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白开水	2012-03-08 22:18
关于镀膜设备的问题打开扩散泵后发现里面有很多像砂子一样的东西，是油的质量不好还是蒸发室的膜料被抽到扩散泵了？哪位高人给我分析一下？我们用的是高真空硅油。

yzhuang	2012-03-13 14:37
膜料的可能性较大，但是我觉得不影响扩散泵的功用。

tomysmith68	2012-03-27 14:37
这些一部分是真空室里的空气灰尘，还有一部分是膜料，经过长时间的高温后，被碳化了，所以看上去像砂子，在正常使用时不太会影响真空速度，但是每年必须清理一次。