| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 9G9fDG#F\I
一、真空腔室内部及各部件的清理 AB=daie
1.腔室内部防护板 #EO9UW5
周期：每月清理一次 .>CPRVuVI
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 2#P* ,
2.离子源清洗 LISM ngQ.
周期：50~100小时 ?$vC W|f
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） Xp >7iX!:
B.各个零件进行喷砂，其中： B$- R-S6
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 V`X2> -Ex
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 5Eg1Q
YVt
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 P=7zs;k
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 Gnf~u[T6
3.真空计清理 yGWxpzmRS
周期：六个月清理一次 Q(lo{AFc
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 YwteZSbp6M
4.冷泵再生 (mgS"zPS
周期：一个月 U[SaY0 Z
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二、各计量部件校准 cJN7bA {
1、真空计 T@G? t0
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 W=vG$
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） &f"-d
A.光源性能检查 { D^{[I
周期：50小时一次 DSC$i|
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 ;-9=RI0
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。
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B.光学监控系统的稳定性 1xD=ffM>8N
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 cVubb}ou
检查条件： vk+VP 1D
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 ?kWC}k{
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 y<HO:kZ8`
③测定波长：550nm .l>77zM6
C.波长精确度及再现性 %C$ % !C
周期：2年一次 _jJPbKz
合格标准 M*z~gOZ
波长精确度 ±1.0 nm !u_Y7i3^
波长再现度 ±0.25 nm
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