ENERGETIQ 激光驱动宽带光源
ENERGETIQ 激光驱动宽带光源 )Kc<j!8-[ wL+s8#{ Energetiq光源是一款高亮度,高稳定宽谱光源,采用自主研发的光源技术——LDLS™激光驱动光源技术,使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度,以产生高效的宽频谱光。具有高可靠性,高性能,高亮度,长寿命等特点。其产品具有很宽的光谱范围,谱线包括软X 射线(SXR),远紫外线(EUV), 深紫外线(DUV), 并覆盖从可见光到红外光区(IR),波长范围从 170nm到2100nm 以上。无电极的 LDLS 技术可以产生少量,高亮度的等离子体,以获取高效的光源,并且延长了灯的使用寿命。 >6ni")Q9 (!ux+K 部分型号参数: EaO6[E q$0*b]=E 电极激光驱动光源技术 R6` WN SL Ws*aq Energetiq 自主研发的激光驱动光源(LDLS)技术使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度,以产生高效的宽频谱光。使用传统的方法,如弧光灯,氘灯,当使用电极连接电源和等离子体时,灯的亮度,紫外能量,使用寿命非常有限。无电极的LDLS 技术可以产生少量,高亮度的等离子体,以获取高效的光源,光谱范围包括从深紫外到包括可见光及以上的谱线,并且延长了灯的使用寿命。 -$pzl,^ h lEH65;Nh* 革命性的新技术---连续激光等离子放电 66g9l9wm( 9g9HlB&Ze 宽谱线,高亮度,从 170nm 到包括可见光区至1000nm 以上。性能和特点优势 连续激光等离子体放电 极高亮度,波长完全覆盖从170nm 到所有可见光及以上的波长 解决了对灯需求的多样性(可代替氘灯,钨灯,氙弧光灯),简化光学系统 极好的空间稳定性,可重复测量 可在极短时间,或很长时间内有稳定的能量输出,可重复测量 长寿命,无电极工作,降低消耗成本,减少光路校准量
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