| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 &\ lS
一、真空腔室内部及各部件的清理 jsi# l
1.腔室内部防护板 I+ j|'=M
周期：每月清理一次 ) a\DS yr
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 5J\|gZQF
2.离子源清洗 n.6
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周期：50~100小时 ~7 L)n
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） dzE Q$u/I
B.各个零件进行喷砂，其中： qb&N S4#
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 AH 87UkNL
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 Vt)\[Tl ~
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 Fp6[W5 >(-
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 ecqz@*d&
3.真空计清理 O-!fOdX8_k
周期：六个月清理一次 %OTA5
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 c]!D`FA*K
4.冷泵再生 X)iWb(@k"7
周期：一个月 +s(I Qt
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二、各计量部件校准 7}tZ?vD
1、真空计 ZR-s{2sl
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 +V+*7s%f L
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） ZD kD%SCy
A.光源性能检查 :UDn^ ( #
周期：50小时一次 &;h~JS=
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 w]Ko/;;^2
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 Y^ZBA\D2,k
B.光学监控系统的稳定性
2H K
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 |RAQ% VXm
检查条件： k s%7W
-
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 & A9A#It
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 Y K?*7
③测定波长：550nm Ux)p%-
C.波长精确度及再现性 I L>/PuZku
周期：2年一次 )Rhf f$
合格标准 _z( 5e
波长精确度 ±1.0 nm Ij6Wz. *
波长再现度 ±0.25 nm
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