| shizi19 |
2011-03-29 09:41 |
光学镀膜机维护计划
光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 N8l(m5Kk,k
一、真空腔室内部及各部件的清理 l2!4}zI2
1.腔室内部防护板 t=ry\h{Pc
周期：每月清理一次 QJ
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先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 qN_jsJ
2.离子源清洗 hU `H\LE
周期：50~100小时 =jmn
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） `+QrgtcEy4
B.各个零件进行喷砂，其中： k^.9;FmQ
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 u]ZCYJ>
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 l$Y7CIH
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 `7|v
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 _, ;c2
3.真空计清理 d+fi g{<b
周期：六个月清理一次 %zB
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拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 .y F7{/
4.冷泵再生 t
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周期：一个月 '5eW"HGU]`
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二、各计量部件校准 eW+z@\d9Gz
1、真空计 u U>Bun
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 ]ba O{pJi
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） lG;sDR|)(
A.光源性能检查 ] #[ R^t
周期：50小时一次 ;^FV
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 C (_xqn
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 c X553&
B.光学监控系统的稳定性 y_8 8I:O
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 I "9S
检查条件： 4>>d
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①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 SVaC)O(
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 dd>stp
③测定波长：550nm .t0Q>:}&b
C.波长精确度及再现性 [>4Ou^=1
周期：2年一次 Ssr
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合格标准 [*#ms=Zdc
波长精确度 ±1.0 nm R b 6` k^
波长再现度 ±0.25 nm
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