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有没有可能在一块玻璃基底上分区镀膜
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zmyaction
2011-12-31 16:42
有没有可能在一块玻璃基底上分区镀膜
求教:
kh.P)h'9
把一块玻璃基底的一个光学表面划分为左右两部分(不是物理切断),两部分分别镀膜,比如左边镀A膜,右边镀B膜,并要求A膜与B膜过渡间隔<50um.
Fnak:R0
能不能,或者有什么办法可以做到呢?
<A Hzs
用机械挡可以吗?我担心膜料原子在基底表面的迁移运动会扩散到遮挡物下面,致使两膜层间隔模糊不清,并且过渡间隔将远大于50um。
*4%pXm;
不知有没有朋友有更好的建议。
12511895
2011-12-31 21:07
你要镀的是什么膜啊??能不能说说啊!!!才能回答你的问题啊!!!两者之间的镀膜要求啊!!
lsx2525
2012-01-28 22:34
用掩膜应该可以做。但是掩膜和基片之间的距离要尽量的紧贴。
yzhuang
2012-02-05 14:35
这么高的要求,没做过,镀两种膜是做过的,但是允许误差是1毫米左右的。
伏龙之
2012-02-25 21:42
先镀A膜,涂一般加50NM的光刻胶后再刻蚀,再镀B膜再刻蚀
r58001105
2012-02-28 17:33
有方式可以達到你的要求,而且線寬可以更小,但是要看你的後援
vq(#Ih2
因為我曾經在同一片玻璃上鍍4~5種膜,但是加工程序很花錢
天涯若比
2012-04-27 13:35
楼主具体想做哪两种?可联系QQ:277955946,可以给你试试。
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有没有可能在一块玻璃基底上分区镀膜
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