| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 u@==Ut
一、真空腔室内部及各部件的清理 +k8><_vr}
1.腔室内部防护板 j}0*`[c
周期：每月清理一次 7J$ ^R6rh
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 }=XL^a|V
2.离子源清洗 X UW~8P
周期：50~100小时 !H?#~{
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A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） (">! vz
B.各个零件进行喷砂，其中： 9J2% 9,^
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 |mmIu_
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 iW)FjDTP
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 1*>a
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 J5|Dduv
3.真空计清理 w9.r`_-
周期：六个月清理一次 ]Iy C
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 FA4bv9:hi
4.冷泵再生 (qB$I\
周期：一个月 go{'mX) }u
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二、各计量部件校准 1s!hl{n<~
1、真空计 m0 =CD
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 \B2=E
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） wXNFL9F8
A.光源性能检查 <niHJ*
周期：50小时一次 HESwz{eSS
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 6PJ0iten
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 /!7m@P|&D
B.光学监控系统的稳定性 ZH&%D*a&
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 aEX+M57k~
检查条件： m"+9[d_u
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 B8w 0 DJ
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ~>#=$#V
③测定波长：550nm =A=er1~%
C.波长精确度及再现性 _CI! 7%
周期：2年一次 oSy[/Y44a
合格标准 0YIvE\-
波长精确度 ±1.0 nm U_M > Q_r(
波长再现度 ±0.25 nm
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