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youngnju	2011-11-03 10:39
大角度反射率测量疑问使用光谱仪测量大角度倾斜入射光的反射率，受偏振的影响会不准确，具体原因不明白。请各位大侠赐教。 J0&-UnJ 3jfAv@I~ 另外，请问加偏振片是否可行修正呢？

mang2004	2011-11-04 00:08
光线在光学界面大角度入射时，P, S偏振方向的透射和反射特性有差异，可以从任何一本物理光学或波动光学书上找到理论根据。 -8"K\|ev _ j'm2BAO 加偏振片修正可行！ {C]tS5$Z cna%;f. 可在光源之后，被测件之前加消光比较高的线起偏器。 R9-mq;u+

youngnju

2011-11-08 15:48

我知道S,P分量的反射率随着角度不同会有变化，但问题是无论S、P分量随角度如何改变，它们在固定角度下的反射率是固定的，因此在固定角度下，叠加后的总反射率应该也是固定的。这时候光谱仪检测到的总反射光的光强应该是一个确切不变的数值（不管此数值如何随角度而改变），那么所谓的“大角度反射率的不准确性”具体体现在哪里？

换个说法，如果不加偏振片，不区分出S、P分量，测量会有什么异常吗？

mang2004	2011-11-09 02:10
从回复中分析出是测试的重复性不好，即：在固定角度下，光谱仪检测到的总反射光的光强不是一个确切不变的数值，这是你认为的“大角度反射率的不准确性”，对吧？ Z-}A"n 可否大概描述你的测试设置，规程及结果？ 4,YL15. S~m8j\|3K

youngnju	2011-11-09 14:59
我用的光谱仪测量反射率时固定入射角度5度，不能调整，所以我并没有实际观察过大角度测量时的结果。 /i_FA]Go fO#nSB/ 8 但在评估光谱仪时，两个设备供应商提到大角度反射率测量不准确的情况。因为后续制程可能会使用到大角度测量，所以我才有此一问。 keQRS+9 >ZgV8X:

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