| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 a@d=>CT$
一、真空腔室内部及各部件的清理 =d P{ Gh
1.腔室内部防护板 [t]X/O3<
周期：每月清理一次 !{^\1QK
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 -]G(ms;}/Y
2.离子源清洗 \g)Xt?w0Wo
周期：50~100小时 PG5- ;i/
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） p^m5`{1]x
B.各个零件进行喷砂，其中： "v*8_El
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 _+f+`]iM
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 w]j+9-._
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 &.i^dO^}
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 Wk;5/
3.真空计清理 OvL\u{(<F
周期：六个月清理一次 mZk0@C&:6
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 jMBiaX`F
4.冷泵再生 t6N*6ld2b
周期：一个月 v *hRz;
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二、各计量部件校准 pe0x""K
1、真空计 XhU @W}}
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 G1T^a>tj4
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） I{0 k
A.光源性能检查 "L"150Ih
周期：50小时一次 _,h@: Xij
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 <S"~vKD'
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 mo]KCi
B.光学监控系统的稳定性 "7%:sty
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 Je H ;v0
检查条件： vy@rQC %9
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 v"u^M-_
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ?^Hf Np9
③测定波长：550nm G*[P <<je_
C.波长精确度及再现性 }b3/b
周期：2年一次 lw%?z/HDf
合格标准 [}mA`5
波长精确度 ±1.0 nm "GT 4s?6O
波长再现度 ±0.25 nm
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