折叠式光刻物镜

hoxomo:4:1的？(2012-08-31 17:47)嬀/color] xf?*fm?m  

hoxomo:NA 多少？ ;fw}<M!6  
(2012-09-28 15:57)嬀/color] eW,{E)x:  

ilyhairpin:貌似很复杂哎(2012-09-30 17:10)嬀/color] <O:}dXqZ  

deaneliu:请问LZ，这是用什么软件做模拟的(2012-10-03 14:46)嬀/color] ._%8H  

deaneliu:请问LZ，这是用什么软件做模拟的(2012-10-03 14:46)嬀/color] b{BiC&3  

phoenixzqy:专利未修改之前，NA不到0.1； x*!*2{  
图中这个系统的设计要求是0.03~0.04.。 (2012-09-28 20:46)  ]DUmp6  

hoxomo:NA有点小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] uF{l`|b'  

hoxomo:NA有点小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] ^J@ Xsl  

phoenixzqy:mtf@500仍大于0.35 (2012-11-22 20:40)  !'%`g,,
r  

ekisyou:封装上面用的吗(2012-12-08 22:11)嬀/color] DU-&bm  

bruce45:看看了(2013-02-04 12:12)嬀/color] t$lO~~atr  

darkwzj:请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ s^@?+<4:  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ &?R2zfcM  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？ (2013-04-17 20:43)  0GtL6M@pP  

phoenixzqy:像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf 或者可以看一下psf n9 LTrhLqp  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 {`FkiB` i  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了(2013-04-17 20:48)嬀/color] '
MM%Sm,  

darkwzj:感谢回答~ (2013-04-17 21:29)  {8TLL@T4  

hehexixi2211:好帖子，学习了 (2013-09-01 01:42)  !(F?Np Am  

chengzheng:学习下，谢谢  [表情]  [表情]  [表情]  [表情]  (2013-08-31 22:58)  =A*a9c2  

huangzanli:不错，学习了 (2015-09-16 09:02)  Hj(K*z