| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Blaj07K
一、真空腔室内部及各部件的清理 iW |]-Ba\
1.腔室内部防护板 ncS^NH(&
周期：每月清理一次 M~
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先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 qD` ')=
2.离子源清洗 ;5 IS58L
周期：50~100小时 $,6= .YuY
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） Fb-NG.Z#
B.各个零件进行喷砂，其中： ym ,S /Uz
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 EH4WR/x
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 RsrZ1dhPvV
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 +Pa!pj/< z
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 45ct*w
3.真空计清理 B AzqdG
周期：六个月清理一次 k^ZUOWmU|
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 $ g 1p!
4.冷泵再生 Dw.>4bA.
周期：一个月 -,XS2[
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二、各计量部件校准 gb@!Co3
1、真空计 !4*@H
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 #2cH.`ty
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） xn6E f"
A.光源性能检查 jp[QA\
周期：50小时一次 O`@$YXuD
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 XP{ nf9&
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 I~q}M !v~
B.光学监控系统的稳定性 "rAm6b-`
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 XWB>'
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检查条件： YW/<. 0rI
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 sav2 .w
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 8<_WtDg
③测定波长：550nm UejG$JyHP
C.波长精确度及再现性 :mg#&MZj<
周期：2年一次 mZq*o<kTA
合格标准 4["}U1sG
波长精确度 ±1.0 nm Ylo@
波长再现度 ±0.25 nm
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