| chenchao |
2011-12-18 15:49 |
激光扫描磁控溅射Fe/Si膜直接形成α-FeSi2
激光扫描磁控溅射Fe/Si膜直接形成α-FeSi2摘要：用直流磁控溅射方法分别在室温及不同温度的 Si (100)衬底上沉积 Fe 膜 ,随后采用脉冲激光扫描进行退火 ,X 射线衍射(XRD) 和扫描电子显微镜(SEM)表征了激光扫描对薄膜结晶性质和表面显微结构的影响。测量结果证实直接形成了 Fe2Si 化合物系的富硅高温相α 2FeSi2 ,室温沉积样品的结晶性质随激光能量密度的增加而提高;反应沉积样品的结晶性质随衬底温度升高而提高。 tH@Erh|%
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关键词：磁控溅射；激光扫描退火；结晶性质；显微结构
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