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e501559	2011-11-01 11:21
镀膜速率、功率、膜厚、Tooling之间的关系？求解：镀膜速率、功率、膜厚、Tooling之间的关系？怎么理解它们之间的关系?

yzhuang	2011-11-08 12:23
一般是通过控制功率来控制速率，而膜厚是速率乘以时间的累积，tooling是校正厚度而设的一个材料参数。具体为toolingX显示厚度＝实测厚度

xingmeng1227	2011-11-09 18:13
shoujiaole

cxb007007	2011-11-12 09:58
在一定条件下功率大速率高相对折射率偏高膜厚减少

xingmeng1227	2011-11-26 20:15
zhemejiandan?

老城1234	2012-08-15 22:14
呵呵这个也问啊

a060103112	2013-02-27 12:46
其实吧，这些问题你自己好好想想应该是能明白的

scenery	2013-08-03 08:54
新手，好好学习中

rexchou	2016-04-21 17:31
鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個A的材料) ;h" P{fF xvSuPP4 m 功率=電子槍功率 Ze3X$%kWi P?]aWJ 膜厚:薄膜厚度(nm) \7 NpT}dj [wB9s{CX Tooling=誤差值=實際/理想 "y<?Q}1 FSbHn{@ t/PlcV_M" 來自台灣則米的SiO2王

jakzhou	2016-06-02 15:41
鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個A的材料) j]m\|7] 1G'`2ATF* 功率=電子槍功率 mTEx, }Lw>I94e 膜厚:薄膜厚度(nm) !GQ\"Ufs> Q9&kJ%Mo Tooling=誤差值=實際/理想 n%\ /J

长江	2016-07-28 21:02
有点差忠臣

轩zjw哥	2023-09-23 23:00
谢谢楼主!!!

gaofei555	2024-07-26 11:40
学习到了

renlgj	2024-07-27 15:16
学习了，各位大神

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