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光学薄膜设计,工艺与设备
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cl610
2006-05-18 19:11
请教
哪位大侠知道ITO的电阻于充氧的关系？
k6 f;A
我们要用ITO镀面电阻在50欧姆的透明导电膜，充氧控制在3.0E-2Pa,基片温度370℃，但每次镀出来的玻璃都发黑，请问这是怎么回事？
cl610
2006-05-19 12:25
那应该控制在多少合适呢？
flyinlove79
2006-05-24 07:43
发黑是因为材料吸收造成的，原因很多了，比如充氧、蒸发速率、基底温度等，这些参数在不同的机子上是不同的，需要自己做试验调整。
wangchao04
2006-09-12 18:18
同意楼上观点 温度应该可以了 可能还是速率的问题
wangchao04
2006-09-12 18:18
同意楼上观点 温度应该可以了 可能还是速率的问题
evact
2010-01-28 13:20
可以请问一下,3.0e-2pa,
UI:{*N**Z
其中的3.0e-2是什么来的呢?
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