| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 &?mD$Eo
一、真空腔室内部及各部件的清理 / "eey(X
1.腔室内部防护板 QUu}Xg:
周期：每月清理一次 s CR67/
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 )+ :EJ H~
2.离子源清洗 M$Zcn# A
周期：50~100小时 Z ?wU
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） H&:jcgV*P
B.各个零件进行喷砂，其中： $2W%2rZ
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 *:ZDd
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 tmQH|'>>
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 N5a*7EJv+
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 N[s}qmPha
3.真空计清理 x>Zn?YR,"
周期：六个月清理一次 .zi_[
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 ^J$2?!~
4.冷泵再生 i_j[?.?X}
周期：一个月 6@rMtQfI
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二、各计量部件校准 O^oWG&Y;v
1、真空计 Kx>qz.wwI?
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 D9
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2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） _f$^%?^
A.光源性能检查 "wNJ
周期：50小时一次 7Zlw^'q$:L
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 KET2Ws[w
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 \ O2 Rhz
B.光学监控系统的稳定性 Mu+0<>
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 '.:z&gSqx0
检查条件： vEJWFoeEFm
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 ZrsBm_Rx
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 a{ L
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③测定波长：550nm I}1NB3>^
C.波长精确度及再现性 '<"s \,
周期：2年一次 0yD9SJn
合格标准 RZXjgddL
波长精确度 ±1.0 nm )h7<?@wv&
波长再现度 ±0.25 nm
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