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greenhaw 2011-11-23 09:59

AZO的density and Z ratio

蒸发AZO镀膜过程中,要输入AZO的density and Z ratio但是查遍表格也没有发现,用ZnO的数据作了一遍发现不太准, 37- y  
谁有AZO的数据分享以下?以及AZO evaporation过程中的注意事项 @Q\$dneY  
BTW,AZO好像是直接升华的,我用ZnO的参数晶振片上显示150nm,但是a-step测试只有几纳米,不知道为什么?求解!! Jf<yTAm  
yzhuang 2011-11-27 09:37
个人认为,把密度参数设准了,其它的基本上以忽略
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