平面磁控溅射靶磁场的计算

平面磁控溅射靶磁场的计算摘要：精确分析磁控靶的磁场对优化磁控靶的设计非常重要。本文采用有限元法分析了圆形平面磁控靶的二维磁场分布 ,理论计算的结果与特斯拉计的实验测量相符 ,通过对比两种不同磁极尺寸的磁控靶的磁场 ,发现减少磁极的尺寸可以扩展靶表面径向磁场区域 ,磁芯上方加圆锥形极靴可以增强磁芯上方径向磁场。

关键词：磁控溅射；磁场；有限元法

maf999	2012-06-11 09:44
又要钱

maf999	2012-06-11 09:45
不能免费吗

ggtech	2013-06-17 21:22
谢谢。

scenery	2013-08-03 08:38
好贴！！！！！！！！！

大敏哥	2017-12-26 16:25
学习一下，很少见得资料 \-a^8{.^E

hunter999	2018-06-21 14:36
xiexie fenxiang

18073266662	2020-05-27 16:38
VB和分隔符

18073266662	2020-05-27 16:38
看看学学一下

曹英朝	2020-06-06 20:50
tks!look look

tny520	2022-08-22 10:26
学习一下

cwl563590	2024-09-08 11:03
好东西，感谢楼主

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