| chenchao |
2011-12-18 15:39 |
非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/ZrN多层膜
非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/ZrN多层膜摘要：采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的 Ti N /Zr N纳米多层膜 ,利用 X射线衍射分析(XRD)、 纳米压痕仪、 扫描电子显微镜 ( SEM)表征了薄膜的微观结构、 力学性能和断口形貌。结果表明 ,在调制周期为 30 nm时 ,纳米硬度达到 38 GPa。 0'C1YvF
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关键词：纳米多层膜；力学性能；调制周期
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