| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 $8BPlqBIZ
一、真空腔室内部及各部件的清理 Ha )ANAD
1.腔室内部防护板 D_Bb?o5
周期：每月清理一次 7%sdtunf`
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 fDSv?crv
2.离子源清洗 ^Ox3XC
周期：50~100小时 u(G*\<z-
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） 9?k_y ZV
B.各个零件进行喷砂，其中： q:g2Zc'Y~W
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 W6Y@U$P#G
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 )+fh-Ui
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 t%8d-+$
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 X]'7Ov
3.真空计清理 2P G [7u^
周期：六个月清理一次 /7
Cn(s5 o
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 !^ _ "~
4.冷泵再生 i7ly[6{^pr
周期：一个月 ~zw]5|
M +x,opl
二、各计量部件校准 mml
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1、真空计 HJY2#lSha6
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 r
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2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） Qa.u Mq
A.光源性能检查
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周期：50小时一次 \J6j38D5
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 D|.ic!w'
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 AQ ='| %
B.光学监控系统的稳定性 t2"FXTAq
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 XO'l Nb.
检查条件： ' g{9@PkGn
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 Km^&<3ch#
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ,`aq +K
③测定波长：550nm {*ob_ oc
C.波长精确度及再现性 JwXT%op9RP
周期：2年一次 OD_W8!-
合格标准 }C|dyyr
波长精确度 ±1.0 nm dc rSz4E|>
波长再现度 ±0.25 nm
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