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2011-11-03 21:19 |
磁控溅射不同厚度银膜的微结构及其光学常数
磁控溅射不同厚度银膜的微结构及其光学常数 rd|@*^k
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用直流溅射法在室温 (’ 玻璃基底上制备了 $)!*+—#",)!*+ 范围内不同厚度的 -. 薄膜， 并用 / 射线衍射及计算机辅助优化程序对薄膜的微结构和光学常数进行了测试分析0 结构分析表明： 制备的 -. 薄膜均呈多晶状态，晶体结构均呈面心立方； 随着膜厚的增加， 薄膜的平均晶粒尺寸逐渐增大， 晶面间距逐渐减小0 计算机辅助优化编程计算的薄膜光学常数分析表明： 在波长 %%"*+ 处， 当膜厚小于 #,)%*+ 时， 随着膜厚的增加， 折射率 快速减小，消光系数 则快速增大； 当膜厚大于 #,)%*+ 时， 和 逐渐趋于稳定 71K\.[ =-
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关键词：直流溅射镀膜，银膜，微结构，光学常数
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