光刻机镜头设计

本文针对极大规模集成电路制造的工业化生产需求，开展面向 100nm 曝光节点的高数值孔径（NA）、深紫外（DUV）投影光刻物镜的光学设计与仿真。即综合元件加工、检测、镀膜、光学材料、机械结构、照明系统以及分辨率增强等各项技术要求和约束，完成 NA0.75，工作波长 193nm（ArF）投影光刻物镜的光学设计。同时为最大限度地降低投影光刻物镜的制造成本并确保的各项性能指标，研究投影光刻物镜可能采取的像质补偿措施和方法。
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长春光机所博士论文

qsj98	2013-03-29 10:57
看看,学习学习.

superyu2009	2013-03-29 10:58
谢谢看看学习

qsj98	2013-03-29 11:09
已回复却看不见博士论文 .

qsj98	2013-03-29 12:05
博士论文可以看见了,谢谢.

yu-xuegang	2013-03-29 12:31
学习学习。

zanmous	2013-03-29 12:44
看看，谢谢，支持，顶！

sms55	2013-03-29 16:17
学习学习

vurtne_000	2013-03-29 23:20
支持一下学习中

小飞	2013-03-30 13:18
看看！！！！！！！！！！

yanguestc	2013-03-30 13:24
看看有用没

雨雪霏霏	2013-03-30 20:07
光刻机镜头设计

雨雪霏霏	2013-03-30 20:10
版主是谁啊，怎么会有我大师兄的博士论文？

hotter4760	2013-03-30 21:30
用户被禁言,该主题自动屏蔽!

农远峰	2013-03-31 16:25
学习。谢谢

hoxomo	2013-04-01 11:08
看看,学习学习.

zhengbin	2013-04-01 11:50
学习了谢谢

gylx1206	2013-04-01 11:55
看看啥情况！！！！！！

chenhf	2013-04-01 12:29
刚进，看不了啊。

huxingong	2013-04-01 12:56
来参观下

hutuwa	2013-04-01 13:38
xuexi xuexi

xiaobing	2013-04-01 20:07
学习了

yisheng123	2013-04-01 21:06
谢谢看看学习

drymatini	2013-04-02 09:40
好东西，谢谢分享

姜守望	2013-04-02 12:19
看看看……

zpx1007	2013-04-02 13:35
国内高数值孔径的光刻镜头几乎是空白啊就算是设计得出来也不一定能做出来

jabil	2013-04-02 16:37
thanks

maiwudi	2013-04-02 20:27
看看支持了

光学行当	2013-04-03 12:02
学习学习

happy201314	2013-04-04 12:04
看看多谢

limje.t	2013-04-04 12:05
看看看谢谢

brighter521	2013-04-04 14:16
感谢分享！

winsword	2013-04-04 18:00
谢谢看看学习

qq41894351	2013-04-04 20:10
好像很厉害的样子

q5909811	2013-04-04 20:32
呵呵真好 E+Mdl*

wxb5115	2013-04-05 21:28
关注行业发展

adai22	2013-04-30 00:12
谢谢看看学习

121331768	2013-05-07 18:39
学习，谢谢了。。。

winsword	2013-05-07 19:20
挺不错的

lizimu	2013-05-07 19:50
顶顶顶

jabil	2013-05-09 13:59
nice sharing

haseeker	2013-05-09 14:13
看看了

linsenyu1215	2013-05-09 14:16
看看！！！1

xpwj	2013-05-09 19:51
很好，学习一下

ciomplj	2013-05-09 22:02
我想看看，谢谢了！

xiaoweizhao	2013-05-21 09:39
wa boshi lunwwen a

xiaoweizhao	2013-05-21 09:40
chage guangbi

visuangle	2013-05-21 09:43
学习了解

ajsym	2013-05-21 12:29
kankan

tassy	2013-05-22 01:53
看看,支持一下,学习中.

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