| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 !?BW_vY
一、真空腔室内部及各部件的清理 D",A$(lG
1.腔室内部防护板 &[NVP &9&U
周期：每月清理一次 nURvy}<r
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 =Ml|l $
2.离子源清洗 rQ=xcn[A
周期：50~100小时 OF- E6b c
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） 5XzrS-I+X@
B.各个零件进行喷砂，其中： NV&;e[z
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 h^['rmd
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 nA>*IU[
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 :L]-'\y
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 M_tj7Q3
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3.真空计清理 4 0 A&#u9o
周期：六个月清理一次 CI IY|DI`l
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 ktN% !Mh\
4.冷泵再生 M,&tA1CH
周期：一个月 nARxn#<+
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二、各计量部件校准 ?x:m;z /
1、真空计 ~q{\;
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 %'$f ?y
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） ';_1rh
A.光源性能检查 )i&%cyZw
周期：50小时一次 (g Lea
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 :]EP@ .(
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 "P M O
B.光学监控系统的稳定性 3b#L17D3_
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 +I vNyj|
检查条件： 1d`cTaQ-
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 z|uOJ0uK
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 5xhM0 (
③测定波长：550nm $?-7OXj<
C.波长精确度及再现性 Xc{ZN1 4n
周期：2年一次 N A8
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合格标准 B
i'd 5 B5
波长精确度 ±1.0 nm %WZ$]M?q
波长再现度 ±0.25 nm
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