| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 ^Q9!DF m
一、真空腔室内部及各部件的清理 V`& O`
1.腔室内部防护板 zDoh p 5,
周期：每月清理一次 <|>7?#s2=
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 :vXlni7N[M
2.离子源清洗 lL ;SP&
周期：50~100小时 !v\ _<8
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） MO%kUq|pg
B.各个零件进行喷砂，其中： ?}ly` J s
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 P*:9u >
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 #`o]{UfW
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 Bm$( 4
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 Iw[7;B5v
3.真空计清理 YwaWhBCIF
周期：六个月清理一次 hM "6-60
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 Q:^.Qs"IK
4.冷泵再生 M" vd /F V
周期：一个月 J e"~/ +
U'p-Ko#
二、各计量部件校准 kNk$[Yfs
1、真空计 COc
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清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 nvbKW.[<f{
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） |w+N(wcJ
A.光源性能检查 m&a 8/5
周期：50小时一次 Kd!.sB/%
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 BN%;AQV
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 }8eu 9~
B.光学监控系统的稳定性 )8&;Q9'o
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 EWC{896,
检查条件： <5E: ,<
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 .C\##
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 /8Ru O
③测定波长：550nm bnZ~jOHl
C.波长精确度及再现性 L+D 9Z E]
周期：2年一次 ><wYk)0E
合格标准 bw8[L;~%_
波长精确度 ±1.0 nm I%M"I0FV
波长再现度 ±0.25 nm
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