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拉比熊	2013-01-14 19:58
影响光洁度的多个因素小弟做镀膜不久，曲线什么都好调整，但是就是光洁度不行，请问大家应该从哪些方面来考虑? 谢谢！！！

fj6888	2013-01-20 10:13
真空室、离子源、电子枪、膜料

jingjing520	2013-01-22 09:54
楼上回答的挺全面了从这些工艺参数里找原因

a060103112	2013-02-27 11:43
有些基板材料本身就有吸附灰尘的特性，静电原因

louyc	2013-05-21 13:42
说的都不错

jiangguang	2013-06-15 08:37
其实让预抽的时间长一点能改善很多

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