| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 mBEMw J}O`
一、真空腔室内部及各部件的清理 1LaJ
hrp?
1.腔室内部防护板 R|k:8v{V=
周期：每月清理一次 SQ*%d .1
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 xU2i&il^!
2.离子源清洗 /U,(u9bq
周期：50~100小时 ,k1ns?i9KH
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） 7|"l /s9,
B.各个零件进行喷砂，其中： _R^ZXtypd
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 P1z:L
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 M+M ;@3
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 9@?|rj e9
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 Pc`)D:/}R
3.真空计清理 2I3H?Lrx!m
周期：六个月清理一次 }+}Cl T
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 ecx_&J@D
4.冷泵再生 mG1!~}[
周期：一个月 i1X!G|Awfv
BUdO:fr
二、各计量部件校准 M;W&#Fz%
1、真空计 M1]w0~G
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 k{'<J(Hb
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） Q@|"xKa
A.光源性能检查 7Le- f
周期：50小时一次 x[fp7*TiG
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 Xg l
%2'
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 x?]fHin_
B.光学监控系统的稳定性 Bp5 %&T k
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 Lp3pJE
检查条件： w#_7,*6 ]
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 QCG-CzJ9 l
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 :#\jx
③测定波长：550nm 4`'Rm/)
C.波长精确度及再现性 N?8nlrDQ
周期：2年一次 3s RI 7g
合格标准 eoFG$X/PO
波长精确度 ±1.0 nm WZjR^ 6
波长再现度 ±0.25 nm
|
|