| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 p` /c& }
一、真空腔室内部及各部件的清理 jHQnD]Hr
1.腔室内部防护板 W\5PsGUsv
周期：每月清理一次 ckdXla
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 Y4Y~e p
2.离子源清洗 8"yZS)0 9
周期：50~100小时 H?cJ'Q, 5
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） #b wGDF
B.各个零件进行喷砂，其中： :b`ywSp`
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 Q%!Dk0-)
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 2wwJ>iR`
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 kcG_ n
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 L6Io u
3.真空计清理 @RXkj-,eC#
周期：六个月清理一次 ;DX g
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 uZe"M(3r$
4.冷泵再生 7(l>Ck3B#
周期：一个月 N~~
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二、各计量部件校准 5jAS1XG
1、真空计 y S1i$[JV
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 L3 0 $
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） t-Uo
A.光源性能检查 <S3s== Cg
周期：50小时一次 %ty`Oa 2
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 \![ p-mW{
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 Y49&EQ
B.光学监控系统的稳定性 +t%1FkI\
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 X m3r)Bm'3
检查条件： 0Ua&_D"
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 Vw]!Kb7tA
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 o 3 JSh=
③测定波长：550nm _p^$.\k"
C.波长精确度及再现性 dngG=
周期：2年一次 b|e1HCH
合格标准 a:Nf +t
波长精确度 ±1.0 nm \,ne7G21j
波长再现度 ±0.25 nm
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