低折射率的薄膜材料用溅射镀膜

各位童鞋，大家能不能给我介绍几种低折射率的薄膜材料啊，可以用溅射反应镀膜的，我知道目前是SiO2，这个或许凑合。MgF2这个只能用射频溅射，设备要求太高了，主要是我的靶很大，长度要有一米呢。
或者有没有公司买这种低折射率材料的，可以做成靶状的也成啊。谢谢各位啦

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