tfcalc68:有啊,怎么做修正版?左边活动的和右边固定的(2013-04-17 16:08)嬀/color] [L275]4n!]
louyc:楼主感觉这2种设备用的怎么样?(2013-05-21 09:38)嬀/color] ;CW$/^QNr5
ken_jinyan1:我公司现在使用的机器是光驰GENER1300 #4M0%rN 一般都是镀AR膜 9层以内。 Mk[`HEO 这两天镀几罩14层的IR-CUT,感觉坩埚盖板上的附着物很多,还有翘起的情况。 &u-Bu;G.e 现在担心膜层镀的再多的话,会不会有附着物掉到坩埚里的情况,造成崩料。 CvJEY ....... (2013-12-10 10:50) Dfia=1A
luffy17520:大机器有2中修正板,一种是基板左右的,每次做单腔来调整,还有就是基板挡板换成修正板,同理。 twmJ 大机器还有离子源修正板,这个比较简单。 K- C-+RB 小机器为左右挡板,试验原理也是单腔 yMl'1W 波长长了就修掉一点,让ibs多多轰击即可 DAHf&/JK ....... (2013-11-21 15:53) Ag0_^
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