首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题

光行天下 -> 光学检测、光学测量与光机装调 -> 150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设计 [点此返回论坛查看本帖完整版本]

[打印本页]

<< 1 2 >> Pages: ( 2 total )

菲索干涉

2012-07-13 16:26

150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设计

菲索干涉仪器球面标准镜参考文献，很不错的说。

摘要：在高精度的光学元件面形检测中,为了保证检测的精度,必须对高精度菲索干涉仪的标准镜的自重和温度变形进行严格地控制。针对高精度菲索干涉仪标准镜的精度要求, 设计了一种新的标准镜装卡结构。采用有限元方法分析了标准镜在胶接方式下的表面变形情况,参考面表面变形峰谷( PV)值仅为9. 6nm , 均方根( RMS) 值为2. 1nm。同时对不同环境温度下参考面的变形进行了计算得出面形的峰谷值和均方根值。最后介绍球面标准具的装配过程。

关键词：应用光学；菲索干涉仪；标准镜；镜面支承；有限元法

心1竹	2012-07-13 16:42
学习。。。。。。。 c~{)vL0K

superyu2009	2012-07-13 22:22
呵呵正在研究干涉仪器

hutuwa	2012-07-14 09:25
有那么好的数据吗？ lambda/100 = 6.3nm 4 X6_p( 还是lambda/10、lambda/20的比较靠谱

taihengjc	2012-07-14 15:02
路过顶下

yu-xuegang	2012-07-14 15:56
学习学习，

菲索干涉	2012-07-16 14:00
hutuwa:有那么好的数据吗？ lambda/100 = 6.3nm cuW&X9\m, 还是lambda/10、lambda/20的比较靠谱 (2012-07-14 09:25) L>1i~c&V Gtpl5gQH 设计的吧，真正制造精度能到达lambda/20不错了

fghiop	2012-07-16 21:33
150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设

ekisyou	2012-07-17 08:04
路过，看一下

sandtxj	2012-07-18 15:58
好东西！！

BASO	2012-07-18 22:12
学习。。。。。。。 AQa;D2B$

xiaobing	2012-07-21 20:29
又一个关于菲索干涉仪的的帖子

adai22	2012-07-27 00:15
好东西，看看

wangqinqinmm	2012-08-08 13:33
看看什么内容

wangqinqinmm	2012-08-08 13:33
看看看看看

hallowy	2012-08-21 09:15
学习中。。。

hallowy	2012-08-21 09:15
不知道能不能看到

hallowy	2012-08-21 09:15
lambda/10

tommyliu	2012-10-13 10:21
学习一下，谢谢啦

binaryoptics	2012-10-19 23:44
学习学习好东西

小屁孩儿	2012-10-23 09:29
学习一下

ancijade	2012-10-30 21:04
好东西！！

wushenjian	2012-11-13 11:10
xiazaixia

oxfocean	2012-12-14 10:21
高水平的东西，我也来看看

doveathena	2012-12-19 20:30
求学习~~~

高瑞	2012-12-21 11:49
呵呵正在研究干涉仪器

油库里里	2012-12-23 09:52
您好！！！您好！！！非常高兴认识大家！！！！

tj13406	2013-01-07 13:51
11111111111111111111

lj351264729	2013-01-09 15:13
路过，感兴趣，看看

jackchen6006	2013-01-14 11:14
ZYGO干涉仪检出9.6nm似乎太好了。

jllvbo	2013-01-17 21:04
菲索干涉仪器球面标准镜参考文献，很

ds1234567	2013-01-29 19:49
这个要看看吗，应当。

hhxxgg00	2013-01-30 09:00
好东西啊啊啊

jabil	2013-02-01 13:57
let me thank you

gmx2011	2013-02-06 10:26
看看谢谢LZ

ch12905	2013-02-18 19:05
ding~~支持，学习 lCAD $Ia~

mumapiaoyun	2013-02-18 19:15
学习下，好好的，感谢

99658027	2013-03-15 10:33
thanks ]QJWqY

yazhuge	2013-04-11 16:06
学习一下，谢谢

doddshi	2013-05-05 00:04
看看先谢了

damoguyanmhl	2013-06-07 21:48
谢谢楼主啊学习学习

ggyy	2013-07-25 22:54
学习，研究，谢谢资料。

逆蓝123	2013-07-29 10:48
表面参考镜子的倾斜是多少？

逆蓝123	2013-07-29 10:48
我想知道整体的光路怎么序列于非序列相结合

windgauss	2013-07-30 11:47
好东西下载看看

沧海一声笑	2013-08-28 17:09
haodongxi

云中山海	2013-09-04 10:27
参考下

lovecc	2013-09-05 10:48
学习学习多谢楼主分享、

ken_jinyan1	2013-09-05 11:25
谢谢楼主

chengzheng	2014-01-02 21:44
谢谢楼主

查看本帖完整版本: [-- 150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设计 --] [-- top --]