| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 8'\,&f`Y
一、真空腔室内部及各部件的清理 z00:59M 4
1.腔室内部防护板 h
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周期：每月清理一次 s 6h Wq&C
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 `1v!sSR0R
2.离子源清洗 {3uSg)
周期：50~100小时 X @4d~6k?
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） fQA)r
B.各个零件进行喷砂，其中： oK1[_ko|
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 A;nmua-Fv
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 Mz. &d:
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 Gqc6).tn
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 T S8E9#1a
3.真空计清理 D&d:>.~u
周期：六个月清理一次 ;{7lc9uRj
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 U)1qsUDF
4.冷泵再生 C`<} nx1
周期：一个月 >f05+%^[
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二、各计量部件校准 1mPS)X _
1、真空计 \$| UFx
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 k GeME
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） ?vNS!rY2&
A.光源性能检查 %,q#f#
周期：50小时一次 g]Ny?61
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 H#` ?t oS
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 #_|^C(]!
B.光学监控系统的稳定性 I~6 ;9TlQ
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 Lcb5 9Cs6e
检查条件： gbZ X'D
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 G 7JZP T
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 Wf w9cxGkf
③测定波长：550nm Rp9iX~A`e
C.波长精确度及再现性 *Yjs$'_2
周期：2年一次 2 g==98>cg
合格标准 Dv{AZyqe
波长精确度 ±1.0 nm yiA\$mtO
波长再现度 ±0.25 nm
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