光学系统装调工具——3-D装调定位仪的应用及原理
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4 仪器介绍 ?OdJt PSM 3-D装调定位仪源自美国亚利桑那大学光学中心,是一个通用型辅助装调工具,主要应用于复杂光学系统的装调,可以有效帮助确定光学元件各表面的球心位置,从而完成光学系统光轴准直。 d1/uI^8> 仪器利用光学自准直系统、微透镜及软件算法等实现光学装调定位的精密光学仪器,该仪器重点为对光学装调的理解与认识,能够进行多种测试,该发明者在美国亚利桑那大学光学中心有着多年的光学装调及测试经验,通过多年的研发,总结了在光学装调方面多种技巧,适应各种苛刻条件的装调(如:大镜面的离轴测试),并能够根据客户的需求给出用户不同装配方案,软件方面,测试数据可以直接导入到labview中,方法简单实用。 Q*caX
产品应用n 便携式高精度数字显微摄像机,用于研究小样品或者大目标。 n 非接触,3-D测距探针可以用做三坐标测量机或x-y-z位移台上星点法检测成像系统;能量百分比数据分布在一个圆形区域内,在离轴镜校准过程中,我们可以看到像差的逐渐减小。 n 在没有物镜头的情况下,使用电子自准直方法。 n 借助于三坐标测量仪或者简易的调整夹具,可以快速装调复杂的光学系统。 n 快速检查光学系统的装调定位情况。 n 对于光学平台或者导轨上的被测件,可测量其表面的曲率半径。 n 光学表面与机械基准面的校准定位,例如定位球、测孔规等。 so }Kb3 n 测试原理: X-J<gI(Y 本仪器结合了光学自准直原理,通过与高精密元件及软件书案发的配合实现对精密仪器的定位作用。 QiQO>r [attachment=47950] usOIbrQ 如图,如果物镜的焦点精确定位在球面镜的曲率中心。 ^?gs<-)B [attachment=47951] n##d!d|g 则反射光会在探测器的中心位置聚焦成一个点,该点在CCD上成像如下图所示: MUqV$#4@I [attachment=47952] Q~G>=J9 Uv(Uj3D 如果物镜的焦点没有精确定位在球面镜的曲率中心,一般情况下,反射光将不能聚焦或者成中心对称像。通过PSM Align ©软件得到反射光形成的光斑大小和偏离的距离。
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