| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 _GKB6e%
一、真空腔室内部及各部件的清理 -n0C4 kZ2o
1.腔室内部防护板 2r%lA\,h$
周期：每月清理一次 ~y$ !48o
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 %_UN<a
2.离子源清洗 6DZ),F,M
周期：50~100小时 MC,>pR{
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） iV fgDo
B.各个零件进行喷砂，其中： zX#%{#9
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 mm5$>
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C超声清洗，丙酮、酒精各一次 +
S4f GT
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 VtOZ%h[#
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 j|tC@0A
3.真空计清理 <|?K%FP7Z
周期：六个月清理一次 +ki{H}G21
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 ql<rU@
4.冷泵再生 a=TG[* s
周期：一个月 =:S N1#G3n
3Oa*%kP+
二、各计量部件校准 A^2L~g[^Q
1、真空计 I-agZag%
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 7E!7"2e
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2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） 0[<~?`:)
A.光源性能检查 <ER'Ed
周期：50小时一次 7a=S
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 "S&%w8V
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 R4Rb73o
B.光学监控系统的稳定性 _ W3Y\cs,-
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 _p?s9&
检查条件： ^2 ]LV6I
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 { BEo &
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 u>pBB@
③测定波长：550nm HMY@F_qY`u
C.波长精确度及再现性 d1joVUYE
周期：2年一次 8q)=
合格标准 #'4OYY.
波长精确度 ±1.0 nm TEsnN i
1
波长再现度 ±0.25 nm
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