| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 jo BS{]
一、真空腔室内部及各部件的清理 # TZ`
1.腔室内部防护板 9p, PW A
周期：每月清理一次 WOQ>]Z
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 xri(j,mU
2.离子源清洗 6[, 7g&C
周期：50~100小时 yRR[M@Y
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） p$}/~5b}4
B.各个零件进行喷砂，其中： Xc$Zkf mms
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 ^/I.? : +
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 iu.Jp92
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间
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E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 I2WWhsNC
3.真空计清理 mNOx e
周期：六个月清理一次 <k 'zz:[c!
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 /
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4.冷泵再生 {f\{ {JJ]
周期：一个月 T037|k a{
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二、各计量部件校准 M'VJE|+t
1、真空计 Fl!D2jnN
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6
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2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） 7Vu f4Z5
A.光源性能检查 >T)tAZ? WK
周期：50小时一次 LqLhZBU9
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 .hJcK/m
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 <}G/x*N
B.光学监控系统的稳定性 &W3 Hj$>
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 "m`}J*s"
检查条件： Zb&"W]HSf
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 %2\6.c =c
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 :j? MEeu
③测定波长：550nm R$`%<Y3)
C.波长精确度及再现性 \Hw*q|
周期：2年一次 p6&<eMwFA
合格标准 OC)=KV@KE
波长精确度 ±1.0 nm ' e %>Ip
波长再现度 ±0.25 nm
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