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ppkppk 2006-05-25 16:24

请问trace pro 适合的最小结构尺寸?

trace pro 是用什么方法做光学分析的,几何光学还是波动光学? l4mRNYv)z  
trace pro 适合的最小尺寸是多少,几百纳米的结构也适用吗? +*W lj8  
].Bx"L!B  
谢了先!
lepaga 2006-06-04 11:28
我也好想知道喔~~有哪位大大知道呢
godstyle 2007-01-25 00:06
好問題,擲得好好想想.....
gzy2651rcl 2007-03-17 20:19
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