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opturn_yang 2011-05-14 22:27

什么是双离子束溅射薄膜沉积,它有什么优势

请教大家双离子束溅射薄膜沉积的原理是什么啊,听说离子束还能抛光,请大家赐教。 pY2nv/  
wd94 2011-06-05 14:43
就是一个溅射一个辅助 代表机型有VEECO
wd94 2011-06-05 14:45
优点是膜层的致密性好点
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