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007771021	2006-04-27 10:59
请教一下二氧化硅，二氧化钛的折射率与充氧的关系本人在使用这两种膜料的时候，感觉不是十分的稳定，不知道该如何控制充氧量。还有就是，充氧量和他们的折射率的关系是怎样的。特来请教一下各位高人。谢谢

wangda	2006-04-27 11:14
这个主题不错 #[^?f[9r 关注ing~~~~~~~

007771021	2006-04-29 09:17
大家还是要多交流一下嘛

shirong07	2006-06-04 05:29
等待有人回答 \|-Z9-rl 没人回答的话我只有自己去试做看看了。。。

ren619	2006-06-07 11:00
二氧化钛的变化的大一点,只要产品不发黑可以控制的/主要还是真空度对膜层密度的影响大一点.si02冲氧主要是稳定真空度.以求密度稳定.

yaocs633	2006-06-11 09:33
1.買個好點的氣體流量控制器,固定流量. %C_RBd 2.利用真空計去控制真空泵的抽速. HB+\2jEE 以上兩項做好大概就可以了,不過要花錢哦, )p&FDK#ob= 那樣的話老板會心疼的呀!!!!

cl610	2006-08-18 12:35
二氧化钛的折射率与基片的温度有关

雪纷飞	2006-10-20 13:45
ti02 sio2是做ir膜？

抬棺材的	2006-12-14 20:49
如果是sol－gel膜的话，真空系统中的那些污染物不会把SiO2膜污染么？

wangxingyu	2007-05-10 22:03
请问各位这两种材料充氧值是多少才算适合呢？如果是镀塑料镜片的话

xiawj0951	2007-06-22 07:31
一般而言，氧化钛充氧太低的话会由于镀膜过程中失氧，导致产生吸收。充氧过高的话，折射率会降低。二氧化硅失氧很少，一般充氧压力要低些。 &D "$N" 像TIO2，典型的充氧压为1.2-1.610-4TORR, 二氧化硅典型的充氧压为7-910-5TORR

jhshui

2008-11-16 19:05

引用楼主007771021于2006-04-27 10:59发表的请教一下二氧化硅，二氧化钛的折射率与充氧的关系 : eHCLENLmB
本人在使用这两种膜料的时候，感觉不是十分的稳定，不知道该如何控制充氧量。还有就是，充氧量和他们的折射率的关系是怎样的。特来请教一下各位高人。谢谢

如果充氧量大，Si被充分氧化，则薄膜折射率与化学计量比的块体二氧化硅的应该接近，若充氧量小，Si氧化不够，则薄膜中会有单质Si存在，则折射率会高一些。另外空隙率的多少也会影响到折射率。充氧量的大小会影响到沉积速率，从而影响孔隙率。

gszljw	2008-11-22 23:06
TIO2的充O2量一般为1.2*10-4Torr

lwt2004	2008-12-12 10:09
对于TiO2来说，导氧多屈折率高，导氧少屈折率低。如果作IRcut的话，导氧多屈折率高，带宽比较宽。通常情况下，TiO2的导氧量差不多1.0E-2——2.0E-2Pa之间，但是最基本的原则是没有吸收。Sio2是不用导氧的，屈折率基本没有变化。

9603128	2009-04-13 20:40
通常情况下，TiO2的导氧量差不多2.0E-2——2.8E-2Pa之间，但是最基本的原则是没有吸收。Sio2是不用导氧的，屈折率基本没有变化。

shenbin	2009-04-19 14:09
好问题值得关注

aimaer	2009-05-13 10:15
SiO2一般不充,Tiox充15~35sccm之间,跟index相关.

dzhhao	2012-03-26 14:39
我有台机器，内腔比较大，充40SCCM，真空度还在10-5torr量级，看IAD的参数真空度在10-4torr.那得充多少流量才能到10-4量级？

f4213705	2012-03-27 12:25
充多了，偏薄，充少了，偏后

tomysmith68	2012-03-27 14:02
我们的设备好像做增透膜的时候，使用二氧化硅，不需要充氧呀 g9> 0N#<

拉比熊	2013-01-13 23:19
通常情况下，TiO2的导氧量差不多2.0E-2——2.8E-2Pa之间，但是最基本的原则是没有吸收。Sio2是不用导氧的，屈折率基本没有变化。

luffy17520	2013-03-31 17:00
我们镀tio2才充氧，sio2不重充氧气

louyc	2013-05-21 10:03
TIO2 比较复杂，SIO2好一些

duanyiran	2013-06-09 14:44
温度升到二百五左右加点氧气也可以很稳定的啊看看你的电子枪功率是不是太高了

ken_jinyan1	2013-06-09 15:21
我们这里 SIO2不充氧，TI3O5充45SCCM左右

ken_jinyan1	2013-06-09 15:22
不知道TI3O5和TIO2在实际使用中，有什么差别。 *oAv:8"iY 我们公司都是使用TI3O5 一般都标的是OS50

lingwei104	2013-07-31 09:35
关注中

丅１站ベ幸諨	2013-08-21 21:47
二氧化钛充氧不足是玻璃零件发黑，光谱会向偏，只要真空度抽足够的高就没事...

老城1234	2013-09-06 10:24
我也是做塑胶镜片的，，，，，SIO2不放氧，TI的话，氧气越少，折射率越高，当然也要看你机台的吸收怎么，是否有离子枪助镀。。。

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