光刻机照明系统设计

随着微电子产业的迅猛发展，我国迫切需要研制极大规模集成电路的加工设备-光刻机。曝光波长为 193nm 的投影式光刻机因其技术成熟、曝光线宽可延伸至 32nm 节点的优势已成为目前光刻领域的主流设备。照明系统是光刻机的重要组成部分，其主要作用是提供高均匀性照明、控制曝光剂量和实现离轴照明，以提高光刻分辨率和增大焦深。论文以深紫外光刻照明系统光学设计为研究方向，对照明系统关键单元进行了光学设计与仿真研究。

CAJ文件
长光机博士论文

xingyu4153	2013-04-02 09:20
长光机博士论文

drymatini	2013-04-02 09:29
好资料！

moth	2013-04-02 09:41
看看看················

姜守望	2013-04-02 12:11
顶一下，……

yu-xuegang	2013-04-02 12:33
顶一下，……

tmdapple123	2013-04-02 19:53
光几所！哎

maiwudi	2013-04-02 20:36
看看啦

ciomp1312	2013-04-04 10:02
长光机博士论文

光学行当	2013-04-04 13:52
看一看

winsword	2013-04-04 18:16
好东西啊

qq41894351	2013-04-04 20:11
不错哦，支持一个

q5909811	2013-04-04 20:49
呵呵挺好的

mumapiaoyun	2013-04-04 21:36
学习学习，不错的东西

mumapiaoyun	2013-04-04 21:36
怎么看不了呢，呵呵

wxb5115	2013-04-05 21:31
好文要顶

sudax	2013-04-06 12:52
看看。。。

sudax	2013-04-06 12:53
sudax:看看。。。 (2013-04-06 12:52) 5z]dA~;*2 Ro<!n>H kankan。。。

_yyyang	2013-04-06 22:19
多谢分享~

nishisheiyae	2013-04-08 11:37
谢谢楼主分享支持

kevien	2013-04-08 12:01
学习一下

miahoho	2013-04-08 16:14
学习，相同的技术背景哦

zhangnengyi	2013-04-08 21:46
顶一下，学习学习！

ekisyou	2013-04-09 08:06
顶一下。。。。。

娜娜紫	2013-04-09 09:03
....不许灌水

wushenjian	2013-04-09 13:24
看看怎么样呀

jccqqqqq	2013-04-09 14:38
我来学习下

wjf_85	2013-04-09 15:59
shadonddong

ljh289518	2013-04-11 22:32
好东西

adai22	2013-04-30 00:03
长春光机所哦，牛逼

121331768	2013-05-07 18:39
学习了。

雨雪霏霏	2013-05-07 23:48
哎，又见师兄的博士论文，你们那里搞的

ciomplj	2013-05-09 22:05
我想看看，谢谢了！

hotter4760	2013-05-16 15:49
用户被禁言,该主题自动屏蔽!

甲虫	2013-06-04 14:41
看一看

将心向火星	2013-07-12 18:50
看看什么水平

bfzs2012	2013-08-14 14:41
学习一下

jianjun123	2013-08-20 15:53
学习一下........

chengzheng	2013-08-31 22:54
学习下，谢谢

aircat	2013-09-26 14:31
瞭解一下這系統

zhchqphchz	2013-10-17 20:05
take a look U 0RfovJ tks a lot

nihao999	2013-11-05 22:38
学习中

maliang887	2013-11-07 09:51
学下学习

beckwei	2013-12-20 14:40
好啊!看一看

doddshi	2014-01-06 22:29
学习了，下

zoubois	2014-01-07 15:07
先来学习一下了

chengzheng	2014-01-07 22:37
谢谢楼主分享

sswing	2014-01-07 22:51
NIUBIHH

qazber	2014-01-23 16:20
光刻机很高端啊

xyx8002	2014-03-25 14:50
好资料！

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