| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 (`!?p ^>A
一、真空腔室内部及各部件的清理 c5R58#XK=
1.腔室内部防护板 .QRQvtd.
周期：每月清理一次 RUYw D tC
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 gqyQ Zew
2.离子源清洗 Tj<W4+p{
周期：50~100小时 % 89f<F\V
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） 5~aSkg,MD
B.各个零件进行喷砂，其中： &AZr (>
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 qyp"q{k0
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 WnvuB.(@3
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 7W5FHZd'
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 m`I6gnLj
3.真空计清理 2/E3~X7
周期：六个月清理一次 A^bg*t,
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 8QXxRD;0:
4.冷泵再生 4g$mz :vo
周期：一个月 ) $#o v-]
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二、各计量部件校准 q, PB; TT
1、真空计 `.#e4 FBW
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 CsQ}eW8uEf
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） eH(8T
A.光源性能检查 df&d+jY
周期：50小时一次 & t+03c8g!
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 4%KNHeaN
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 K0g<11}(Yg
B.光学监控系统的稳定性 k8GcHqNHx
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 u/h Ff3
检查条件： 8N'`kd~6[
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 05TZ
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 oi::/W|A+
③测定波长：550nm KNic$: i
C.波长精确度及再现性 HZ>Xm6DnC5
周期：2年一次 V2^(qpM!
合格标准 lw\O sB$
波长精确度 ±1.0 nm DCACj-f
波长再现度 ±0.25 nm
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