| degpak09 |
2012-03-09 15:16 |
上海中电网供应SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品
高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 (tpof
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Db,= 2e 美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, &
L3UlL \boL`X 其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 &!6DC5 @?Fx 1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 ret0z| .`mtA`N 应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 d>;2,srUf \.kTe<.:_ 2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. )X~#n m]1!-`(* 1.多层厚度(1 纳米 到 250 微米) Kc-Y 2.折射率n :;q>31:h 3.吸收系数k zfirb 4.双折射率 \U Ax(; 5.能隙(Eg) 3y/1!A3 6.表面粗糙度和损伤 m:b^,2"g 7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) t18UDR{ 8.薄膜温度特性 6GY32\Ac 9.晶元曲率和薄膜耐压性 ,zG <7~m Q5hb0O%a 应用实例,上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 qP qy4V.; O1|B3M[P 详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: ;v%Q8 ^g70AqUc 电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生
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