！！

粱皇无忌	2013-10-26 09:11
厉害。。。。

hanlinvan	2013-10-26 09:18
来了解一下

xplone	2013-10-26 09:28
任务而已

redplum	2013-10-26 09:49
很好的成果

艾达牛牛	2013-10-26 09:52
支持自主研发^_^

liang153	2013-10-26 10:38
上海光机所高精度长程光栅研制取得进展

xysuen	2013-10-26 11:08
学习学习！

埃土	2013-10-26 12:12
顶，谢谢分享

wulv123456	2013-10-26 14:01
很好啊

小格	2013-10-26 15:40
haojisua ...zhongguode

quan416	2013-10-26 16:34
zhidaole

cartinom	2013-10-26 16:50
話說.....光柵到底用在何處？為何會被禁運！

rojerzhao	2016-12-19 09:17
激动!!!

查看本帖完整版本: [-- 上海光机所高精度长程光栅研制取得进展 --] [-- top --]