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dede	2012-02-15 23:13
关于Ta2O5用于三层增透膜时 Ta2O5用于三层增透膜时，零件发黄，吸收大，其镀时参数是250度，速度为3埃/秒，充氧1E-2，2E-2，均试过，请教过很多高手，好象均无有良策？

laohu0504	2012-10-16 13:15
解决问题了没有呢? 可以联络laohu0504@163.com 6r`N\ :18

dede	2012-10-23 00:43
现在不用TA2O5了，用H4代替 \|\|Owdw\|{ /&Cq-W

jiangguang	2013-06-15 08:50
什么高手啊都加离子源 Q,JH/X

crl0129	2013-11-21 13:58
学习一下！！

dididida	2019-11-05 11:54
大虾，还在吗？我最近也是做了一个用SIO2+TA2O5 9层结构并且最外层加MGF2的增透膜系，加热工艺，温度270，速率2.5-3.5，也是遇到了380nm附近一段吸收很大的问题，想请教一下你之前的这个问题是有解决吗？可以给我点意见吗

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