折叠式光刻物镜-光学设计及经验-光行天下-最大的光电技术社区-光学,光电,光机技术及其软件运用交流社区!

首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题

光行天下 -> 光学设计及经验 -> 折叠式光刻物镜 [点此返回论坛查看本帖完整版本]

[打印本页]

phoenixzqy	2012-02-14 22:14
折叠式光刻物镜在原有光刻物镜专利的基础上，对物镜进行了简化和修改，留出了添加反射镜的空间，实现了光路的折叠。

phoenixzqy	2012-02-14 22:15
帮一学生做的光路模拟。

phoenixzqy	2012-03-27 00:43
双远心光路！

hoxomo	2012-08-31 17:47
4:1的？

phoenixzqy	2012-08-31 21:47
hoxomo:4:1的？(2012-08-31 17:47)嬀/color] U#U]Pt @}kv-* 差不多。从图上能看出来的。

phoenixzqy	2012-09-27 22:40
欢迎交流合作

hoxomo	2012-09-28 15:57
NA 多少？ 3N_"rNKD

phoenixzqy	2012-09-28 20:46
hoxomo:NA 多少？ J_;o\|gqX (2012-09-28 15:57)嬀/color] o]opdw pxa( 专利未修改之前，NA不到0.1； k1!@^A %Z1N;g0 图中这个系统的设计要求是0.03~0.04.。

ilyhairpin	2012-09-30 17:09
貌似很复杂

ilyhairpin	2012-09-30 17:10
貌似很复杂哎

phoenixzqy	2012-10-01 08:43
ilyhairpin:貌似很复杂哎(2012-09-30 17:10)嬀/color] ^=-y%kp" K9up:.{QQ 还好。在专利基础上修改的。

deaneliu	2012-10-03 14:46
请问LZ，这是用什么软件做模拟的

phoenixzqy	2012-10-03 18:48
deaneliu:请问LZ，这是用什么软件做模拟的(2012-10-03 14:46)嬀/color] 4?q<e*W IvtJ0 zemax oslo codev都可以的。

phoenixzqy	2012-10-03 18:48
deaneliu:请问LZ，这是用什么软件做模拟的(2012-10-03 14:46)嬀/color] SBfT20z[ &;[Io 成像软件都可以。

hoxomo	2012-11-22 16:40
phoenixzqy:专利未修改之前，NA不到0.1； N`5,\TR2f 图中这个系统的设计要求是0.03~0.04.。 (2012-09-28 20:46) cdl&9-} *`ua'"="k NA有点小啊，分辨率不高啊。

phoenixzqy	2012-11-22 20:38
hoxomo:NA有点小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] C%$edEi ]/[FR5> 这个系统分辨率很高，不要只按na计算。你可以在zemax里模拟一下。

phoenixzqy	2012-11-22 20:40
hoxomo:NA有点小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] ]e"=$2d$ ~bM4[*Q7 mtf@500仍大于0.35

hoxomo	2012-11-30 17:54
phoenixzqy:mtf@500仍大于0.35 (2012-11-22 20:40) O,J>/ .Obw\|V- 那挺不错的

ekisyou	2012-12-08 22:11
封装上面用的吗

phoenixzqy	2012-12-24 22:50
ekisyou:封装上面用的吗(2012-12-08 22:11)嬀/color] H9KKed47d/ N/]o4o 投影光刻上用的。紫外光刻。

bruce45	2013-02-04 12:12
看看了

phoenixzqy	2013-04-13 17:47
bruce45:看看了(2013-02-04 12:12)嬀/color] gfX\CSGy 0rh]]kj 欢迎讨论！

darkwzj	2013-04-17 20:43
请问您主要从哪些方面来评价像质的呢？ z8{a(nKP 您的设计指标中对像质是如何要求的？ Kpb#K[(]& 另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？

phoenixzqy

2013-04-17 20:48

darkwzj:请问您主要从哪些方面来评价像质的呢？ *&?c(JU;<
您的设计指标中对像质是如何要求的？ ,$1eFgY%
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？ (2013-04-17 20:43) =g/{%;

像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf 或者可以看一下psf
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了

darkwzj	2013-04-17 21:29
phoenixzqy:像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf 或者可以看一下psf }\| J79s2M 这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 rA2g& na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了(2013-04-17 20:48)嬀/color] N-I5X2 'rMN=1:iu" 感谢回答~

phoenixzqy	2013-04-17 22:42
darkwzj:感谢回答~ (2013-04-17 21:29) Row)hx8 Q3\|T':l4 客气常交流

ciomplj	2013-06-13 17:07
学习学习~

phoenixzqy	2013-06-13 22:35
瞎搞的，帮一个学生做的。

chengzheng	2013-08-31 22:58
学习下，谢谢

hehexixi2211	2013-09-01 01:42
好帖子，学习了

phoenixzqy	2013-09-02 22:19
hehexixi2211:好帖子，学习了 (2013-09-01 01:42) {@<J_A V\})3i8 谢谢！常来。

phoenixzqy	2013-09-02 22:19
chengzheng:学习下，谢谢 [表情] [表情] [表情] [表情] (2013-08-31 22:58) @]qBF]6 wHIj<"2 客气常来

huangzanli	2015-09-16 09:02
不错，学习了

phoenixzqy	2015-10-08 17:01
huangzanli:不错，学习了 (2015-09-16 09:02) #q3l!3\mW AH4EtZC=W 常来。欢迎交流。

frra8788	2017-03-16 20:44
好帖子学习学习。

liqiuguo	2019-05-24 11:00
帮顶！

查看本帖完整版本: [-- 折叠式光刻物镜 --] [-- top --]