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sy830608 2011-09-07 11:06

MDC360不稳定 求助

求助大家 MDC360 镀膜过程中电子枪稳定360控制仪速率大范围抖动,挡板关闭速率仍在显示,膜厚显示增加,该如何解决?
wlei781 2011-09-08 08:13
到机台顶上在晶控接入机台的位置轻轻敲几下。
aaoe 2011-10-12 21:50
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            路过看看。
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