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lincc	2011-12-21 22:36
镀膜时工件转动的转速不够会怎么样镀单层MGF2的时候，工件的转动电压调太小了，会导致膜厚不均匀吗？还是会更严重？求高手指点 e!4akKw4wD

12511895	2011-12-22 21:37
那会有的，不过要看你的转速多少，越慢就均匀越不好，

lincc	2011-12-23 23:28
12511895:那会有的，不过要看你的转速多少，越慢就均匀越不好， (2011-12-22 21:37) 6pLwwZD }oN(nPxv9 嗯，试了下，镀单层MGF2还好

kouyang3232	2012-01-05 19:55
单层氟化镁我没开公转都没问题。。。（忘了开），膜层少不会影响太大，但大多数情况下应该是影响其均匀性。太慢也可能有喷点

12511895	2012-01-05 21:11
kouyang3232:单层氟化镁我没开公转都没问题。。。（忘了开），膜层少不会影响太大，但大多数情况下应该是影响其均匀性。太慢也可能有喷点 (2012-01-05 19:55) 4bBxZY >ahj\|pm 那能喷点啊？？？？

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