求微光学制造（使用半导体加工工艺）方面的书籍

本人对光学基本一窍不通，但是因为需要把衍射光栅集成到MEMS器件上面，需要了解一下微光学/二元光学的制作工艺。
因为器件都集成在硅上，所以特求使用半导体/MEMS工艺制作工艺在微光学方面的书。

其中灰度光刻是制作微光学结构的一个很好的方法，当然还有很多微纳加工的工艺方法。
望涉猎此行的同仁不吝赐教，帮忙推荐或者开导。

谢谢！

liongo	2011-07-14 11:17
希望侧重于工艺方面的，理论基本不懂的； vCe]iB 如果有从事MOEMS工作望交流交流

warwalwjq	2011-07-27 12:56
感兴趣

song516	2013-01-08 10:02
学习学习

zhangce_xp	2013-01-09 09:45
我也是迫切想知道MEMS的工艺啊，尤其是一些封装啊

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