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AZO的density and Z ratio
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greenhaw
2011-11-23 09:59
AZO的density and Z ratio
蒸发AZO镀膜过程中，要输入AZO的density and Z ratio但是查遍表格也没有发现，用ZnO的数据作了一遍发现不太准，
@kqxN\DE
谁有AZO的数据分享以下？以及AZO evaporation过程中的注意事项
L%T(H< G
BTW,AZO好像是直接升华的，我用ZnO的参数晶振片上显示150nm，但是a-step测试只有几纳米，不知道为什么？求解！！
@ M] _],
yzhuang
2011-11-27 09:37
个人认为,把密度参数设准了,其它的基本上以忽略
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AZO的density and Z ratio
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