| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 w N`Nj m9!
一、真空腔室内部及各部件的清理 D"-Wo}"8O'
1.腔室内部防护板 i-;#FT+ Xc
周期：每月清理一次 >Ut: -}CS
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 1=5HQ~|[TO
2.离子源清洗
Qe7=6<
周期：50~100小时 -"S94<Y
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） DA iS|x
B.各个零件进行喷砂，其中： v&(=^A\eN
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 \.oJ/++
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 D
vvi)/<
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 QZG<sZ0"
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 wkPj MmW+!
3.真空计清理 9_d# F'#F
周期：六个月清理一次 f8SO:ihXL
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 +c!HXX
4.冷泵再生 >q&5Z
周期：一个月 E3Y0@r
3ux f n=E
二、各计量部件校准 oJ*,a
1、真空计 T@{a b1KV
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 $Zo|t a^
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） $M4Z_zle)
A.光源性能检查 P_0[spmFU
周期：50小时一次 =H8FV09x}
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 v4Rci^ 8
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 EI*~VFx
B.光学监控系统的稳定性 N>YSXh`W`y
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 ^`i z%^
检查条件： d/F^ez
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 'I+M *I y
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 K> 4 w
③测定波长：550nm _aOs8#(X
C.波长精确度及再现性 gm,AH85
周期：2年一次 $ 0K@= 7ms
合格标准 T [xIn+w
波长精确度 ±1.0 nm {]8|\CcY?
波长再现度 ±0.25 nm
|
|